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热词
    • 2. 发明专利
    • 光学装置
    • JP2020085799A
    • 2020-06-04
    • JP2018224203
    • 2018-11-29
    • 株式会社リコー
    • 野口 英剛
    • G01J3/20G01J3/02G01J3/32
    • 【課題】小型の分光分析ユニットにおいて熱の影響を抑制すること。 【解決手段】開示の技術の一態様に係る光学装置は、対象物に光を照射する光源と、前記対象物からの反射光を分光する分光器と、前記光源及び前記分光器を収容する筐体と、前記光源を前記筐体の内面に固定する光源固定部材と、前記分光器を前記筐体の内面に固定する分光器固定部材と、を有し、前記光源は、前記光源固定部材を介して、前記光源固定部材が固定された前記筐体の第1内面との間に空隙部を含み、前記第1内面に固定され、前記分光器は、前記分光器固定部材を介して、前記分光器固定部材が固定された前記筐体の第2内面との間に空隙部を含み、前記第2内面に固定されている。 【選択図】図4
    • 10. 发明专利
    • 熱型赤外線センサー及び熱型赤外線センサーの製造方法
    • 热红外传感器及其制造方法
    • JP2015169533A
    • 2015-09-28
    • JP2014044446
    • 2014-03-06
    • 株式会社リコー
    • 加藤 英記野口 英剛
    • H01L35/32H01L35/34H01L27/144G01J1/02
    • 【課題】下地膜上で複数の半導体材料パターンが異なる層に絶縁膜を介して形成された構造をもつ熱電対を含むサーモパイルを備えた熱型赤外線センサーにおいて、センサーの応答特性を向上させ、かつ梁折れ不良を低減する。 【解決手段】基板1上に、下地膜3、第一の半導体材料7a、絶縁膜8a、第二の半導体材料の積層構造を形成する。第二の半導体材料をエッチングして、後工程で基板1が除去されて梁部となる第一の領域から基板1が除去されない第二の領域にまたがって配置された第二の半導体材料パターン9を形成する。絶縁膜8aをエッチングして絶縁膜8を形成する。絶縁膜8aのエッチング時に第一の領域内の下地膜3は第一の半導体材料7a又はエッチング用マスク33で覆われている。第一の半導体材料7aをエッチングして第一の半導体材料パターン7を形成する。第一の領域の基板1を除去して空洞部15を形成する。 【選択図】図6
    • 要解决的问题:提供一种热红外传感器,其包括:热电偶,其包括热电偶,所述热电偶具有通过基膜上具有不同半导体材料图案的多层中的绝缘膜形成的结构,并且能够改善传感器的响应特性, 减少光束断裂。解决方案:一种用于制造热红外传感器的方法,包括:在基板1上形成基膜3,第一半导体材料7a,绝缘膜8a和第二半导体材料的层叠结构; 蚀刻第二半导体材料以形成布置在第二区域上的第二半导体材料图案9,而不从其中在后处理中去除衬底1的第一区域移除衬底1以用作梁部分; 蚀刻绝缘膜8a以形成绝缘膜8,其中在蚀刻绝缘膜8a期间第一区域中的基膜3被第一半导体材料7a或用于蚀刻的掩模33覆盖; 蚀刻第一半导体材料7a以形成第一半导体材料图案7; 并且在第一区域中移除基板1以形成空腔部分15。