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    • 8. 发明专利
    • エッチングマスクを形成するためのガラス基板の前処理方法
    • 用于形成蚀刻掩模的玻璃基板的预处理方法
    • JP2016108172A
    • 2016-06-20
    • JP2014245113
    • 2014-12-03
    • 東京応化工業株式会社
    • 植松 照博田上 勝弥
    • G06F3/041G03F7/09G03F7/26C03C23/00C03C15/00C03C17/28
    • 【課題】金属配線と非導電性の被膜とを表面に備えるガラス基板上にエッチングマスクを形成する際に、エッチングマスク中の開口部のガラス基板の面方向についての断面積に関して、ガラス基板表面側の断面積と、エッチングマスク表面における開口部の断面積との差を小さくでき、且つ、ガラス基板全面から速やかに剥離可能なエッチングマスクの形成を可能とするガラス基板の前処理方法と、当該前処理方法を施されたガラス基板上にエッチングマスクを形成する方法と、当該方法により形成されたエッチングマスクを備えるガラス基板のエッチングによる加工方法と、を提供すること。 【解決手段】金属配線と、有機又は無機材料からなる非導電性の被膜とを表面に備えるガラス基板上にエッチングマスクを形成する前に、ガラス基板の表面に対して、ガラス基板の表面と化学的に結合し得る官能基を持たないアミンを含む処理液によるアミン処理を施す。 【選択図】なし
    • 要解决的问题:为了提供一种玻璃基板的预处理方法,当玻璃基板在蚀刻掩模的开口中的表面方向上的横截面积可以减小横截面积 当在具有金属布线和形成在表面上的非导电涂层的玻璃基板上形成蚀刻掩模时,在玻璃基板表面的一侧和蚀刻掩模表面上的开口的横截面积,并且可以形成蚀刻掩模 可以立即从整个玻璃基板表面剥离,在经过预处理方法的玻璃基板上形成蚀刻掩模的方法以及具有根据该方法形成的蚀刻掩模的玻璃基板的处理方法 ,通过蚀刻。在由金属布线和非导电涂层形成的有机或无机材料的玻璃基板上形成蚀刻掩模之前,形成在苏 在玻璃基板的表面上使用含有不具有能够与玻璃基板的表面进行化学偶合的官能团的胺的处理液进行胺处理。选择图:无