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1. 发明专利

JP2017150993A 内壁測定装置及びオフセット量算出方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017150993A
公开(公告)日：2017-08-31
申请号：JP2016034776
申请日：2016-02-25
申请人：株式会社ミツトヨ
发明人： ▲高▼▲濱▼ 康弘
IPC分类号： G01B5/00 , G01B11/00 , G01B21/00
CPC分类号： G01B3/22 , G01B11/0608 , G01B11/12 , G01B11/14 , G01B11/2441 , G01B5/003 , G01B5/061 , G01B5/12 , G01N21/954 , G01M15/042
摘要：【課題】内壁を高精度に測定可能な内壁測定装置、及びこれに適用可能なオフセット量算出方法を提供すること。【解決手段】本内壁測定装置は、載置面と、ベース部と、タッチプローブと、画像プローブと、回転駆動部と、直線駆動部と、算出部とを具備する。載置面には、測定対象物が載置される。ベース部は、載置面に対して互いに直交する3軸方向に沿って相対的に移動可能である。タッチプローブは、ベース部の第1の位置に配置され、測定対象物に接触する。画像プローブは、ベース部の第2の位置に配置され、載置面に平行な方向を撮影方向として測定対象物を撮影可能である。回転駆動部は、画像プローブを載置面に垂直な方向を軸として回転させる。直線駆動部は、画像プローブを撮影方向に沿って移動させる。算出部は、第1の位置に配置されたタッチプローブと、第2の位置に配置された画像プローブとのオフセット量を算出する。【選択図】図4

2. 发明专利

JP6692658B2 内壁測定装置及びオフセット量算出方法有权
公开(公告)号：JP6692658B2
公开(公告)日：2020-05-13
申请号：JP2016034776
申请日：2016-02-25
申请人：株式会社ミツトヨ
发明人： ▲高▼▲濱▼ 康弘
IPC分类号： G01B5/00 , G01B11/00 , G01B21/00

3. 发明专利

JP2015175603A 干渉計における参照ミラー表面形状の校正方法有权
标题翻译：干涉仪参考镜面形状的校准方法
公开(公告)号：JP2015175603A
公开(公告)日：2015-10-05
申请号：JP2014049540
申请日：2014-03-12
申请人：株式会社ミツトヨ
发明人： ▲高▼▲濱▼ 康弘 , 浅野秀光 , 宮倉常太
IPC分类号： G01B9/02
摘要：【課題】表面形状の幾何誤差が未知の基準器を用いて、参照ミラーの表面形状の幾何誤差を校正できるようにする校正方法を提供する。【解決手段】測定対象表面との間で干渉光を発生させるための、表面形状の幾何誤差が未知の参照ミラー33を備えた干渉計において、表面形状の幾何誤差が未知の基準器WOを測定対象の位置に配置して、一部の測定領域をオーバーラップさせながら、参照ミラー33を移動走査して、複数の方向について、各方向で複数領域の表面形状を測定し、各測定領域で、参照ミラー33の表面形状の幾何誤差、基準器(中央部分WOC)の表面形状の幾何誤差、及び、表面形状測定値間に成立する方程式を解くことにより、参照ミラー33の表面形状の幾何誤差を求める。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：提供一种校准方法，用于使用参考装置来校准参考镜的表面形状的几何误差，该参考装置的表面形状的几何误差是未知的。解决方案：干涉仪包括参考镜33，其参考镜33的几何误差表面形状是未知的，其用于在测量对象表面与其之间产生干涉光。在表面形状的几何误差未知的参考装置WO设置在测量对象的位置。当测量区域的一部分重叠时，参考反射镜33被移动扫描，以便测量多个方向中的每个方向上的多个区域的表面形状。对于每个测量区域，解决参考镜33的表面形状的几何误差，参考装置的表面形状的几何误差（中心部分WOC）以及表面形状测量值之间建立的方程式，以获得参考镜33的表面形状的几何误差。

