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热词
    • 3. 发明专利
    • 基板検査装置
    • JP2019035587A
    • 2019-03-07
    • JP2017155093
    • 2017-08-10
    • 日置電機株式会社
    • 村山 林太郎久保田 雄
    • G01R31/28H05K3/00G01R31/02
    • 【課題】導体パターンにプローブが正常に接触しているか否かを好適に判別可能な判別用基準値を容易に生成する。 【解決手段】パターンにプローブが接触した状態となる第1の位置を接触位置とする第2の移動処理および測定処理を実行すると共に(ステップ21)測定された被測定量を第1の値として取得する処理Aを実行し(ステップ25)、パターンにプローブが非接触の状態となる第2の位置を接触位置とする第1の移動処理(ステップ26)および撮像処理(ステップ26)を実行すると共に撮像データの画像を表示させ(ステップ27)、画像に基づいて特定される接触位置が非接触の状態となる位置であると確認されたときに(ステップ28)第2の位置を接触位置とする第2の移動処理および測定処理を実行すると共に測定された被測定量を第2の値として取得する処理Bを実行し(ステップ29)、両値に基づいて判別用基準値を生成する(ステップ30)。 【選択図】図3
    • 4. 发明专利
    • 回路基板検査装置およびコンタクトチェック方法
    • 电路板检查装置和接触检查方法
    • JP2017026407A
    • 2017-02-02
    • JP2015143854
    • 2015-07-21
    • 日置電機株式会社
    • 久保田 雄
    • G01R31/02
    • 【課題】一方の基板面をフライングプローブで検査し、他方の基板面をプレスジグ型プローブで検査する複合型の回路基板検査装置で、コンタクトチェックを短時間で行う。 【解決手段】両面にビアホール導体等を介して導通しているパッド2b,3c,3dを有するパターンを代表パターンとして設定し、コンタクトチェックを行うにあたって、代表パターンの一方の基板面1a側のパッド2bにフライングプローブ21を接触させるとともに、プレスジグ側のプローブ31a〜31eを他方の基板面1b側のパッド3a〜3eに接触させてから、フライングプローブ21と、プレスジグ側のプローブ31a,31b,31eとの間の静電容量を測定し、その静電容量が所定の閾値以下の場合には、その箇所を接触不良と判定してコンタクトチェックを終了し、接触不良でない場合には、続いてフライングプローブ21と、プローブ31c,31dとの間で導通検査を行う。 【選択図】図1
    • 甲一个基板表面检查用探针飞行,用于检查在另一方的基板表面的复合类型的电路板检查装置是Puresujigu探针进行在短时间内接触检查。 被电通过通孔导体连接的两侧等,3c和设置具有3D作为代表图案的图案,在执行接触检查,在代表图案键盘2b的一个基板表面1a侧甲键盘2b 与飞行探头21从图31A〜31E上的焊盘3a的另一基板表面1b侧的探针的Puresujigu侧接触到3 E,A飞行探头21,探头31a的Puresujigu侧,31b和31e上接触配合 之间测量,如果该电容小于预定阈值,并且终止所述接触检查,确定在与不良接触的位置,如果不是有缺陷的接触,然后飞行探头21的电容 的情况下,执行所述探针31C之间的连续性测试,31d上。 点域1
    • 6. 发明专利
    • 基板検査装置および基板検査方法
    • JP2017101947A
    • 2017-06-08
    • JP2015233186
    • 2015-11-30
    • 日置電機株式会社
    • 久保田 雄田中 裕士
    • G01R31/28H05K3/00G01R31/02
    • 【課題】導体パターンのプロービングポイントに対するプローブの接触状態を正確に判定する。 【解決手段】導体パターンと電極2aとの間の静電容量の値を測定する測定部4と、導体パターン上のプロービングポイントに対するプロービングが実行された際に測定された静電容量の値がしきい値Ct以上のときにプローブの接触状態を良好と判定しその状態において測定された静電容量の値と基準値とを比較して導体パターンの良否を検査する処理部6とを備え、処理部6は、一対のプロービングポイントにプローブ31がそれぞれプロービングされている状態において各プローブ31間の導通状態を判定する導通状態判定処理において導通状態が良好と判定したときに導体パターンと電極2aとの間の静電容量の値を測定部4に測定させる処理を、基板に設けられているすべての導体パターンについて実行し、最も小さい静電容量の値を基に決定した値をしきい値Ctに設定する。 【選択図】図1
    • 9. 发明专利
    • 基板検査装置および基板検査方法
    • JP2017096736A
    • 2017-06-01
    • JP2015228360
    • 2015-11-24
    • 日置電機株式会社
    • 久保田 雄田中 裕士
    • H05K3/00G01R31/02
    • 【課題】検査効率を向上させる。 【解決手段】基板の一方の面の8個の導体パターンPの一部を第1群として高電位とさせると共に他のすべての導体パターンPを第2群として低電位とさせて各導体パターンP間の絶縁状態を検査する第1絶縁検査を各群として設定する導体パターンPの組み合わせを変更しつつ3回実行する第1処理と、基板の他方の面の3個の導体パターンPの1つを高電位とさせると共に8個の導体パターンPのすべてを低電位とさせて各導体パターンP間の絶縁状態を検査する第2絶縁検査を導体パターンPを変更しつつ3個の導体パターンPのすべてについて実行する第2処理と、3個の導体パターンPの1つを高電位とさせると共に他の1つの導体パターンPを低電位とさせて2つの導体パターンP間の絶縁状態を検査する第3絶縁検査を、2つの導体パターンPのすべての組み合わせについて実行する第3処理とを行う。 【選択図】図7