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1. 发明专利

JP2016155283A 電気機械変換部材、液滴吐出ヘッド、画像形成装置、インクカートリッジ、マイクロポンプおよび電気機械変換部材の作製方法审中-公开
标题翻译：电动转换构件，喷射头排出头，图像形成装置，墨盒，微型泵和形成电化学转换构件的方法
公开(公告)号：JP2016155283A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：JP2015034122
申请日：2015-02-24
申请人：株式会社リコー
发明人：石杜昌弘 , 三輪圭史 , 林啓輔
IPC分类号： B41J2/16 , B41J2/14
摘要：【課題】下部電極の剥がれを抑制して、信頼性の高い電気機械変換部材を提供する。【解決手段】液室13の一面を形成する振動板15と、該振動板15上に下部電極161、圧電体162、上部電極163がこの順に形成された電気機械変換素子と、を備える電気機械変換部材において、下部電極161は、液室13が並設される方向に亘って連続的に設けられることで電気機械変換素子の共通電極となるとともに、外周に凹状のスリット部161sが形成され、該スリット部161sは液室13の上部となる位置には形成されていないものである。【選択図】図5
摘要翻译：要解决的问题：提供一种机电转换构件，其可以抑制底部电极的释放并且具有高的可信度。解决方案：一种机电转换构件，包括形成液体室13的一个面的隔膜15和机电转换元件其中底部电极161，压电材料162和上部电极163依次形成在隔膜15上，其中底部电极161沿着液体室13并排布置的方向连续地设置，从而构成机电转换元件的公共电极，底部电极的外周设置有凹形狭缝部分161s，并且狭缝部分161s不形成在液体室13的上部的位置。选择的图示：图5

2. 发明专利

JP2016062984A 圧電アクチュエータ及びその製造方法及び液体カートリッジ及び画像形成装置审中-公开
标题翻译：压电致动器及其制造方法，液体盒和图像形成装置
公开(公告)号：JP2016062984A
公开(公告)日：2016-04-25
申请号：JP2014187966
申请日：2014-09-16
申请人：株式会社リコー
发明人：石杜昌弘
IPC分类号： H01L41/29 , H01L41/047 , H01L41/318 , H01L41/43 , H01L41/09 , B41J2/175 , B41J2/14 , B41J2/16 , B81B3/00 , B81C1/00 , B06B1/06 , H01L21/316 , H01L41/319
摘要：【課題】振動膜の表面粗さを制御することで結晶配向性の優れた下部電極に優先配向したPZT膜を安定して再現性よく作成し、インク吐出特性を良好に保持できると共に連続吐出しても安定したインク吐出特性を得ることが可能な圧電アクチュエータ及びその製造方法並びに画像形成装置を提供する。【解決手段】圧電アクチュエータは、基板1上に形成された成膜振動板3と、成膜振動板3上に設けられた下部電極と、下部電極上に設けられる鉛及びジルコニウム及びチタンを含んで構成される圧電体薄膜6と、圧電体薄膜6上に設けられた上部電極7とを有する下部電極は成膜振動板3上に形成された酸化チタン膜を介して白金膜を有し、圧電体薄膜6はを優先配向され、成膜振動板3は、ポリシリコン膜、シリコン酸化膜、シリコン窒化膜を含み、最表層はシリコン酸化膜から構成され、その表面粗さが5nm以下である。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：为了提供能够控制振动膜的表面粗糙度以稳定地产生优先排列在具有优异的重结晶性的结晶取向性的下电极上的PZT膜的压电致动器，可以保持良好的油墨排出性，即使在连续放电后也能提供稳定的排墨性能; 其制造方法; 和图像形成装置。解决方案：压电致动器包括：形成在基板1上的沉积膜3; 设置在沉积膜3上的下电极; 设置在下电极上的包括铅，锆和钛的压电薄膜6; 以及设置在压电薄膜6上的上电极7.下电极通过形成在沉积膜3上的氧化钛膜具有铂膜; 压电薄膜6优先排列; 沉积膜3包括多晶硅膜，氧化硅膜，氮化硅膜; 最外表层由氧化硅膜形成，表面粗糙度为5nm以下。图2：

