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1. 发明专利

JP5958600B2 ドライエッチング方法有权
公开(公告)号：JP5958600B2
公开(公告)日：2016-08-02
申请号：JP2015096141
申请日：2015-05-11
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：日比野泰雄 , 梅崎智典 , 菊池亜紀応 , 毛利勇 , 岡本覚
IPC分类号： C09K13/08 , H05H1/46 , H01L21/3065

2. 发明专利

JP5862012B2 ドライエッチング剤及びドライエッチング方法有权
标题翻译：干式蚀刻剂和干式蚀刻法
公开(公告)号：JP5862012B2
公开(公告)日：2016-02-16
申请号：JP2011011049
申请日：2011-01-21
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：日比野泰雄 , 梅崎智典 , 菊池亜紀応 , 毛利勇 , 岡本覚
IPC分类号： H01L21/768 , H01L21/3065

3. 发明专利

JP5817373B2 トランス−1,3,3,3−テトラフルオロプロペンの製造方法有权
标题翻译：对于反式1,3,3,3-四氟丙烯的方法
公开(公告)号：JP5817373B2
公开(公告)日：2015-11-18
申请号：JP2011202071
申请日：2011-09-15
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：日比野泰雄 , 吉川悟 , 西口祥雄 , 岡本覚 , 佐久冬彦
IPC分类号： C07C21/18 , C07C17/38 , C07C17/20
CPC分类号： C07C17/206 , B01J21/04 , B01J21/18 , B01J23/26 , B01J27/12 , B01J27/128 , B01J27/132 , B01J27/135 , B01J27/138 , B01J37/0201 , B01J37/26 , C01B7/0737 , C01B7/196 , C01B7/197 , C07C17/38 , C07C17/383 , Y02P20/582

4. 发明专利

JP2015195381A ドライエッチング方法有权
标题翻译：干蚀刻方法
公开(公告)号：JP2015195381A
公开(公告)日：2015-11-05
申请号：JP2015096141
申请日：2015-05-11
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：日比野泰雄 , 梅崎智典 , 菊池亜紀応 , 毛利勇 , 岡本覚
IPC分类号： C09K13/08 , H05H1/46 , H01L21/3065
摘要：【課題】経済性を備え、地球環境に対する影響が小さく、かつ必要とされる性能を有するドライエッチング方法を提供する。【解決手段】(A)3,3,3−トリフルオロプロピンと、(E)O 2 、CO、COF 2 、CF 4 、C 2 F 6 、C 4 F 8 、F 2 、Cl 2 及びNF 3 からなる群より選ばれる少なくとも1種のガスを用い、(A)及び(E)の体積流量比をそれぞれ5〜95%:5〜94%(但し、各々のガスの体積流量比の合計は100である。)とし、二酸化珪素及び窒化珪素からなる群より選ばれる少なくとも1種のシリコン系材料を選択的に、高アスペクト比で異方性エッチングするドライエッチング方法を用いる。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种具有经济效益且对全球环境影响小的干蚀刻方法，并且能够实现必要的性能。解决方案：一种干蚀刻方法包括：各向异性蚀刻至少一种的选自由高比例的二氧化硅和氮化硅组成的组的硅系材料，其中（A）3,3,3-三氟丙炔和（E）选自由以下组成的组中的至少一种气体： O，CO，COF，CF，CF，CF，F，Cland NF; （A）和（E）的体积流量的比例为5-95％：5-94％（各气体的体积流量比例为100）。

5. 发明专利

JP5821633B2 1−クロロ−3,3,3−トリフルオロプロペンの製造方法有权
标题翻译：用于生产1-氯-3,3,3-三氟丙烯的方法
公开(公告)号：JP5821633B2
公开(公告)日：2015-11-24
申请号：JP2011290306
申请日：2011-12-29
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：日比野泰雄 , 吉川悟 , 佐久冬彦
IPC分类号： C07C21/18 , C07C17/25
CPC分类号： C07C17/278 , C07C17/25 , C07C2521/04

6. 发明专利

JP5750917B2 シス−1−クロロ−3,3,3−トリフルオロプロペンの製造方法有权
标题翻译：用于制备顺式-1-氯-3,3,3-三氟丙烯的方法
公开(公告)号：JP5750917B2
公开(公告)日：2015-07-22
申请号：JP2011019649
申请日：2011-02-01
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：長舩夏奈子 , 日比野泰雄 , 玉井良一
IPC分类号： C07C21/18 , C07C17/358

7. 发明专利

JP5747684B2 ヒドロフルオロカーボンまたはヒドロクロロフルオロカーボンの脱水方法、および該脱水方法を用いた1,3,3,3−テトラフルオロプロペンの製造方法有权
标题翻译：如何氢氟烃或氯氟烃和1,3,3,3-方法的脱水与脱水法生产四氟丙烯
公开(公告)号：JP5747684B2
公开(公告)日：2015-07-15
申请号：JP2011145451
申请日：2011-06-30
申请人：セントラル硝子株式会社
发明人：西口祥雄 , 日比野泰雄
IPC分类号： C07C21/18 , C07C17/20 , C07C17/25 , C07C17/383 , C07C17/38
CPC分类号： C07C17/38 , C07C17/206 , C07C17/21 , C07C17/25 , C07C17/383

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