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热词
    • 4. 发明专利
    • 半導体装置
    • 半导体设备
    • JPWO2014080471A1
    • 2017-01-05
    • JP2013525045
    • 2012-11-21
    • トヨタ自動車株式会社株式会社デンソー
    • 明高 添野明高 添野敏雅 山本山本  敏雅
    • H01L29/78H01L21/336H01L29/12
    • H01L29/7813H01L21/047H01L29/0623H01L29/0878H01L29/0886H01L29/1095H01L29/1608H01L29/4236H01L29/66068H01L29/66734
    • 半導体装置は、第1導電型のドリフト層と、第2導電型のボディ層と、第1導電型のソース層と、第1導電型のドレイン層と、ボディ層を貫通してドリフト層に達するトレンチゲートと、トレンチゲートの底部を包囲しており、ドリフト層によってボディ層より分離されている第2導電型の第1半導体層と、トレンチゲートの長手方向の端部に沿って、その一端部がボディ層に接する一方で他端部が第1半導体層に接する第1導電型の第2半導体層と、その一端部がボディ層に接続する一方で他端部が第1半導体層に接続し、かつ、第2半導体層に接し、第2半導体層によってトレンチゲートの長手方向の端部と離隔されている接続層と、を備えている。
    • 该半导体器件包括第一导电类型的漂移层,到达第二导电类型的主体层,以及第一导电类型的源极层,第一导电型的漏极层,穿过所述主体层的漂移层 沟槽栅极包围沟槽栅的底部,其从所述主体层通过漂移层分开的第二导电类型的第一半导体层,沿着沟槽栅的纵向边缘,一个端 有在与所述第一半导体层接触的第一导电类型的第二半导体层的另一端,而在与本体层接触,其一端是另一端在连接到连接到第一半导体层中的本体层 并且,在与所述第二半导体层接触包括从由所述第二半导体层中的沟槽栅极的纵向端隔开的连接层分开。
    • 10. 发明专利
    • 半導体装置とその製造方法
    • 半导体器件及其制造方法
    • JPWO2012169022A1
    • 2015-02-23
    • JP2012508844
    • 2011-06-08
    • トヨタ自動車株式会社
    • 明高 添野明高 添野
    • H01L21/336H01L21/329H01L29/739H01L29/78H01L29/861H01L29/868
    • H01L29/7395H01L29/0834H01L29/32H01L29/66333H01L29/66348H01L29/7397
    • 本明細書が開示する半導体装置は、半導体基板に形成された第1導電型のドリフト層と、ドリフト層の表面側に位置し、半導体基板の表面に形成された第2導電型のボディ層と、を有している。ドリフト層は、ライフタイム制御領域を有しており、ライフタイム制御領域は、半導体基板の深さ方向に変化するドリフト層の結晶欠陥密度の極大値をhとした場合に、結晶欠陥密度がh/2以上である。ライフタイム制御領域は、第1抵抗層と、第1抵抗層よりも比抵抗が低い第2抵抗層とを含む第1導電型のプレドリフト層に荷電粒子を照射することによって形成され、ライフタイム制御領域の少なくとも一部は、第2抵抗層の範囲内に形成される。
    • 在本说明书中教导的半导体器件包括形成在半导体基板上的第一导电型漂移层,位于所述漂移层的表面侧,形成在半导体衬底的表面上的第二导电型体层 的了。 漂移层具有寿命控制区,所述寿命控制区,漂移层,在在h时,晶体缺陷密度H的情况下,在半导体衬底的深度方向上变化的晶体缺陷密度的最大值 / 2以上。 寿命控制区通过照射第一电阻体层形成时,在第一导电类型的漂移层前和第一电阻器层第二电阻层的电阻率的带电粒子是比寿命下 至少控制区域的一部分被第二电阻层内形成。