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    • 2. 发明专利
    • III族窒化物半導体縦型構造LEDチップの製造方法
    • 制造III类氮化物半导体垂直结构LED芯片的方法
    • JP2015097298A
    • 2015-05-21
    • JP2015026774
    • 2015-02-13
    • ビービーエスエイ リミテッドBBSA LimitedDOWAエレクトロニクス株式会社
    • ▲チョ▼ 明煥李 錫雨張 弼國鳥羽 隆一豊田 達憲門脇 嘉孝
    • H01L33/32H01L33/20
    • 【課題】発光構造部にクラックの少ない、高品質の縦型LEDチップを提供する。 【解決手段】下部電極を兼ねる導電性サポート部と、該サポート部上に設けられた接続層と、該接続層上に設けられたオーミック電極層と、第2伝導型III族窒化物半導体層、該第2伝導型III族窒化物半導体層の上に設けられた発光層、および、該発光層の上に設けられた前記第2伝導型とは異なる伝導型の第1伝導型III族窒化物半導体層を有する発光構造部とを一対の電極で挟んだ構造を有し、前記発光構造部の平面が、円またはコーナーに丸みを有する4n角形状(nは正の整数とする。)であり、かつ前記サポート部の平面は、前記発光構造部の平面よりも大きくかつ異なる形状を有することを特徴とする。 【選択図】図5
    • 要解决的问题:提供在发光结构部分中几乎没有裂纹的高品质垂直LED芯片。解决方案:III族氮化物半导体垂直结构LED芯片包括用于夹在一对电极之间的结构: 用作下电极的导电支撑部分; 设置在所述支撑部上的连接层; 设置在所述连接层上的欧姆电极层; 以及具有第二导电型III族氮化物半导体层的发光结构部分,设置在第二导电型III族氮化物半导体层上的发光层和设置在第二导电型III族氮化物半导体层上的第一导电型III族氮化物半导体层 并且具有与第二导电类型不同的导电类型。 发光结构部分的平面具有在角部具有圆角的圆形或4n角形状(n为正整数),并且支撑部分的平面具有大于和不同的形状 从发光结构部分的平面。