3. 发明专利

JP2016016648A 液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置审中-公开
标题翻译：喷墨头和喷墨记录装置
公开(公告)号：JP2016016648A
公开(公告)日：2016-02-01
申请号：JP2014142890
申请日：2014-07-11
申请人：株式会社リコー
发明人：石杜昌弘 , 三輪圭史
IPC分类号： B41J2/14
摘要：【課題】圧電素子を構成する下部電極の膜浮きの有無を、製造工程内で容易に精度よく観察、検出可能な液滴吐出ヘッドを提供する。【解決手段】複数のノズル孔が形成されたノズル基板と、ノズル孔に連通する吐出室14、吐出室14の一面を形成する振動板、及び振動板上の吐出室14に対応する位置に設けられ、振動板側から下部電極8、圧電材9、上部電極10の順に積層されてなる複数の圧電素子26を備える液室基板と、圧電素子26を設置保護する空間、及び吐出室14に液滴を供給する共通液室18が形成された保護基板とを備え、圧電素子26は、圧電アクチュエータビット41と、圧電アクチュエータビット41の配列方向端部に配置され、下部電極8が個別にパターニングされてなる下部電極モニタ部40と、を有する液滴吐出ヘッド。【選択図】図5
摘要翻译：要解决的问题：提供一种液滴喷射头，其能够在制造过程中容易且精确地观察和检测构成压电元件的下部电极的浮动的存在/不存在。解决方案：液滴喷射头包括：喷嘴基板其上形成有多个喷嘴孔; 设置有与喷嘴孔连通的排出室14的液体室基板，形成排出室14的一个表面的振动板和设置在与振动板上的排出室14对应的位置的多个压电元件26，并且按照下电极8，压电材料9和上电极10的顺序层叠; 以及保护基板，其中安装和保护压电元件26的空间和用于向排出室14提供液滴的公共液体室18.其中，压电元件26具有压电致动器位41和下电极监视器部40 其布置在压电致动器位41的排列方向端部，并且通过对下部电极8进行单独构图而形成。图示：图5

4. 发明专利

JP6232866B2 アクチュエータ素子、圧電アクチュエータ、液滴吐出ヘッド、並びに画像形成装置有权
公开(公告)号：JP6232866B2
公开(公告)日：2017-11-22
申请号：JP2013187682
申请日：2013-09-10
申请人：株式会社リコー
发明人：石杜昌弘 , 真貝勝 , 西村学
IPC分类号： H01L41/09 , H01L41/29 , B41J2/045 , B41J2/14 , H01L41/047

5. 发明专利

JP2017199892A 電気−機械変換素子とその製造方法、電気−機械変換素子を備えた液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置审中-公开
公开(公告)号：JP2017199892A
公开(公告)日：2017-11-02
申请号：JP2016212696
申请日：2016-10-31
申请人：株式会社リコー
发明人：竹内惇 , 町田治 , 下福光 , 阿部修也 , 石杜昌弘 , 平林拓磨
IPC分类号： H01L41/318 , H01L41/331 , B41J2/14 , H01L41/09
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2/1612 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , H01L41/0805 , H01L41/098 , H01L41/29
摘要：【課題】インクジェット方式で形成され、膜厚分布が制御された強誘電体膜を用いて幅の広いダイヤフラムを持つ電気−機械変換素子を製造する。【解決手段】電気−機械変換素子10は基板11上に第一の電極を形成する工程(I)と、下部電極12上にPZT膜14を形成する工程(II)と、PZT膜14上に上部電極13を形成する工程(III)を含んで製造される。電気−機械変換素子10は基板11上に形成された下部電極12と、下部電極12上に形成されたPZT膜14と、PZT膜14上に上部電極13を有し、PZT膜14は互いに間隔を空けた同心の環状パターンで形成されるよう構成した。【選択図】図10

6. 发明专利

JP5998543B2 電気−機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置有权
公开(公告)号：JP5998543B2
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：JP2012056033
申请日：2012-03-13
申请人：株式会社リコー
发明人：水上智 , 石杜昌弘 , 真貝勝
IPC分类号： H01L41/09 , H01L41/187 , H01L41/29 , H01L41/047

7. 发明专利

JP6938884B2 機能性膜の形成方法及び塗布装置有权
公开(公告)号：JP6938884B2
公开(公告)日：2021-09-22
申请号：JP2016193697
申请日：2016-09-30
申请人：株式会社リコー
发明人：竹内惇 , 町田治 , 阿部修也 , 石杜昌弘 , 岩田秀介 , 平林拓磨
IPC分类号： B05D3/02 , B05D1/26 , B05D1/36

9. 发明专利

JP2019036646A 電気機械変換素子、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置、および電気機械変換素子の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019036646A
公开(公告)日：2019-03-07
申请号：JP2017157423
申请日：2017-08-17
申请人：株式会社リコー
发明人：石杜昌弘 , 阿部修也 , 竹内惇 , 平林拓磨
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/318 , B41J2/14 , B41J2/16 , H01L41/09
摘要：【課題】電気機械変換膜を高密度配置する場合の変位特性の向上を図る。【解決手段】振動板30に形成される電気機械変換膜43毎の個別電極である下部電極41と、下部電極41上に形成されるセラミック膜42と、セラミック膜42上に形成される電気機械変換膜43と、電気機械変換膜43上に形成される複数の電気機械変換膜43の共通電極である上部電極44と、を備え、セラミック膜42上に、電気機械変換膜43が形成される部分を開口部52とした絶縁膜50が設けられ、電気機械変換膜43は、該電気機械変換膜43の少なくとも一つの断面において、該開口部52内における端部から中央部に向かって徐々に連続して膜厚が増加する形状を有するとともに、絶縁膜50の開口部52の側面は、セラミック膜42と接し、電気機械変換膜43とは面接触していない。【選択図】図1

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