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2. 发明专利

JP2016070691A 形状測定装置および形状測定方法有权
标题翻译：形状测量装置和形状测量方法
公开(公告)号：JP2016070691A
公开(公告)日：2016-05-09
申请号：JP2014197019
申请日：2014-09-26
申请人：株式会社神戸製鋼所 , 株式会社コベルコ科研
发明人：甘中将人 , 田原和彦 , 松岡英毅 , 森岡哲隆 , 綱木英俊
IPC分类号： G01B21/20 , G01B11/06 , G01B21/08
CPC分类号： G01B21/08 , G01B21/20 , G01B11/06 , G01B7/02 , G01B7/06
摘要：【課題】本発明は、測定部自体の振動による影響を低減することによって、より高精度に被測定物の形状を測定できる形状測定装置および該方法を提供する。【解決手段】本発明の形状測定装置Mは、測定対象の被測定物SPを介して互いに対向するように配置され、被測定物SPまでの距離をそれぞれ測定する第1および第2距離センサ1−1、1−2と、第1および第2距離センサ1−1、1−2それぞれにおける対向方向の変位をそれぞれ測定するための第1および第2加速度センサ2−1、2−2および前処理部4と、第1および第2距離測定結果に基づいて、第1および第2変位測定結果で補正した被測定物SPにおける前記対向方向に沿った厚さを被測定物SPの形状として求める形状演算部72とを備える。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种形状测量装置及其方法，通过减少由测量单元本身的振动引起的影响，可以以更高的精度测量测量对象的形状。解决方案：一种形状测量装置根据本发明的M包括：第一和第二距离传感器1-1,1-1，用于测量经由测量对象SP相对测量和放置的测量对象SP的距离; 第一和第二加速度传感器2-1,2-2和预处理单元4，用于测量第一和第二距离传感器1-1,1-2中的每一个的相对方向上的位移; 以及形状计算单元72，用于根据第一和第二距离测量结果，将测量对象SP沿着通过第一和第二位移测量结果校正的相对方向的厚度作为测量的形状对象SP.SELECTED图：图1

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