专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

JP2016191563A プローブカード及びそれを含む試験装置审中-公开
标题翻译：探针卡和测试装置，包括它们
公开(公告)号：JP2016191563A
公开(公告)日：2016-11-10
申请号：JP2015070399
申请日：2015-03-30
申请人：株式会社東芝
发明人：藤原友子 , 末山敬雄 , 金田圭子 , 江籠路子
IPC分类号： G01R31/26 , H01L21/66 , G01R1/073
CPC分类号： G01R31/2874 , G01R31/2863 , G01R1/07342 , G01R1/07371
摘要：【課題】半導体試験の精度を向上可能とするプローブカード及びそれを含む試験装置を提供することである。【解決手段】プローブカードは、プローブと、前記プローブが設けられる第1の部材と、前記第1の部材を囲む第2の部材と、を含むプローブカード基板と、を有する。前記プローブカードは、前記第1の部材の前記プローブを保持する側に第1面と、前記2部材において前記第1の面を囲む第2の面とを有する。前記第1の面の向きと前記第2の面の向きは異なる。また、実施形態の試験装置は、ウエハを設置可能とし、ヒータに接続される設置台と、前記プローブが設けられる第1の面を有する第1の部材と、前記第1の面を囲む第2の面を有する第2の部材と、を含むプローブカード基板と、を有し、前記第1の面の向きと前記第2の面の向きが異なる。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供能够提高半导体测试精度的探针卡和包括该探针的测试装置。解决方案：探针卡包括探针和探针卡基片，该探针卡基片包括设有探针的第一部件，围绕第一成员的第二构件。探针卡具有保持第一构件的探针的一侧上的第一表面和围绕第二构件中的第一构件的第二表面。第一表面和第二表面的方向彼此不同。根据实施例的测试装置包括安装基座，晶片可以安装在基座上，并且连接到加热器和探针卡基板，探针卡基板包括第一部件，第一部件具有设置有探针的第一表面，第一表面。第一表面和第二表面在彼此的方向上不同。选择的图：图1

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式