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    • 7. 发明专利
    • エッチングマスクを形成するためのガラス基板の前処理方法
    • 用于形成蚀刻掩模的玻璃基板的预处理方法
    • JP2016108172A
    • 2016-06-20
    • JP2014245113
    • 2014-12-03
    • 東京応化工業株式会社
    • 植松 照博田上 勝弥
    • G06F3/041G03F7/09G03F7/26C03C23/00C03C15/00C03C17/28
    • 【課題】金属配線と非導電性の被膜とを表面に備えるガラス基板上にエッチングマスクを形成する際に、エッチングマスク中の開口部のガラス基板の面方向についての断面積に関して、ガラス基板表面側の断面積と、エッチングマスク表面における開口部の断面積との差を小さくでき、且つ、ガラス基板全面から速やかに剥離可能なエッチングマスクの形成を可能とするガラス基板の前処理方法と、当該前処理方法を施されたガラス基板上にエッチングマスクを形成する方法と、当該方法により形成されたエッチングマスクを備えるガラス基板のエッチングによる加工方法と、を提供すること。 【解決手段】金属配線と、有機又は無機材料からなる非導電性の被膜とを表面に備えるガラス基板上にエッチングマスクを形成する前に、ガラス基板の表面に対して、ガラス基板の表面と化学的に結合し得る官能基を持たないアミンを含む処理液によるアミン処理を施す。 【選択図】なし
    • 要解决的问题:为了提供一种玻璃基板的预处理方法,当玻璃基板在蚀刻掩模的开口中的表面方向上的横截面积可以减小横截面积 当在具有金属布线和形成在表面上的非导电涂层的玻璃基板上形成蚀刻掩模时,在玻璃基板表面的一侧和蚀刻掩模表面上的开口的横截面积,并且可以形成蚀刻掩模 可以立即从整个玻璃基板表面剥离,在经过预处理方法的玻璃基板上形成蚀刻掩模的方法以及具有根据该方法形成的蚀刻掩模的玻璃基板的处理方法 ,通过蚀刻。在由金属布线和非导电涂层形成的有机或无机材料的玻璃基板上形成蚀刻掩模之前,形成在苏 在玻璃基板的表面上使用含有不具有能够与玻璃基板的表面进行化学偶合的官能团的胺的处理液进行胺处理。选择图:无
    • 8. 发明专利
    • 化学強化ガラス基板の加工方法
    • 用于化学加强玻璃基材的加工方法
    • JP2015101500A
    • 2015-06-04
    • JP2013242339
    • 2013-11-22
    • 東京応化工業株式会社
    • 植松 照博
    • G03F7/42C03C15/00
    • 【課題】化学強化ガラス基板の表面に感光性樹脂組成物を用いてエッチングマスクを形成した後に、化学強化ガラス基板の表面にエッチング加工を施す方法であって、エッチングマスクの残渣を殆ど発生させることなく化学強化ガラス基板の表面から速やかにエッチングマスクを除去できる化学強化ガラス基板の加工方法と、当該加工方法に供される化学強化ガラス基板とを提供すること。 【解決手段】感光性樹脂組成物を用いて形成されるエッチングマスクを備える化学強化ガラス基板をエッチング加工する際に、エッチングを施される面の、表面から深さ10μmまでの表層のナトリウムとカリウムの元素成分比率合計が13質量%以下である化学強化ガラス基板を用いる。 【選択図】なし
    • 要解决的问题:为了提供化学强化玻璃基板的处理方法,作为在化学强化玻璃基板的表面上施加蚀刻工艺的方法之后,使用感光性树脂组合物在化学表面上形成蚀刻掩模 该加工方法能够从化学强化玻璃基板的表面快速除去蚀刻掩模,同时几乎不产生蚀刻掩模的残留物,并且还提供用于该处理方法的化学强化玻璃基板。 解决方案:当对具有使用感光性树脂组合物形成的蚀刻掩模的化学强化玻璃基板进行蚀刻处理时,使用化学强化玻璃基板,其中被蚀刻表面具有钠和 从表面到深度10μm的表面层中的钾为13 质量%以下。