4. 发明专利

JP2019124688A 画像測定機およびプログラム审中-公开
公开(公告)号：JP2019124688A
公开(公告)日：2019-07-25
申请号：JP2019002410
申请日：2019-01-10
申请人：株式会社ミツトヨ
发明人：張玉武 , 小松浩一 , ▲高▼▲濱▼ 康弘 , 石山拓 , バリーセイラー , 于大海 , ライアンノースラップ
IPC分类号： G01B11/24 , G06F3/0488 , G06F3/041 , G06F3/0485 , G01B11/02
摘要：【課題】本発明は、タッチパネルディスプレイを用いた操作に適した画像測定機を提供する。【解決手段】画像測定機は、測定対象物を撮像し、タッチパネルディスプレイに表示された測定対象物の撮像画像に基づき、測定対象物の寸法や形状を測定する。画像測定機は、タッチパネルディスプレイに対して接触入力されたジェスチャに応じタッチパネルディスプレイから出力された信号から、当該ジェスチャに対応するコマンドを特定し、当該コマンドの実行対象の画像測定機の部位に対して当該コマンドを実行する制御手段を備え、ジェスチャは2点以上の同時接触状態で行われるジェスチャであることを特徴とする。【選択図】図5

5. 发明专利

JP6293528B2 干渉計における参照ミラー表面形状の校正方法有权
公开(公告)号：JP6293528B2
公开(公告)日：2018-03-14
申请号：JP2014049540
申请日：2014-03-12
申请人：株式会社ミツトヨ
发明人： ▲高▼▲濱▼ 康弘 , 浅野秀光 , 宮倉常太
IPC分类号： G01B9/02

6. 发明专利

JP6945415B2 画像測定装置の調整方法有权
公开(公告)号：JP6945415B2
公开(公告)日：2021-10-06
申请号：JP2017201946
申请日：2017-10-18
申请人：株式会社ミツトヨ
发明人： ▲高▼▲濱▼ 康弘
IPC分类号： G01B11/00

7. 发明专利

JP6758765B2 測定方法および測定プログラム有权
公开(公告)号：JP6758765B2
公开(公告)日：2020-09-23
申请号：JP2016246802
申请日：2016-12-20
申请人：株式会社ミツトヨ
发明人：酒井裕志 , 渡邉裕 , ▲高▼▲濱▼ 康弘 , 伊藤明正 , 工藤雄治
IPC分类号： G01B11/30 , G01B11/28 , G01B21/20 , G01B11/24

8. 发明专利

JP2019074470A 画像測定装置の調整方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019074470A
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：JP2017201946
申请日：2017-10-18
申请人：株式会社ミツトヨ
发明人： ▲高▼▲濱▼ 康弘
IPC分类号： G01B11/00
摘要：【課題】画像測定装置の調整方法を提供する。【解決手段】本発明は、平坦な反射面を有する校正用ワークをワークとして設置し、反射面を基準光軸に対して平行かつ撮像素子の画素の配列方向に対して直交方向または平行に設置する準備工程S1と、基準光軸を中心にプリズムを回転させる回転工程S2と、プリズムの複数の回転位置ごとに、撮像素子に撮像される画像の輝度を検出する輝度検出工程S3と、輝度検出工程S3によって検出された輝度が最も高い回転位置に、プリズムを位置合わせする配置工程S5と、を含む。【選択図】図7

9. 发明专利

JP2017151086A 測定方法および測定プログラム审中-公开
公开(公告)号：JP2017151086A
公开(公告)日：2017-08-31
申请号：JP2016246802
申请日：2016-12-20
申请人：株式会社ミツトヨ
发明人：酒井裕志 , 渡邉裕 , ▲高▼▲濱▼ 康弘 , 伊藤明正 , 工藤雄治
IPC分类号： G01B11/30 , G01B11/28 , G01B11/02 , G01B21/20 , G01B11/24
摘要：【課題】湾曲している対象物の表面を自動的に精度良く測定することができる測定方法および測定プログラムを提供すること。【解決手段】本発明は、湾曲形状を有する対象物について測定ヘッドからの距離を測定して前記対象物の表面を測定する方法であって、対象物の測定範囲および凹凸の閾値を設定する工程と、対象物の湾曲形状を含む形状基準データを取得する工程と、測定範囲における対象物と測定ヘッドとの距離を測定して、対象物の表面の3次元データを取得する工程と、3次元データから形状基準データを除去して湾曲除去データを取得する工程と、湾曲除去データに基づき第1基準データを求め、第1基準データに対して閾値を超えるデータを湾曲除去データから除外して平均した第2基準データを求める工程と、第2基準データに対して閾値を超えるデータを抽出して凹凸の形状データを求める工程と、を備えたことを特徴とする。【選択図】図1

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