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1. 发明专利

JP2021139980A 半導体製造装置および半導体装置の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021139980A
公开(公告)日：2021-09-16
申请号：JP2020036060
申请日：2020-03-03
申请人：キオクシア株式会社
发明人：川田原奨
IPC分类号： G03F7/20
摘要：【課題】露光の精度を向上させることが可能な半導体製造装置および半導体装置の製造方法を提供する。【解決手段】一の実施形態によれば、半導体製造装置は、基板が設置されるステージを備える。前記装置はさらに、光を発生させる光源を備える。前記装置はさらに、前記光源からの光を成形する開口部が設けられた回転部を有し、前記開口部を通過した光をフォトマスクに照射する成形部を備える。前記装置はさらに、前記フォトマスクを通過した光により前記基板を走査している間に、前記回転部を回転させることで、前記開口部を通過する光の幅を変化させる制御部を備える。【選択図】図1

2. 发明专利

JP2021141154A ウエハ剥離装置及びウエハ剥離方法审中-公开
公开(公告)号：JP2021141154A
公开(公告)日：2021-09-16
申请号：JP2020036678
申请日：2020-03-04
申请人：キオクシア株式会社
发明人：川田原奨
IPC分类号： H01L21/683
摘要：【課題】貼合ウエハを剥離可能なウエハ剥離装置及びウエハ剥離方法を提供する。【解決手段】2つのウエハが貼り合わされて構成される貼合ウエハを支持可能な上面を有するウエハ支持部と、ウエハ支持部の外側に配置され、ウエハ支持部に支持される貼合ウエハの貼合部に対して進退可能なアーム部と、アーム部の先端に設けられ、上面と交差する方向に膨出可能な膨出部とを備える、ウエハ剥離装置が提供される。【選択図】図1

3. 发明专利

JP2021040094A 基板貼合装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021040094A
公开(公告)日：2021-03-11
申请号：JP2019162027
申请日：2019-09-05
申请人：キオクシア株式会社
发明人：川田原奨
IPC分类号： H01L21/68 , H01L21/683
摘要：【課題】一つの実施形態は、2枚の基板を精度よく貼り合わせることができる基板貼合装置を提供することを目的とする。【解決手段】一つの実施形態によれば、第1の吸着ステージと第2の吸着ステージとアライメント部とを有する基板貼合装置が提供される。第1の吸着ステージは、第1の基板を吸着する。第2の吸着ステージは、第1の基板に対向して配されている。第2の吸着ステージは、第2の基板を吸着する。アライメント部は、第1の吸着ステージと第2の吸着ステージとの間に挿入されることが可能である。アライメント部は、ベース部と第1の検出素子と第2の検出素子とを有する。ベース部は、第1の主面及び第2の主面を有する。第2の主面は、第1の主面の反対側の面である。第1の検出素子は、第1の主面に配されている。第2の検出素子は、第2の主面に配されている。【選択図】図1

4. 发明专利

JP2020145287A 基板貼合装置および半導体装置の製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2020145287A
公开(公告)日：2020-09-10
申请号：JP2019039914
申请日：2019-03-05
申请人：キオクシア株式会社
发明人：川田原奨
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/68 , H01L21/02
摘要：【課題】貼り合せる2つの基板の各ショット領域間での合わせずれの精度を高めることができる貼合装置を提供する。【解決手段】実施形態によれば、基板貼合装置は、第1基板群から選択される基板を保持する第1基板保持部と、第2基板群から選択される基板を保持する第2基板保持部と、前記第1基板保持部および前記第2基板保持部に保持される基板の貼合を制御するコントローラと、を備える。前記コントローラは、前記第1基板群のそれぞれの基板について、前記第2基板群のそれぞれの基板との間のグリッド形状の一致率を算出し、前記一致率が所定の範囲にある場合に前記一致率の算出に使用された前記基板の組み合わせを登録したペアリング情報を生成し、前記第1基板群から前記第1基板保持部に保持させる第1基板を選択し、前記ペアリング情報を参照して前記第1基板とペアリングされた前記第2基板群の前記基板の中から1つの第2基板を選択する。【選択図】図1

5. 发明专利

JP2021043012A 検査装置审中-公开
公开(公告)号：JP2021043012A
公开(公告)日：2021-03-18
申请号：JP2019163968
申请日：2019-09-09
申请人：キオクシア株式会社
发明人：川田原奨
IPC分类号： G01N29/07
摘要：【課題】一つの実施形態は、検査対象を精度よく検査することに適した検査装置を提供することを目的とする。【解決手段】一つの実施形態によれば、第1のステージと第2のステージと超音波発振子と超音波集音子とを有する検査装置が提供される。第1のステージは、第1の主面を有する。第2のステージは、第2の主面を有する。第2の主面は、第1の主面に対向する。超音波発振子は、第1の領域に配されている。第1の領域は、第1のステージ内における第1の主面を含む領域である。超音波集音子は、第2の領域に配されている。第2の領域は、第2のステージ内における第2の主面を含む領域である。【選択図】図1

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