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1. 发明专利

JP2016066643A 基板処理装置、制御方法、およびコンピュータプログラム审中-公开
标题翻译：基板处理装置，控制方法和计算机程序
公开(公告)号：JP2016066643A
公开(公告)日：2016-04-28
申请号：JP2014193086
申请日：2014-09-22
申请人：株式会社SCREENホールディングス
发明人：上林誠 , 安平治俊則
IPC分类号： G05B19/418 , H01L21/027 , H01L21/677 , H01L21/304 , H01L21/02
CPC分类号： Y02P90/08 , Y02P90/083 , Y02P90/28
摘要：【課題】大量の情報を基に複雑な演算処理をして基板の搬送制御を行う、いわゆるスケジューラに依存することなく、停滞不能エリアにおける基板の停滞を防止できる基板処理装置、制御方法、およびコンピュータプログラムを提供する。【解決手段】この基板処理装置1は、基板9を停滞させると処理不良の要因となる停滞不能エリア200と、停滞不能エリア200の搬送方向下流側に位置する待機バッファ60と、を有する。ライン制御PC82は、停滞不能エリア200内の基板9の在荷枚数と、待機バッファ60内のバッファ空き数とを取得する。そして、取得した在荷枚数およびバッファ空き数に基づいて、停滞不能エリア200への基板9の投入を規制するか否かを切り替える。このようにすれば、スケジューラに依存することなく、停滞不能エリア200における基板9の停滞を防止して、処理不良の発生を抑制できる。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够防止基板滞留在停滞禁止区域中的基板处理装置，而不依赖于通过基于信息量执行复杂算术处理来执行基板输送控制的所谓调度器，控制方法和计算机程序。解决方案：基板处理装置1包括：停滞抑制区域200，其中当基板9停滞时，其可能引起处理缺陷; 以及备用缓冲器60，其位于停止抑制区域200的输送方向的下游侧。线路控制PC82获取装载在停滞禁止区域200内的基板9的数量和备用缓冲器60内的空缓冲器的数量。基于所获取的加载基板和空缓冲器的数量，切换是否调节将基板9投入停滞区域200.因此，不依赖于调度器，防止基板9滞留在停滞抑制区域200中，从而抑制加工缺陷的产生。图1

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