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    • 10. 发明专利
    • ポリマー、および感光性樹脂組成物
    • 聚合物和感光树脂组合物
    • JP2015183024A
    • 2015-10-22
    • JP2014058138
    • 2014-03-20
    • 住友ベークライト株式会社
    • 大西 治
    • G03F7/023G03F7/004G03F7/038G03F7/075H01L21/027C08F232/00
    • 【課題】電子装置を構成する層間絶縁膜の形成におけるパターニング工程においてアンダーカットの発生を抑制できる感光性樹脂組成物の提供。 【解決手段】式(1a)で示される構造単位、及び式(1b)で示される構造単位を含むポリマー。 (nは0〜2;R 1 〜R 4 はH又はC 1〜10 の有機基で、そのうちの少なくとも一つがカルボキシル基、エポキシ環、又はオキセタン環を含む有機基で;mは0〜2;R 5 〜R 8 はH又はC 1〜10 の有機基で、そのうちの少なくとも一つがアルコキシシリル基) 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种能够抑制构成电子器件的层间绝缘膜形成图案的底切产生的感光性树脂组合物。解决方案:具有由式(1a)表示的结构单元和结构单元的聚合物 由式(1b)表示。 在式中,n表示0〜2; Rto R代表H或1-10C有机基团,其中至少一个是包括羧基,环氧环或氧杂环丁烷环的有机基团; m表示0〜2; Rto R代表H或1-10C有机基团,其中至少一个是烷氧基甲硅烷基。