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    • 5. 发明专利
    • 脆性材料基板の加工方法および加工装置
    • 快速材料基板的加工方法和加工装置
    • JP2015062927A
    • 2015-04-09
    • JP2013198628
    • 2013-09-25
    • 三星ダイヤモンド工業株式会社
    • 福原 健司蘇 宇航荒川 美紀山本 幸司
    • B23K26/364B23K26/08C03B33/09B23K26/40B28D5/00B23K26/38
    • 【課題】従来よりも容易かつ確実に脆性材料基板を分断することが可能となるとともに、分断後の個片の端面強度を従来よりも大きくすることが出来る脆性材料基板の加工方法を提供する。 【解決手段】波長が355nmのパルスレーザ光を集光して、脆性材料基板の表面に、パルスレーザ光の被照射領域において溶融アブレーションが生じる照射条件にて前記分断予定位置に沿って走査しつつ照射することにより、分断予定位置に沿った溝部であって、それぞれが脆性材料基板の上面から連続する1対の曲面が対向してなり、溝部の対向する1対のエッジをなす上端部と、それぞれが上端部から連続する、脆性材料基板の厚み方向に沿った一対の面が対向してなる中間部と、中間部をなす一対の面のそれぞれと連続してなる曲面である底部とを有するものを形成するとともに、溝部の底部の最下端部から基板の厚み方向へと伸展する亀裂を形成する。 【選択図】図3
    • 要解决的问题:提供一种脆性材料基板的处理方法,该脆性材料基板能够比以前更容易且可靠地分割脆性材料基板,并且能够使分离后的单个片材的端面强度比以前更高。解决方案:脉冲 波长为355nm的激光束被冷凝,在沿着预定位置进行扫描的情况下,用冷凝脉冲激光束照射脆性材料基板的表面,以便在照射条件下在被照射的区域中发生熔融烧蚀 脉冲激光束,从而沿着待分割的预定位置的槽部分包括:由彼此面对的成对弯曲表面分别形成的上端部,分别从脆性材料基板的上表面延伸并使其成对 凹槽部分 中间部分,其分别沿着脆性材料基板的厚度方向相对的成对表面分别与上端部连续地形成; 并且形成作为与形成中间部的成对面连续的曲面的底部,同时形成从槽部的底部的最下端向基板的厚度方向前进的裂纹 。
    • 8. 发明专利
    • レーザ光による多層基板の加工方法及び加工装置
    • 用激光束处理多层基板的方法和装置
    • JP2016137499A
    • 2016-08-04
    • JP2015012891
    • 2015-01-27
    • 三星ダイヤモンド工業株式会社
    • 荒川 美紀中谷 郁祥
    • B23K26/364H05K3/00B23K26/57
    • 【課題】簡単な構成で、装置のコストを高価にすることなく、多層基板を加工できるようにする。 【解決手段】この加工方法は、多層基板にレーザ光を照射して加工する方法であって、準備工程と、加工工程と、を含む。準備工程では、積層された少なくとも第1層及び第2層からなる多層基板を準備する。加工工程では、第1層に対して加工可能でかつ透過可能な所定の吸収率を有するとともに第2層を加工可能な波長のレーザ光を、第1層側から照射して第1層及び第2層を同時に加工する。 【選択図】図2
    • 要解决的问题:为了能够通过简单的结构进行多层基板的处理而不增加装置成本。解决方案:通过照射激光束来处理多层基板的这种处理方法包括准备步骤和处理步骤。 在制备步骤中,制备其中层叠有至少第一层和第二层的多层基板。 在处理步骤中,具有能够处理和渗透第一层的预定吸收率的激光束和能够处理第二层的波长从第一层的一侧辐射以同时处理第一层和第二层。 选择图:图2
    • 9. 发明专利
    • 脆性材料基板の加工方法
    • BRITTLE材料基板处理方法
    • JP2015116774A
    • 2015-06-25
    • JP2013262723
    • 2013-12-19
    • 三星ダイヤモンド工業株式会社
    • 福原 健司荒川 美紀
    • B23K26/364C03B33/08C03B33/07B28D5/00
    • 【課題】従来よりも容易かつ確実に分断することが可能な、あるいは、分断後に得られる個片の端面強度が従来よりも大きくなる、脆性材料基板の加工方法を提供する。 【解決手段】脆性材料基板を分断予定位置に沿って加工する方法が、パルスレーザ光を集光し、パルスレーザ光の被照射領域において溶融アブレーションが生じる照射条件にて脆性材料基板の表面に設定された分断予定位置に沿って走査しつつ照射する照射工程を、一の分断予定位置に対して複数回(例えば2回)繰り返すことにより、分断予定位置に沿った分断起点を形成する。 【選択図】図3
    • 要解决的问题:提供一种与常规方法相比,能够容易且可靠地分离的脆性材料基板处理方法,或者提高分离后的成形件的端面强度与常规强度相比较。解决方案: 沿着分割计划位置的脆性材料基板被配置为:用于光聚焦脉冲激光束的辐射步骤,并且在辐射条件下沿着设置在脆性材料基板的表面上的分割计划位置扫描和辐射脉冲激光束 在由激光束照射的区域发生熔化烧蚀,多次(例如两次)重复到一个分割计划位置,因此形成沿分割计划位置的分离原点。