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    • 3. 发明专利
    • 無鉛はんだバンプ接合構造
    • 无铅焊接结块结构
    • JP2016103530A
    • 2016-06-02
    • JP2014240113
    • 2014-11-27
    • 新日鉄住金マテリアルズ株式会社日鉄住金マイクロメタル株式会社
    • 石川 信二寺嶋 晋一赤司 圭介
    • B23K35/26C22C13/00C22C13/02H01L21/60
    • B23K1/19B23K1/20B23K35/26C22C13/00C22C13/02
    • 【課題】エレクトロマイグレーション現象およびサーモマイグレーション現象の相乗効果によって生じる断線不良を抑制し得る無鉛はんだバンプ接合構造を提供する。 【解決手段】無鉛はんだバンプ10内のCu電極4,7との接合界面に形成された金属間化合物層11,12からのCuの拡散が抑制されて金属間化合物層11,12が消失し難くなり、その分、当該金属間化合物層11,12によってCu電極4,7から無鉛はんだバンプ10内へとCuが拡散し難くなるので、電流を第1電子部材2および第2電子部材5間に無鉛はんだバンプ10を介して流し続けても、エレクトロマイグレーション現象やサーモマイグレーション現象の発生を抑制でき、かくして、エレクトロマイグレーション現象およびサーモマイグレーション現象の相乗効果によって生じる断線不良を抑制し得る。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:提供一种能够抑制由电迁移现象和热迁移现象的协同效应产生的断开故障的无铅焊料接合结构。解决方案:在接合界面上形成的金属间化合物层11,12的扩散 在无铅焊料凸块10中的Cu电极4,7被抑制,金属间化合物层11,12难以消失。 结果,Cu难以通过金属间化合物层11,12从Cu电极4,7扩散到无铅焊料凸块10中,并且即使电流流入第一电子部件2和第二电子部件2之间 通过无铅焊料凸块10的第二电气部件5,可以抑制电迁移现象和热迁移现象的产生。 因此,可以抑制由电迁移现象和热迁移现象的协同效应产生的断开故障。选择图:图2