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1. 发明专利

JP6337363B1 複合部材及びその製造方法有权
公开(公告)号：JP6337363B1
公开(公告)日：2018-06-06
申请号：JP2017550638
申请日：2017-07-14
申请人：国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 , 住友精化株式会社 , DIC株式会社
发明人：下田達也 , 井上聡 , 廣瀬大亮 , 西岡聖司 , 八軒静香 , 冨士川亘 , 村川昭 , 白髪潤
IPC分类号： H01L21/3205 , H01L21/768 , H01L21/28 , H05K3/10 , H05K3/18 , H05K3/24 , H05K3/08 , H01L21/288
CPC分类号： H01L21/288 , H05K1/02 , H05K3/10 , H05K3/18
摘要：本発明の1つの複合部材100の製造方法は、基材10上に、カルボキシル基を有する樹脂を含有する樹脂層40を形成する、樹脂層形成工程と、該樹脂層40上に、脂肪族ポリカーボネート含有層22のパターンを形成する脂肪族ポリカーボネート含有層形成工程と、該脂肪族ポリカーボネート含有層22が形成されていない樹脂層40の表面の少なくとも一部に凹部を形成する凹部形成工程と、凹部上に金属層74を形成する、金属層形成工程と、を含む。

2. 发明专利

JPWO2018066203A1 複合部材及びその製造方法有权
公开(公告)号：JPWO2018066203A1
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：JP2017025743
申请日：2017-07-14
申请人：国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 , 住友精化株式会社 , DIC株式会社
发明人：下田達也 , 井上聡 , 廣瀬大亮 , 西岡聖司 , 八軒静香 , 冨士川亘 , 村川昭 , 白髪潤
IPC分类号： H01L21/3205 , H01L21/768 , H01L21/28 , H05K3/10 , H05K3/18 , H05K3/24 , H05K3/08 , H01L21/288
CPC分类号： H01L21/288 , H05K1/02 , H05K3/10 , H05K3/18
摘要：本発明の1つの複合部材100の製造方法は、基材10上に、カルボキシル基を有する樹脂を含有する樹脂層40を形成する、樹脂層形成工程と、該樹脂層40上に、脂肪族ポリカーボネート含有層22のパターンを形成する脂肪族ポリカーボネート含有層形成工程と、該脂肪族ポリカーボネート含有層22が形成されていない樹脂層40の表面の少なくとも一部に凹部を形成する凹部形成工程と、凹部上に金属層74を形成する、金属層形成工程と、を含む。

3. 发明专利

JP2021099330A トランジスタセンサ及び生体物質検出方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021099330A
公开(公告)日：2021-07-01
申请号：JP2020209541
申请日：2020-12-17
申请人：国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 , 三菱マテリアル株式会社
发明人：ファントゥエチョン , 高村禅 , 下田達也 , 廣瀬大亮 , 中澤弘実 , 曽山信幸 , 白田敬治 , 土井利浩
IPC分类号： G01N33/53 , G01N33/483 , G01N33/552 , G01N27/414
摘要：【課題】高感度で検出限界値が低く、検出の高安定性を実現し、更には低コストで迅速且つ簡便に生体物質の検出を行うことができるトランジスタセンサを提供する。【解決手段】基板と、前記基板の一方の面の上に設けられたチャネル層と、前記基板と前記チャネル層の間又は前記チャネル層の前記基板側と反対側の面の上に設けられた固体電解質層と、を有し、前記チャネル層は無機半導体を含み、前記固体電解質層は無機固体電解質を含み、前記チャネル層及び前記固体電解質層のうちいずれか一方又はその双方の少なくとも一部が外部に露出している露出部を備える、トランジスタセンサ。【選択図】図1

4. 发明专利

JP2016170361A 酸化物前駆体のパターン形成方法审中-公开
标题翻译：氧化铅前驱体的方法
公开(公告)号：JP2016170361A
公开(公告)日：2016-09-23
申请号：JP2015051501
申请日：2015-03-14
申请人：国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学
发明人：下田達也 , 廣瀬大亮 , 永原幸児 , 芳本祐樹
IPC分类号： G03F7/20 , H05K3/06 , G03F7/004
摘要：【課題】フォトレジスト及びドライエッチングを用いない酸化物前駆体のパターン形成方法を提供する。【解決手段】本発明の酸化物前駆体のパターン形成方法は、紫外線(UV)を酸化物前駆体に照射し、酸化物前駆体の溶剤に対する溶解性を変化させるUV照射工程と、UV照射した前記酸化物前駆体を溶剤に浸漬し、非UV照射部を溶解させる溶剤浸漬工程を含むことを特徴とする。溶解性が異なる部分をパターン状に作製し、その後、溶剤に浸漬してUVが照射されない部分を溶解除去して、酸化物のパターンを得るという方法を発明した。本発明では酸化物前駆体にUVを部分的に照射し、溶剤に浸漬することによって、フォトレジスト及び、ドライエッチングを用いないパターニングを行うことができる。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供氧化物前体的图案化方法，而不使用光致抗蚀剂和干蚀刻。溶液：本发明的氧化物前体的图案化方法包括：紫外线照射步骤，用紫外线照射氧化物前体 UV）以改变氧化物前体与溶剂的溶解度; 以及将紫外线照射的氧化物前体浸渍在溶剂中以溶解UV未照射部分的溶剂浸渍步骤。该方法包括：将具有不同溶解度水平的部分制成氧化物前体中的图案，将氧化物前体浸入溶剂中以溶解并除去未被UV照射的部分，从而获得氧化物的图案。根据本发明，可以通过用UV部分照射氧化物前体并将前体浸渍在溶剂中来进行图案化而不使用光致抗蚀剂和干蚀刻。选择的图：图2

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