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    • 7. 发明专利
    • 計測装置
    • JP2018151353A
    • 2018-09-27
    • JP2017049604
    • 2017-03-15
    • ファナック株式会社
    • 飯島 一憲
    • G01B11/30
    • G01B11/303G01B11/02G01B11/24G01B11/30
    • 【課題】工作機械に用いられる機上測定装置において、計測対象の表面微細構造の深さ方向の形状を精密に測定できる構成を提供すること。 【解決手段】機上計測装置1は、計測対象である被削材51をレーザ光源20に対して相対的に移動させてレーザ光の走査照射を行う移動機構30と、レーザ光源20からの光を被削材51に垂直入射させるハーフミラー31と、被削材51で散乱、回折、反射された光を集光するレンズ32と、レンズ32の透過光の焦点像の投影面33と、投影面33の光信号を電気信号に変換してアナログ信号を出力する受光素子配列41と、受光素子配列41からのアナログ信号から変換されたデジタル信号に基づいてレーザ光の走査照射によって受光素子配列41で得られる受光情報を時系列で記憶し、時系列で記憶した受光情報を空間情報に変換して光学回折像を生成し、生成した光学回折像から光強度分布を取得する計算機43と、を備える。 【選択図】図2