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    • 10. 发明专利
    • 圧力制御バルブ及び超臨界流体クロマトグラフ
    • 压力控制阀和超临界流体色谱
    • JPWO2015029253A1
    • 2017-03-02
    • JP2015533920
    • 2013-09-02
    • 株式会社島津製作所
    • 洋臣 後藤統宏 井上隆弘 森浩久 阿部
    • F16K31/02F16K31/04G01N30/02G01N30/32
    • F16K31/004B01D15/40F16K7/123F16K31/04G01N30/32G01N2030/328
    • 圧力制御バルブは、互いに連通される上流側流路の一端の開口と下流側流路の一端の開口がともに形成されている圧力調整空間と、圧力調整空間内において前記両開口を開閉する方向の一方向に駆動される弁体を有し、弁体の位置によって上流側流路の一端の開口と下流側流路の一端の開口との間を連通させる隙間量を変化させるバルブ機構と、弁体を一方向に駆動するアクチュエータと、アクチュエータの動作を制御する制御部と、を備えている。アクチュエータは、ピエゾ素子を有し該ピエゾ素子への印加電圧の大きさによって一方向における弁体の位置を変化させるピエゾ機構と、ピエゾ機構よりも粗い制御分解能と広いダイナミックレンジを有し、ステッピングモータを備え該ステッピングモータが1ステップ回転するごとにピエゾ素子を前記一方向へ変位させるステッピング機構を有するものである。
    • 该压力控制阀包括一个压力调节与上游流动开口的一个端部开口和所述端部的下游侧流路空间都形成在互相连通,在方向以打开和关闭所述压力调节空间中的两个开口 它具有在一个方向上驱动的阀元件,和用于改变所述上游流动开口的一个端部开口和所述阀体的位置的端部的下游通道,阀之间连通的间隙量的阀机构 它包括用于驱动所述主体在一个方向上的致动器,以及用于控制所述致动器的动作的控制单元。 该致动器包括用于通过施加到压电元件上的电压的幅度变化的在一个方向上阀体的位置处的压电机构具有压电元件,粗调控制的分辨率和宽的动态范围比压电机制中,步进电机 该步进电机包括一个是具有用于通过一个步骤在每次旋转的一个方向上的压电元件位移一个步进机构。