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2. 发明专利

JPWO2014189045A1 管理装置、基板処理システム、装置情報更新方法、及び記録媒体有权
标题翻译：管理装置，基板处理系统，该装置信息更新方法，和记录介质
公开(公告)号：JPWO2014189045A1
公开(公告)日：2017-02-23
申请号：JP2015518259
申请日：2014-05-20
申请人：株式会社日立国際電気
发明人：寿朗越巻 , 一秀浅井 , 英人清水 , 佳代子屋敷 , 一良山本 , 修久牧野
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： G06F17/5045 , G05B19/042 , G05B2219/23295 , Y02P90/265
摘要：基板を処理するための装置情報を保有する基板処理装置と接続される管理装置を、前記装置情報のうち、前記装置情報の基準となる基準装置情報を設定する設定部と、前記設定部に設定された前記基準装置情報に基づき前記基板処理装置から取得された取得装置情報と前記基準装置情報との差異を抽出し得られた差異部と、前記基準装置情報を含む前記装置情報の内容をそれぞれ表示する操作表示部と、前記取得装置情報と前記基準装置情報との差異部の修正指示を前記操作表示部から受信すると、前記修正指示に基づいて、前記取得装置情報を修正して修正装置情報を作成し、該修正装置情報を前記基板処理装置へ送信するよう制御する制御部と、を備えるように構成する。【選択図】図3
摘要翻译：连接到衬底处理装置，用于载运用于处理基板的设备信息，设备信息，设定单元，其设定的参考设备信息作为设备信息的基准，在所述设置单元设置的管理装置每个是通过提取从基板处理装置基于所述信息和所述参考装置信息，装置信息包括参考装置信息的内容的基准设备获取的获取的设备信息的差而获得的差分单元用于显示，当所述获取设备信息和从操作显示部接收的参考设备的信息，根据所述修正指令之间的差异部分的校正指令，修改以校正获取的设备信息的设备信息的操作显示单元创建，并且被配置为包括：控制单元，用于控制发送修改的系统信息至基板处理装置。点域

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