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1. 发明专利

JP6469472B2 レーザ周波数安定化装置、及びレーザ周波数安定化方法有权
公开(公告)号：JP6469472B2
公开(公告)日：2019-02-13
申请号：JP2015028657
申请日：2015-02-17
申请人：株式会社ミツトヨ
发明人：矢野龍介 , 白川裕介 , 鳴海達也
IPC分类号： H01S3/00 , H01S3/139

2. 发明专利

JP2016152308A レーザ周波数安定化装置、及びレーザ周波数安定化方法审中-公开
标题翻译：激光频率稳定装置和激光频率稳定方法
公开(公告)号：JP2016152308A
公开(公告)日：2016-08-22
申请号：JP2015028657
申请日：2015-02-17
申请人：株式会社ミツトヨ
发明人：矢野龍介 , 白川裕介 , 鳴海達也
IPC分类号： H01S3/00 , H01S3/139
CPC分类号： H01S3/1305 , H01S3/1392
摘要：【課題】簡素な構成で、容易に所望の発振周波数のレーザ光が出力されているか否かをチェック可能なレーザ周波数安定化装置、及びレーザ周波数安定化方法を提供する。【解決手段】レーザ周波数安定化装置1は、ヨウ素セル25を介したレーザ光を光出力信号S1に変換する光検出器27と、出力電圧Vを印加して共振器長を変化させるアクチュエータ126と、アクチュエータ126に印加する出力電圧Vを制御する制御装置37と、を備え、制御装置37は、光出力信号に基づいて目標飽和吸収線を探索し、目標飽和吸収線が探索された際の出力電圧Vが、目標飽和吸収線に対応して予め設定された正常電圧範囲内である場合に、目標飽和吸収線にレーザ光の発振周波数を固定する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种激光频率稳定装置和激光频率稳定化方法，其可以简单地结构确定是否输出具有期望的振荡频率的激光。解决方案：激光器频率稳定装置1包括：用于将通过碘池25的激光束转换为光输出信号S1的光电检测器27; 用于施加输出电压V以改变腔体长度的致动器126; 以及控制装置37，用于控制施加到致动器126的输出电压V.控制装置37基于光输出信号搜索目标饱和吸收线，并将激光束的振荡频率固定为目标饱和吸收在目标饱和吸收线的搜索下的输出电压V在与目标饱和吸收线相关联的预设正常电压范围内时，线路选择图1：

3. 发明专利

JP2021034464A レーザ装置及びレーザ安定化方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021034464A
公开(公告)日：2021-03-01
申请号：JP2019150933
申请日：2019-08-21
申请人：株式会社ミツトヨ
发明人：白川裕介
IPC分类号： H01S3/139
摘要：【課題】目標とする飽和吸収線の探索処理がエラーとなった場合において、待機時間を必要とせずに探索処理を再開できるレーザ装置及びレーザ安定化方法を提供する。【解決手段】レーザ装置の制御部53は、駆動電圧Vを掃引させるアクチュエータ制御部531と、駆動電圧Vが掃引される間、2次微分信号SL2に基づいて特異点を検出し、当該特異点が検出された時点の駆動電圧Vの電圧値をメモリ54に記憶させる探索処理を行う探索部532と、探索処理において検出された複数の特異点からノイズを判別するノイズ判別部533と、を有する。探索部532は、特異点として検出されたノイズが存在する場合、ノイズが検出された時点の電圧値よりも小さい値から駆動電圧Vが減少方向に変化する間、探索処理を行う。【選択図】図2

4. 发明专利

JP2019149400A レーザ光源装置及びレーザ光調整方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019149400A
公开(公告)日：2019-09-05
申请号：JP2018031862
申请日：2018-02-26
申请人：株式会社ミツトヨ
发明人：白川裕介
IPC分类号： H01S3/108 , H01S3/00 , H01S3/139
摘要：【課題】レーザ光を安定化するための所望の飽和吸収線を確実に得ることができるレーザ光源装置及びレーザ光調整方法を提供する。【解決手段】レーザ光調整方法は、アクチュエータへの印加の変化に応じた光出力信号の強度に基づいて、一対のモードホップ及び一対のモードホップの比較用飽和吸収線群を検出する検出工程(ステップS1)と、一対のモードホップが生じた各電圧値の中間値であるモード中心電圧値と、比較用飽和吸収線群が生じた電圧値である比較用電圧値とを比較する比較工程(ステップS2)と、比較用電圧値がモード中心電圧値よりも小さい場合、温度調整器の制御温度を上昇させ、比較用電圧値がモード中心電圧値よりも大きい場合、温度調整器の制御温度を下降させる制御温度調整工程(ステップS3,S4)と、制御温度調整工程の後、レーザ光の発振周波数を特定の飽和吸収線に安定化させるレーザ光安定化工程(ステップS5)と、を含む。【選択図】図3

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