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1. 发明专利

JP2014197520A 回路基板、電子ビーム発生装置、電子ビーム照射装置、電子ビーム露光装置、および製造方法有权
标题翻译：电路板电子束生成装置，电子束照射装置，电子束曝光装置及制造方法
公开(公告)号：JP2014197520A
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：JP2013073603
申请日：2013-03-29
申请人：国立大学法人東北大学 , Tohoku Univ
发明人： MIYAGUCHI YUTAKA , MUROYAMA MASANORI
IPC分类号： H01J37/305 , G03F7/20 , H01L21/027
摘要：【課題】複数の電子ビームで描画する画像のボケおよびゆがみ等を低減させる駆動回路。【解決手段】電子回路が設けられた回路領域と、回路領域を除いた非回路領域とをセル領域内に有し、予め定められた形状の複数のセルと、複数のセルが配列されることによって、回路領域を含まずに複数の非回路領域が隣り合って形成される加工領域と、加工領域に設けられ、複数の回路領域の間を同一基板上で電気的に絶縁する絶縁部とを備える回路基板、電子ビーム発生装置、電子ビーム照射装置、電子ビーム露光装置を提供する。【選択図】図5
摘要翻译：要解决的问题：提供减少例如由多个电子束所画出的图像的模糊和失真的驱动电路。解决方案：提供一种电路板，其包括具有预定形状的多个单元，单元区域，设置有电子电路的电路区域和电路区域以外的非电路区域; 其中通过布置多个单元而不包括电路区域而相邻地形成多个非电路区域的处理区域; 以及设置在处理区域中并将同一基板上的多个电路区域电绝缘的绝缘部分，电子束产生装置，电子束照射装置和电子束曝光装置。

2. 发明专利

JP2013214816A Level conversion circuit 审中-公开
标题翻译：电平转换电路
公开(公告)号：JP2013214816A
公开(公告)日：2013-10-17
申请号：JP2012082995
申请日：2012-03-30
申请人： Tohoku Univ , 国立大学法人東北大学
发明人： MIYAGUCHI YUTAKA , ESASHI MASAKI
IPC分类号： H03K19/0185
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a level conversion circuit that implements a low power consumption by eliminating a through current.SOLUTION: A first pair of transistors 11a, 11b are of a first conductivity type, and have respective first main electrodes connected to a ground and respective control electrodes fed with first and second low voltage signals either or both of which are at an L level. Second and third pairs of transistors 12, 13 are of a second conductivity type. The second pair of transistors have respective second main electrodes connected to corresponding second main electrodes of the first pair of transistors 11a, 11b, respective control electrodes connected to the second main electrodes of the pair of transistors 12, 13 and respective first main electrodes connected to a power supply. The third pair of transistors 13 have respective second main electrodes connected to the corresponding control electrodes of the second pair of transistors 12a, 12b, respective first main electrodes connected to the power supply VH, and respective control electrodes fed with a pre-charge signal. High voltage signals are output from junctions of the second main electrodes of the first and second pairs of transistors 11, 12.
摘要翻译：要解决的问题：提供通过消除直流电流来实现低功耗的电平转换电路。解决方案：第一对晶体管11a，11b是第一导电类型，并且具有连接到地的各自的第一主电极并且馈送有第一和第二低电压信号的各个控制电极中的一个或两个都处于L电平。第二和第三对晶体管12,13具有第二导电类型。第二对晶体管具有连接到第一对晶体管11a，11b的对应的第二主电极的各自的第二主电极，各个控制电极连接到该对晶体管12,13的第二主电极，并且相应的第一主电极连接到电源。第三对晶体管13具有连接到第二对晶体管12a，12b的相应控制电极的相应的第二主电极，连接到电源VH的各自的第一主电极和馈送有预充电信号的各个控制电极。高压信号从第一和第二对晶体管11,12的第二主电极的结点输出。

3. 发明专利

JP2014197652A 回路基板、電子ビーム発生装置、電子ビーム照射装置、電子ビーム露光装置、および製造方法审中-公开
标题翻译：电路板电子束生成装置，电子束照射装置，电子束曝光装置及制造方法
公开(公告)号：JP2014197652A
公开(公告)日：2014-10-16
申请号：JP2013073602
申请日：2013-03-29
申请人：国立大学法人東北大学 , Tohoku Univ
发明人： MIYAGUCHI YUTAKA , MUROYAMA MASANORI , YOSHIDA SHINYA , ESASHI MASAKI
IPC分类号： H01L21/027 , G03F7/20 , H01J37/073 , H01J37/305
摘要：【課題】複数の電子ビームを駆動してボケおよびゆがみを調整する電子回路を製造する。【解決手段】表面に複数の電子回路領域が設けられる基板と、複数の電子回路領域の間の境界において、基板の表面から裏面まで貫通して形成され、複数の電子回路領域の間を同一基板上で電気的に絶縁する第1の絶縁部とを備える回路基板、電子ビーム発生装置、電子ビーム照射装置、および電子ビーム露光装置を提供する。複数の電子回路領域のうちの少なくとも1つの電子回路領域は、前記基板の表面側および裏面側を電気的に接続する貫通ビア部を有してよい。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：制造通过驱动多个电子束来调节模糊和失真的电子电路。解决方案：提供一种电路板，包括：在第一表面上具有多个电子电路区域的基板; 以及形成为在多个电子电路区域中的边界处从第一表面渗透到第二表面并在同一基板上的多个电子电路区域之间电绝缘的第一绝缘部件，电子束产生装置，电子束照射装置和电子束曝光装置。多个电子电路区域中的至少一个电子电路区域可以具有电连接基板的第一表面侧和第二表面侧的通孔部分。

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