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1. 发明专利

JP6337363B1 複合部材及びその製造方法有权
公开(公告)号：JP6337363B1
公开(公告)日：2018-06-06
申请号：JP2017550638
申请日：2017-07-14
申请人：国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 , 住友精化株式会社 , DIC株式会社
发明人：下田達也 , 井上聡 , 廣瀬大亮 , 西岡聖司 , 八軒静香 , 冨士川亘 , 村川昭 , 白髪潤
IPC分类号： H01L21/3205 , H01L21/768 , H01L21/28 , H05K3/10 , H05K3/18 , H05K3/24 , H05K3/08 , H01L21/288
CPC分类号： H01L21/288 , H05K1/02 , H05K3/10 , H05K3/18
摘要：本発明の1つの複合部材100の製造方法は、基材10上に、カルボキシル基を有する樹脂を含有する樹脂層40を形成する、樹脂層形成工程と、該樹脂層40上に、脂肪族ポリカーボネート含有層22のパターンを形成する脂肪族ポリカーボネート含有層形成工程と、該脂肪族ポリカーボネート含有層22が形成されていない樹脂層40の表面の少なくとも一部に凹部を形成する凹部形成工程と、凹部上に金属層74を形成する、金属層形成工程と、を含む。

2. 发明专利

JPWO2018066203A1 複合部材及びその製造方法有权
公开(公告)号：JPWO2018066203A1
公开(公告)日：2018-10-04
申请号：JP2017025743
申请日：2017-07-14
申请人：国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 , 住友精化株式会社 , DIC株式会社
发明人：下田達也 , 井上聡 , 廣瀬大亮 , 西岡聖司 , 八軒静香 , 冨士川亘 , 村川昭 , 白髪潤
IPC分类号： H01L21/3205 , H01L21/768 , H01L21/28 , H05K3/10 , H05K3/18 , H05K3/24 , H05K3/08 , H01L21/288
CPC分类号： H01L21/288 , H05K1/02 , H05K3/10 , H05K3/18
摘要：本発明の1つの複合部材100の製造方法は、基材10上に、カルボキシル基を有する樹脂を含有する樹脂層40を形成する、樹脂層形成工程と、該樹脂層40上に、脂肪族ポリカーボネート含有層22のパターンを形成する脂肪族ポリカーボネート含有層形成工程と、該脂肪族ポリカーボネート含有層22が形成されていない樹脂層40の表面の少なくとも一部に凹部を形成する凹部形成工程と、凹部上に金属層74を形成する、金属層形成工程と、を含む。

5. 发明专利

JPWO2017158930A1 積層体、エッチングマスク、積層体の製造方法、及びエッチングマスクの製造方法、並びに薄膜トランジスタの製造方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2017158930A1
公开(公告)日：2019-01-17
申请号：JP2016084398
申请日：2016-11-21
申请人：国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 , 住友精化株式会社
发明人：井上聡 , 下田達也 , 深田和宏 , 西岡聖司
IPC分类号： H01L21/306 , H01L21/336 , H01L29/786 , H01L21/316
摘要：【課題】エッチングマスク機能を備えた脂肪族ポリカーボネートを含むペースト又は溶液を用いて積層体を実現する。【解決手段】本発明の1つの積層体の製造方法は、酸化物層44上に、又は酸化されたときに酸化物層44となる第2酸化物前駆体層上に、脂肪族ポリカーボネートからなるバインダー(不可避不純物を含み得る)を含む溶液中に酸化されたときに金属酸化物となる金属の化合物を分散させた第1酸化物前駆体層のパターン80を形成する、パターン形成工程と、そのパターン形成工程の後、パターン80によって保護されていない酸化物層44又は第2酸化物前駆体層をエッチングする、エッチング工程と、エッチング工程の後、酸化物層44又は第2酸化物前駆体層と、第1酸化物前駆体層とを、前述のバインダーが分解する温度以上に加熱する加熱工程と、を含む。

6. 发明专利

JP2016115835A 酸化物層及びその製造方法、並びに半導体素子及びその製造方法、並びに電子デバイス审中-公开
标题翻译：氧化物层及其制造方法，半导体元件及其制造方法以及电子设备
公开(公告)号：JP2016115835A
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：JP2014253982
申请日：2014-12-16
申请人：国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 , 住友精化株式会社
发明人：下田達也 , 井上聡 , 深田和宏 , 西岡聖司 , 藤本信貴 , 鈴木正博
IPC分类号： H01L21/336 , H01L29/786 , H01L21/316 , C23C26/00 , H01L21/28 , H01L21/288 , H01L21/368
摘要：【課題】電子デバイス又は半導体素子に採用され得る、薄くかつ平坦性に優れた酸化物層を提供する。【解決手段】本発明の1つの酸化物層の製造方法は、脂肪族ポリカーボネートからなるバインダー(不可避不純物を含み得る)を含む溶液中に、酸化されたときに金属酸化物となる金属の化合物を分散させた酸化物の前駆体を、基板10の上方に層状に形成する前駆体層(例えば、チャネル用前駆体層42)形成工程と、その前駆体の層を加熱することによってその脂肪族ポリカーボネートの全てが分解する前に、オゾン(O 3 )雰囲気下においてその前駆体の層を加熱しつつその前駆体の層に対して紫外線(UV)を照射する照射工程と、を含む。【選択図】図8
摘要翻译：要解决的问题：提供平坦度优异并且能够用于电子器件或半导体元件的薄氧化物层。解决方案：本发明的一种氧化物层的制造方法包括前体层（例如，前体用于通道42的层）形成步骤，用于形成氧化物的前体，其中当被氧化时成为金属氧化物的金属化合物分散在含有在基材上方的脂肪族聚碳酸酯（可能含有不可避免的杂质）的粘合剂的溶液的溶液中并且在通过加热前体层之前，在脂肪族聚碳酸酯完全分解之前，在臭氧（O）气氛下加热的同时用紫外线（UV）照射前体的层的照射步骤。图示：图 8

