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    • 5. 发明专利
    • 半導体装置の製造方法及び製造装置
    • 制造半导体器件的方法和器件
    • JP2016086039A
    • 2016-05-19
    • JP2014216578
    • 2014-10-23
    • パナソニックIPマネジメント株式会社
    • 櫻井 大輔近藤 繁三宅 貴大
    • G01B11/00G01B11/14H01L27/14
    • 【課題】 光学部品などの実装部材貼付工程内で光学部品と半導体素子などの基板とのギャップを高精度に確保でき、さらに接着不良を判別し、接着不良品が後工程への流出防止可能な半導体装置の製造方法及び製造装置を提供する。 【解決手段】 検出光6を実装部材11及び接合部材13の中を透過し照射することにより実装部材と基板12との間の上下方向の距離を測定し、所定の距離まで接近させたまま、検出光を実装部材に対し上下方向かつ横方向には実装部材の少なくとも1つのコーナー部近傍に照射し、その反射光の波形により接着状態の良否を検査する。 【選択図】図1A
    • 要解决的问题:为了提供一种制造半导体器件的方法和装置,其能够在粘合诸如光学部件的包装部件的过程中以高精度确保光学部件和诸如半导体元件的基板之间的间隙, 并进一步确定粘合剂故障并防止粘合剂缺陷物品流出到后处理。解决方案:通过发射和发射检测光6通过包装部件11和接合部来测量包装部件和基板12之间的垂直距离 材料13.当使它们彼此靠近预定距离时,检测光沿横向方向在包装件的至少一个拐角部分的垂直方向和附近发射到包装部件。 通过其反射光的波形检查粘附状态的质量。选择图:图1A