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1. 发明专利

JPWO2011013779A1 極端紫外光源装置、極端紫外光源装置の制御方法、およびそのプログラムを記録した記録媒体有权
公开(公告)号：JPWO2011013779A1
公开(公告)日：2013-01-10
申请号：JP2011524841
申请日：2010-07-29
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：正人守屋 , 正人守屋 , 英行林 , 英行林 , 阿部　徹 , 徹阿部
IPC分类号： H05G2/00 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： H05G2/003 , H05G2/008
摘要：極端紫外光源装置100は、ドライバレーザ1からのレーザパルス光L1をターゲット物質であるドロップレット13に照射して該ドロップレット13をプラズマ化し、該プラズマ化したドロップレット13から放射したEUV光L10を出力する。ここで、EUV光L10を連続発光する場合、EUV光源コントローラCは、ドライバレーザ1に連続的に出力させたレーザパルス光L1をドロップレット13に照射し、前記連続発光を停止する場合、ドライバレーザ1にレーザパルス光L1を連続的に出力させつつ該レーザパルス光L1によるドロップレット13のプラズマ化を回避する制御を行うバースト制御部C1を備える。

2. 发明专利

JP5612579B2 極端紫外光源装置、極端紫外光源装置の制御方法、およびそのプログラムを記録した記録媒体有权
标题翻译：极端紫外线光源装置，极紫外线光源装置的控制方法，以及记录介质中记录的程序
公开(公告)号：JP5612579B2
公开(公告)日：2014-10-22
申请号：JP2011524841
申请日：2010-07-29
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：正人守屋 , 正人守屋 , 英行林 , 英行林 , 阿部　徹 , 徹阿部
IPC分类号： H05G2/00
CPC分类号： H05G2/003 , H05G2/008

3. 发明专利

JP5603135B2 Apparatus and method for measuring and controlling a target trajectory in the chamber apparatus 有权
公开(公告)号：JP5603135B2
公开(公告)日：2014-10-08
申请号：JP2010111286
申请日：2010-05-13
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：英行林 , 徹阿部 , 弘司柿崎 , 敏博西坂
IPC分类号： H01L21/027 , H05G2/00
CPC分类号： H05G2/003 , H05G2/006

4. 发明专利

JPWO2014042003A1 極端紫外光生成方法及び極端紫外光生成装置有权
标题翻译：极紫外光产生方法和极紫外光产生装置
公开(公告)号：JPWO2014042003A1
公开(公告)日：2016-08-18
申请号：JP2014535478
申请日：2013-08-27
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：正人守屋 , 正人守屋 , 英行林 , 英行林 , 若林　理 , 理若林
IPC分类号： H05G2/00
CPC分类号： H05G2/008 , H01J37/228 , H01J37/3045 , H01J2237/20292 , H05G2/005 , H05G2/006
摘要：この極端紫外光生成装置は、貫通孔が設けられたチャンバと、貫通孔を通してチャンバ内の第1所定領域にパルスレーザ光を導入するように構成された導入光学系と、第1所定領域に向けてターゲットを出力するように構成されたターゲット供給部と、ターゲット供給部と第1所定領域との間のターゲットの軌道の一部を含む第2所定領域に、第2所定領域における光路の横断面がターゲットの移動方向よりもターゲットの移動方向に対して垂直な方向に長い光を照射するように構成された光源と、第2所定領域から入射する光を検出することにより、第2所定領域を通過するターゲットを検出するように構成された光センサと、を備えてもよい。
摘要翻译：极紫外光产生装置，通孔设置腔室，并通过贯通孔导入用于在第一脉冲激光束引入到所述腔室的预定区域的光学系统，向所述第一预定区域包括目标供应单元被配置为输出目标时，目标供应单元和所述第一预定区域碲，光路中的第二预定区域中的横截面之间的目标的轨迹的一部分的第二预定区域通过有检测被配置在一个方向上以照亮一个较长的光的光源垂直于目标比目标的移动方向，入射从第二预定区域，一第二预定区域的移动方向可以提供被配置为检测目标通过的光学传感器。

5. 发明专利

JP5607383B2 Gas laser device for temperature control equipment 有权
公开(公告)号：JP5607383B2
公开(公告)日：2014-10-15
申请号：JP2010035305
申请日：2010-02-19
申请人：ギガフォトン株式会社
发明人：幸雄渡辺 , 英行林 , 弘司柿崎 , 路雄篠崎 , 秀雄星野
IPC分类号： H01S3/041 , H01L21/027 , H01S3/104 , H01S3/23
CPC分类号： H01S3/0407 , F25B2400/06 , F25D17/02 , H01S3/03 , H01S3/041 , H01S3/22

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