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    • 1. 发明专利
    • 検査システム
    • JP2019078651A
    • 2019-05-23
    • JP2017206144
    • 2017-10-25
    • ファナック株式会社
    • 太田 悠介藁科 文和
    • G01N21/88
    • 【課題】検査対象物の表面の付着物に起因する欠陥の誤検出又は見逃しを低減する検査システムを提供する。 【解決手段】検査システム1は、検査対象物Wの画像検査を行う検査システムであって、検査対象物Wを撮像する撮像装置10と、検査対象物Wに清浄気体を噴出するブローノズル22を有するブロー装置20と、撮像装置10及びブローノズル22と検査対象物Wとのいずれかがアーム先端部32に取り付けられたロボット30と、撮像装置10で撮像された画像に基づいて、検査対象物Wの画像検査を行う検査装置50とを備え、検査装置50は、撮像装置10とブローノズル22との位置関係に基づいて、検査対象物Wに対して撮像装置10よりもブローノズル22が先行して相対移動するように、ロボットの動作プログラムを生成する。 【選択図】図1