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2. 发明专利

JP2015077682A 混合比率制御装置および方法、ならびに砥液供給システムおよび方法审中-公开
标题翻译：用于控制混合比的装置和方法，以及用于提供磨料液体的系统和方法
公开(公告)号：JP2015077682A
公开(公告)日：2015-04-23
申请号：JP2014239657
申请日：2014-11-27
申请人：ラピスセミコンダクタ株式会社
发明人：馬場裕之 , 歳川清彦
IPC分类号： B24B37/00 , H01L21/304 , B24B57/02
摘要：【課題】互いに希釈倍率が異なる原液を収容する2種類の原液タンクを、共通の砥液供給装置で使用することを可能にする。【解決手段】砥液供給装置10は、原液タンクTからの砥液原液を混合タンク11に供給する原液供給部12と、希釈液流路13aを通じて希釈液を混合タンク11に供給する希釈液供給部13と、砥液原液と希釈液とが所定の比率で混合された砥液が混合タンク内に生成されるように、原液供給部12および希釈液供給部13の制御を行う制御部15とを有する。混合比率制御装置30は、希釈液流路13aを流れる希釈液を混合タンク11の上流側で排出する排出部31と、所定の種類の原液タンクが使用される場合に、上記制御が行われる際、砥液原液と希釈液とが上記所定の比率と異なる比率で混合されるように排出部31の制御を行う排出制御部32とを有する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：在普通研磨液体供应装置中使用两种储存溶液的储备溶液彼此不同的储备溶液罐。解决方案：磨料供应装置10包括：供给磨料的储液供应部分12 液体储备溶液从储备溶液罐T到混合槽11; 稀释液供给部13，用于通过稀释流体流路13a向稀释槽11供给稀释液; 以及用于控制储液供应部分12和稀释液供应部分13的控制部分15，使得在混合罐中产生通过将研磨液体储备溶液和稀释液体以规定比例混合而产生的研磨液体。混合比率控制装置30包括：排出部31，用于排出在混合槽11的上游侧在稀释流体流路13a中流动的稀释流体; 以及排出控制部32，其用于控制排出部31，使得当使用规定种类的储液槽时，并且当执行上述控制时，研磨液储备溶液和稀释液以与规定比例。

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