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    • 3. 发明专利
    • 研摩材スラリー及びそれを用いた基板の製造方法
    • 抛光材料浆料和使用其制造基材的方法
    • JP2015065232A
    • 2015-04-09
    • JP2013197232
    • 2013-09-24
    • 三井金属鉱業株式会社
    • 徳地 成紀丸山 陽兵大鹿 元己
    • B24B37/00C09K3/14H01L21/304
    • 【課題】良好なエピタキシャル成長膜を形成することが可能な基板の製造方法に用いられる研摩材スラリーを提供すること。 【解決手段】本発明の研摩材スラリーは、結晶子径が10nm以上150nm以下でかつ平均粒径が0.05μm以上3.0μm以下である酸化セリウムからなる研摩砥粒を含み、第13族元素窒化物の単結晶からなる基板の研摩に用いられる。この研摩材スラリーを用いて、第13族元素窒化物の単結晶の表面を研摩することで、表面に、一方向に延びる多条の原子ステップを有する基板を製造する。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供在其上形成有利的外延生长膜的基板制造方法中使用的抛光材料浆料。溶液:本发明的抛光材料浆料含有结晶直径为10nm的抛光磨粒 以上且150nm以下,平均粒径为0.05μm以上且3.0μm以下,并且包含氧化铈,并且用于研磨包含13族元素的氮化物的单晶的衬底。 通过使用抛光材料浆料研磨13族元素的氮化物的单晶的表面,制造了在其表面上沿一个方向延伸的多线原子台阶的基板。