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    • 2. 发明专利
    • Optical pumping for plasma maintenance
    • 空值
    • JP2014526119A
    • 2014-10-02
    • JP2014518888
    • 2012-06-25
    • ケーエルエー−テンカー コーポレイション
    • イリア ベゼルアナトリー シチェメリニンマシュー デルスタイン
    • H05H1/24
    • H01J61/20H01J65/042H05H1/02
    • プラズマを維持する方法は、所定容積のガスを提供することと、第1の選択された波長の照射を生成することと、第1の選択された波長の照射を所定容積のガス中に集束させることにより、ガスの第1の領域内に第1のプラズマ種を形成し、ガスの少なくとも第2の領域内に少なくとも第2のプラズマ種を形成することとを含む。 第1の領域は、第1の平均温度および第1のサイズを有し、少なくとも第2の領域は、少なくとも第2の平均温度および少なくとも第2のサイズを有し、照射の第1の選択された波長を第1のプラズマ種の吸収線へ同調させることにより、第1の選択された波長の照射は、少なくとも第2のプラズマ種によって実質的に透過され、第1の選択された波長の照射は、第1のプラズマ種によって実質的に吸収され、吸収線は、第1のプラズマ種のイオン吸収遷移または圧力励起中性遷移の少なくとも1つに関連する。
      【選択図】図1A
    • 维持等离子体的方法包括提供一定体积的气体; 产生第一选定波长的照明; 以及通过将所述第一波长的照射聚焦到所述气体体积中,在所述气体的第一区域中形成第一等离子体物质和所述气体的第二区域中的第二等离子体物质,所述第一区域具有第一平均温度和第一等离子体物质 具有第二平均温度和第二尺寸的第二区域,由第二等离子体物质透射的第一选定波长的照明,通过调谐第一等离子体物质的第一选定波长的照射,由第一等离子体物质吸收的第一选定波长的照明 照射到第一等离子体物质的吸收线,吸收线与第一等离子体物质的离子吸收转变或激发的中性转变相关联。