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1. 发明专利

JPWO2013153604A1 電子銃装置审中-公开
标题翻译：一种电子枪装置
公开(公告)号：JPWO2013153604A1
公开(公告)日：2015-12-17
申请号：JP2012543369
申请日：2012-04-09
申请人：株式会社シンクロン
发明人：一郎塩野 , 一郎塩野 , 佐藤　望 , 望佐藤 , 林　達也 , 林　　達也 , 拓也中村 , 拓也中村
IPC分类号： C23C14/30
摘要：るつぼの上方位置でるつぼに向かって水平方向に延出したポールピースを、装置の運転上好適な位置に備えた電子銃装置を提供する。蒸着材料を収容するるつぼ3と、るつぼ3内の蒸着材料を加熱蒸発するために電子ビームEBを出射する電子ビーム出射機構7と、電子ビーム出射機構7を内部に収容するケース10と、ケース10に固定された状態で電子ビームEBをるつぼ3内の蒸着材料に向かうように偏向する第1のポールピース11及び第2のポールピース12と、るつぼ3内の蒸着材料に対する電子ビームEBの照射位置を調整するためにケース10外へ出てきた電子ビームEBを更に偏向する第3のポールピース13と、を備える電子銃装置1において、第3のポールピース13は、るつぼ3の上方位置に配置された状態でるつぼに向かって水平方向に延出しているとともに、ケース10外に位置し、かつ、ケース10から分離している。
摘要翻译：极靴在朝向坩埚上方的坩埚中的水平方向上延伸，以提供对所述装置的适当位置设置有操作的电子枪装置。一种用于容纳蒸发材料的坩埚3，电子束发射装置7发射的电子束EB来加热坩埚3中蒸发的沉积材料，用于容纳所述电子束发射装置7的壳体10内部的情况下10 电子束EB的电子束EB和第一极靴11和第二极片12，其在被固定于所述的状态下朝向所述沉积材料偏转在坩埚3中，在坩埚3中的气相沉积材料的照射位置在电子枪装置1，其包括进一步和第三极靴13，用于偏转电子束EB出来到壳体10的外侧调整第三极靴13，设置上述坩埚3 它们一起在朝向坩埚的状态，位于外壳10的水平方向延伸，并且从外壳10分离。

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