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    • 1. 发明专利
    • 基板検査装置および基板検査方法
    • JP2017096736A
    • 2017-06-01
    • JP2015228360
    • 2015-11-24
    • 日置電機株式会社
    • 久保田 雄田中 裕士
    • H05K3/00G01R31/02
    • 【課題】検査効率を向上させる。 【解決手段】基板の一方の面の8個の導体パターンPの一部を第1群として高電位とさせると共に他のすべての導体パターンPを第2群として低電位とさせて各導体パターンP間の絶縁状態を検査する第1絶縁検査を各群として設定する導体パターンPの組み合わせを変更しつつ3回実行する第1処理と、基板の他方の面の3個の導体パターンPの1つを高電位とさせると共に8個の導体パターンPのすべてを低電位とさせて各導体パターンP間の絶縁状態を検査する第2絶縁検査を導体パターンPを変更しつつ3個の導体パターンPのすべてについて実行する第2処理と、3個の導体パターンPの1つを高電位とさせると共に他の1つの導体パターンPを低電位とさせて2つの導体パターンP間の絶縁状態を検査する第3絶縁検査を、2つの導体パターンPのすべての組み合わせについて実行する第3処理とを行う。 【選択図】図7
    • 5. 发明专利
    • 基板検査装置および基板検査方法
    • JP2017101947A
    • 2017-06-08
    • JP2015233186
    • 2015-11-30
    • 日置電機株式会社
    • 久保田 雄田中 裕士
    • G01R31/28H05K3/00G01R31/02
    • 【課題】導体パターンのプロービングポイントに対するプローブの接触状態を正確に判定する。 【解決手段】導体パターンと電極2aとの間の静電容量の値を測定する測定部4と、導体パターン上のプロービングポイントに対するプロービングが実行された際に測定された静電容量の値がしきい値Ct以上のときにプローブの接触状態を良好と判定しその状態において測定された静電容量の値と基準値とを比較して導体パターンの良否を検査する処理部6とを備え、処理部6は、一対のプロービングポイントにプローブ31がそれぞれプロービングされている状態において各プローブ31間の導通状態を判定する導通状態判定処理において導通状態が良好と判定したときに導体パターンと電極2aとの間の静電容量の値を測定部4に測定させる処理を、基板に設けられているすべての導体パターンについて実行し、最も小さい静電容量の値を基に決定した値をしきい値Ctに設定する。 【選択図】図1
    • 6. 发明专利
    • データ生成装置およびデータ生成方法
    • 数据创建设备和数据创建方法
    • JP2016114479A
    • 2016-06-23
    • JP2014253635
    • 2014-12-16
    • 日置電機株式会社
    • 村山 林太郎塩入 章弘田中 裕士
    • G01R31/02G01R31/28
    • 【課題】検査精度の向上が可能なポイントデータを生成する。 【解決手段】回路基板30の被検査部位に対する検査の際にプローブをプロービングさせるプロービングポイントを規定してポイントデータを生成する処理部を備え、処理部は、被検査部位に直接接続される第1配線パターンに設けられているパッド、およびインピーダンスの値が予め決められた値以下の電気部品を介して第1配線パターンに接続される第2配線パターンに設けられているパッドの中に、磁気センサ21と干渉することなくプロービングが可能であるとのプロービング条件に適合するパッドとしての適合ポイントが存在するか否かを判定する第1判定処理を実行し、第1判定処理において適合ポイントが存在すると判定したときに、その適合ポイントをプロービングポイントとして規定する。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:创建能够提高检查精度的点数据。解决方案:数据创建装置包括处理单元,该处理单元限定在相对于电路基板30的被检查部分检查时探测探针的探测点 ,并创建点数据。 所述处理单元被配置为:执行第一确定处理,所述第一确定处理确定作为匹配点的匹配点是否与探测的探测条件匹配而不干扰磁性传感器21存在于设置在第一布线图案中的焊盘中,以直接连接到 被检测部分,以及设置在第二布线图案中的焊盘,其经由阻抗值等于或小于预定值的电子部件连接到第一布线图案; 并且当在第一确定处理中确定存在匹配点时,将匹配点定义为探测点。选择图:图2