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1. 发明专利

JP6774039B2 波面計測方法及び装置、露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法有权
公开(公告)号：JP6774039B2
公开(公告)日：2020-10-21
申请号：JP2019083748
申请日：2019-04-25
申请人：株式会社ニコン
发明人：大滝桂 , 杉崎克己 , 玄間隆志
IPC分类号： G03F7/20 , G01M11/02

2. 发明专利

JP2018163360A 回折光学素子の光学材料設計方法および回折光学素子の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018163360A
公开(公告)日：2018-10-18
申请号：JP2018107422
申请日：2018-06-05
申请人：株式会社ニコン
发明人：井口祥佑 , 西村志保 , 玄間隆志
IPC分类号： G02B5/18
摘要：【課題】無機微粒子分散型の樹脂を用いずに、有機化合物からなる樹脂成分を用いた光学材料で形成される回折光学素子であっても回折光学格子としての性能に優れた低屈折率高分散の光学材料と高屈折率低分散の光学材料との組合せを見出す。【解決手段】回折光学素子が使用される光の波長をλとし、波長の下限をλ1とし、波長の上限をλ2とし、第1光学材料と第2光学材料との屈折率の差をn 21 (λ)とし、最大値が1となるように規格化されたイメージセンサの分光感度特性を示す関数をg(λ)としたとき、次式の条件を満足するか否かを判定し、この条件を満足する候補の第1光学材料および第2光学材料を、回折光学素子に用いることが可能な光学材料として決定する。【選択図】なし

3. 发明专利

JP2018010304A 波面計測方法及び装置、露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2018010304A
公开(公告)日：2018-01-18
申请号：JP2017153141
申请日：2017-08-08
申请人：株式会社ニコン
发明人：大滝桂 , 杉崎克己 , 玄間隆志
IPC分类号： G01M11/02 , G01J9/02 , G03F7/20
CPC分类号： G01J9/0215 , G01J2009/0238 , G01M11/0264 , G02B27/50 , G03F7/706
摘要：【課題】回折格子を用いて得られる干渉縞に基づいて、投影光学系の波面情報を高精度に計測する波面計測方法を提供する。【解決手段】計測用レチクル4のピンホールアレー6から射出された光束を投影光学系POに照射することと、投影光学系POを通過した光束をX方向及びY方向に周期性を持ちX方向及びY方向の透過率分布が正弦波状の分布を有する回折格子10に入射させることと、回折格子10から発生する複数の光束による干渉縞に基づいて投影光学系POの波面情報を求めることと、を含む。【選択図】図2

4. 发明专利

JP6521265B2 波面計測方法及び装置、露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法有权
公开(公告)号：JP6521265B2
公开(公告)日：2019-05-29
申请号：JP2017153141
申请日：2017-08-08
申请人：株式会社ニコン
发明人：大滝桂 , 杉崎克己 , 玄間隆志
IPC分类号： G03F7/20 , G02B21/02 , H01L21/027 , G01M11/02

5. 发明专利

JP6191921B2 波面計測方法及び装置、並びに露光方法及び装置有权
公开(公告)号：JP6191921B2
公开(公告)日：2017-09-06
申请号：JP2014518708
申请日：2013-05-29
申请人：株式会社ニコン
发明人：大滝桂 , 杉崎克己 , 玄間隆志
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , G02B21/02 , G01M11/02
CPC分类号： G01J9/0215 , G01M11/0264 , G02B27/50 , G03F7/706 , G01J2009/0238

6. 发明专利

JP2016126157A 回折光学素子、光学機器、および回折光学素子の光学材料設計方法审中-公开
标题翻译：衍射光学元件，光学器件和光学材料设计方法的衍射光学元件
公开(公告)号：JP2016126157A
公开(公告)日：2016-07-11
申请号：JP2014266661
申请日：2014-12-26
申请人：株式会社ニコン
发明人：井口祥佑 , 西村志保 , 玄間隆志
IPC分类号： G02B5/18
摘要：【課題】無機微粒子分散型の樹脂を用いずに、有機化合物からなる樹脂成分を用いた光学材料で形成される回折光学素子であっても回折光学格子としての性能に優れた低屈折率高分散の光学材料と高屈折率低分散の光学材料との組合せを見出す。【解決手段】回折光学素子が使用される光の波長をλとし、前記波長の下限をλ1とし、前記波長の上限をλ2とし、第1光学材料と第2光学材料との屈折率の差をn 21 (λ)とし、最大値が1となるように規格化された所定の重み付け関数をg(λ)としたとき、次式の条件を満足する。【選択図】なし
摘要翻译：要解决的问题：为了提供低折射率高色散的光学材料和高折射率低分散体的光学材料的组合，即使是要形成的衍射光学元件，其作为衍射光学元件的性能也优异使用由有机化合物构成的树脂组分而不使用无机细颗粒分散型树脂的光学材料。解决方案：使用于衍射光学元件的光的波长为λ，波长的下限为λ1，波长λ2的上限，第一光学材料和第二光学材料之间的差为n（λ），并且以最大值为1的方式标准化的规定加权函数为g（λ），条件满足以下表达式：选择图形：无

7. 发明专利

JP2019184614A 波面計測方法及び装置、露光方法及び装置、並びにデバイス製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019184614A
公开(公告)日：2019-10-24
申请号：JP2019083748
申请日：2019-04-25
申请人：株式会社ニコン
发明人：大滝桂 , 杉崎克己 , 玄間隆志
IPC分类号： G03F7/20 , G01M11/02
摘要：【課題】回折格子を用いて得られる干渉縞に基づいて、被検光学系の波面情報を高精度に計測する。【解決手段】被検光学系の波面情報を求める波面計測方法であって、光射出部から射出された光束を前記被検光学系に照射することと、前記被検光学系を通過した光束を、少なくとも第1方向に周期性を持ち、かつ前記第1方向に正弦波状の透過率分布を有する回折格子に入射させることと、前記回折格子から発生する複数の光束による干渉縞に基づいて前記被検光学系の波面情報を求めることと、を含む。【選択図】図2

8. 发明专利

JP6536718B2 回折光学素子の光学材料設計方法および回折光学素子の製造方法有权
公开(公告)号：JP6536718B2
公开(公告)日：2019-07-03
申请号：JP2018107422
申请日：2018-06-05
申请人：株式会社ニコン
发明人：井口祥佑 , 西村志保 , 玄間隆志
IPC分类号： G02B5/18

9. 发明专利

JP2018136513A 回折光学素子、光学系および光学機器审中-公开
公开(公告)号：JP2018136513A
公开(公告)日：2018-08-30
申请号：JP2017032796
申请日：2017-02-24
申请人：株式会社ニコン
发明人：久保肇 , 玄間隆志
IPC分类号： G02B5/18
摘要：【課題】綺麗なボケ像を得ることが可能な回折光学素子を提供する。【解決手段】回折光学素子における互いに密着した2つの層(第1回折光学要素1および第2回折光学要素2)の界面に、光学系の収差(色収差等)を補正可能な非球面形状(位相形状)を分割して形成された複数の輪帯50a,50b,…が同心円状に並ぶ回折格子5が形成され、回折格子5の第1輪帯50aは、他の輪帯(第2輪帯50b、第3輪帯50c、第4輪帯50d、第5輪帯50e、およびこれより外周側の輪帯)の所定の格子高さH1の整数倍の第2の格子高さH2を有している。【選択図】図1

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