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    • 8. 发明专利
    • 弾性波装置
    • JP6984800B1
    • 2021-12-22
    • JP2021541525
    • 2021-03-15
    • 株式会社村田製作所
    • 永友 翔岩本 英樹中尾 武志
    • H03H9/145H03H9/25
    • 支持基板に空洞部が設けられている場合において、構造的な脆弱性が生じ難い、弾性波装置を提供する。 本発明に係る弾性波装置1は、空洞部10を有する支持基板2と、空洞部10を覆うように、支持基板2上に設けられている圧電膜3と、平面視において空洞部10と重なるように、圧電膜3上に設けられている機能電極4と、支持基板2の空洞部10に配置されており、圧電膜3を支持している支持部材5とを備える。機能電極4は、圧電膜3の厚み方向に交叉する方向に並んでいる複数の電極を有する。複数の電極は、圧電膜3の厚み方向に交叉する方向において対向しており、かつ互いに異なる電位に接続される第1電極6及び第2電極7を含む。第1電極6が延びる方向と直交する方向から見て、隣り合う電極が重なっている領域が交叉領域Aである。平面視において、交叉領域Aと支持部材5とが重なっている。