7. 发明专利

JP2015093339A 微細構造物及びその製造方法並びに脂肪族ポリカーボネート有权
标题翻译：微结构，其生产方法和二聚碳酸酯
公开(公告)号：JP2015093339A
公开(公告)日：2015-05-18
申请号：JP2013233048
申请日：2013-11-11
申请人：国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 , 住友精化株式会社
发明人：浮田芳昭 , 高村禅 , 井上聡 , 下田達也 , 藤本信貴 , 西岡聖司 , 辛島修一
IPC分类号： C08G64/02 , B29C59/02 , B81C1/00
摘要：【課題】大気圧下であっても製造が可能な、高い寸法精度を有し得る微細構造物、及びその製造プロセス、並びにそのような微細構造物を得るための材料を提供する。【解決手段】本発明の1つの微細構造物の製造方法は、貫通孔及び/又は非貫通孔(V)を備えた微細構造物100の製造方法であって、脂肪族ポリカーボネート又はその脂肪族ポリカーボネートの下地に型押し加工を施すことによって、その脂肪族ポリカーボネートをパターニングするパターニング工程と、その脂肪族ポリカーボネートとその下地とを覆う第1金属酸化物前駆体層を形成する前駆体層形成工程と、第1金属酸化物前駆体層を加熱して第1金属酸化物層32を得る間に、前述の脂肪族ポリカーボネートを除去する除去工程と、を含む。【選択図】図7
摘要翻译：要解决的问题：提供：即使在大气压下也能够生产并具有高尺寸精度的微结构; 一个生产过程相同; 以及获得这样的微结构的材料。解决方案：具有通孔和/或非通孔（V）的微结构100的制造方法包括：图案化步骤，其中脂肪族聚碳酸酯通过压花脂肪族聚碳酸酯或脂肪族聚碳酸酯的碱; 前体层形成步骤，用于形成覆盖图案化脂族聚碳酸酯和图案化脂族聚碳酸酯基体的第一金属氧化物前体层; 以及通过加热第一金属氧化物前体层在获得第一金属氧化物层32期间除去脂族聚碳酸酯的去除步骤。

9. 发明专利

JPWO2016167064A1 エッチングマスク、エッチングマスク前駆体及び酸化物層の製造方法並びに薄膜トランジスタの製造方法审中-公开
公开(公告)号：JPWO2016167064A1
公开(公告)日：2018-02-08
申请号：JP2017512237
申请日：2016-03-14
申请人：国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 , 住友精化株式会社
发明人：井上聡 , 下田達也 , 深田和宏 , 西岡聖司 , 藤本信貴 , 鈴木正博
IPC分类号： H01L21/3065 , C08G64/02 , C08L69/00 , H01L21/336 , H01L29/786
CPC分类号： H01L21/3065 , H01L29/786
摘要：本発明の1つのスクリーン印刷用のエッチングマスク80は、脂肪族ポリカーボネートを含む。また、本発明の1つの酸化物層(チャネル44)の製造方法は、脂肪族ポリカーボネートを含むエッチングマスク80のパターンを形成するエッチングマスク形成工程と、そのエッチングマスク形成工程の後、エッチングマスク80によって保護されていない酸化物層(チャネル44)を溶解する溶液に接触させる接触工程と、その接触工程の後、酸化物層(チャネル44)及びエッチングマスク80をエッチングマスク80が分解する温度以上に加熱する加熱工程とを含む。

10. 发明专利

JP6204154B2 微細構造物及びその製造方法並びに脂肪族ポリカーボネート有权
公开(公告)号：JP6204154B2
公开(公告)日：2017-09-27
申请号：JP2013233048
申请日：2013-11-11
申请人：国立大学法人北陸先端科学技術大学院大学 , 住友精化株式会社
发明人：浮田芳昭 , 高村禅 , 井上聡 , 下田達也 , 藤本信貴 , 西岡聖司 , 辛島修一
IPC分类号： C08G64/02 , B29C59/02 , B81C1/00

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