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1. 发明专利

JP2018041097A 寄生負荷最小化光学素子モジュール审中-公开
公开(公告)号：JP2018041097A
公开(公告)日：2018-03-15
申请号：JP2017211977
申请日：2017-11-01
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：イェンスクーグラー , ウーリッヒヴェーバー , ディルクシャファー
IPC分类号： G02B7/00 , G02B7/02 , G03F7/20
摘要：【課題】光学素子に発生する寄生負荷及び接触負荷を確実に低減できる、光学素子モジュール及び光学素子ユニットの保持構造を提供する。【解決手段】光学素子モジュール107.1は、光学素子を有する光学素子ユニット108と、サポート構造体109とを備え、該サポート構造体109は前記光学素子ユニット108をサポートし、且つ該サポート器具に設置された接触器具を備える。前記接触器具は、該接触器具の第1の接触面を介して第1方向に前記光学素子ユニット上に生じた保持力を作用し、前記第1の接触面は前記光学素子ユニットの第2の接触面に接触している。前記接触器具は、第1方向に対して横断方向の第2方向に沿って延在する第1リンク部及び第2リンク部を有する。【選択図】図3

3. 发明专利

JP5913863B2 UV又はEUVリソグラフィ用の光学素子有权
标题翻译：用于UV或EUV光刻光学元件
公开(公告)号：JP5913863B2
公开(公告)日：2016-04-27
申请号：JP2011179057
申请日：2011-08-18
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：ヨハネスリッペルト , ディルクシャファー
IPC分类号： G03F1/24 , G03F1/38 , G02B5/08 , G02B5/10 , G03F7/20
CPC分类号： G02B1/10 , G03F7/7015 , G03F7/70316

4. 发明专利

JP6781772B2 光学結像装置の取付装置有权
公开(公告)号：JP6781772B2
公开(公告)日：2020-11-04
申请号：JP2018560651
申请日：2016-05-17
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：ディルクシャファー , イェンスプロクノー
IPC分类号： G02B7/192 , G02B7/182 , G02B19/00 , G03F7/20

5. 发明专利

JP6400003B2 リソグラフィー装置用ミラー構造体の製造方法有权
公开(公告)号：JP6400003B2
公开(公告)日：2018-10-03
申请号：JP2015524788
申请日：2013-08-01
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：ディルクシャファー
IPC分类号： G02B7/182 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/702 , B23K26/36 , B29D11/00596 , G02B5/0891 , G02B7/181 , G02B7/182 , G02B7/1822 , Y10T29/49815 , Y10T29/49817

6. 发明专利

JP2015133496A 寄生負荷最小化光学素子モジュール有权
标题翻译： PARASITIC LOAD MINIMIZATION光学元件模块
公开(公告)号：JP2015133496A
公开(公告)日：2015-07-23
申请号：JP2015021230
申请日：2015-02-05
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：イェンスクーグラー , ウーリッヒヴェーバー , ディルクシャファー
IPC分类号： G02B7/192 , H01L21/027
摘要：【課題】マイクロリソグラフィシステムの光学素子に発生する寄生負荷及び接触負荷を確実に低減できる光学素子モジュール及び光学素子ユニットの保持構造を提供する。【解決手段】光学素子を有する光学素子ユニット108と、サポート構造体109とを備え、該サポート構造体は光学素子ユニットをサポートし、且つ該サポート器具に設置された接触器具を備える。接触器具は、該接触器具の第1の接触面を介して第1方向に光学素子ユニット上に生じた保持力を作用し、第1の接触面は光学素子ユニットの第2の接触面に接触している。接触器具は、第1方向に対して横断方向の第2方向に沿って延在する第1リンク部及び第2リンク部を有する。【選択図】図3
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够可靠地降低在微光刻系统的光学元件中发生的寄生负载和接触负载的光学元件模块，并且提供光学元件单元的保持结构。解决方案：光学元件模块包括具有光学元件的光学元件单元108和支撑结构109.支撑结构支撑光学元件单元并且包括安装在支撑装置中的接触器。接触器经由接触器的第一接触面沿第一方向作用在光学元件单元上产生的保持力，并且第一接触表面与光学元件单元的第二接触表面接触。接触器具有沿着穿过第一方向的第二方向延伸的第一连杆和第二连杆。

7. 发明专利

JP2019517030A 光学結像装置の取付装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019517030A
公开(公告)日：2019-06-20
申请号：JP2018560651
申请日：2016-05-17
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：ディルクシャファー , イェンスプロクノー
IPC分类号： G02B7/192 , G02B7/182 , G02B19/00 , G03F7/20
摘要：光学結像装置(101)のコンポーネント(111)、特に光学コンポーネントを支持構造体(102.1)の支持ユニット(112)に接続する接続装置(109)であって、接続素子ユニット(110)を備えた接続装置(109)が提供される。接続素子ユニット(110)は、支持界面部(110.3)を有する支持界面端(110.1)と、コンポーネント界面部(110.4)を有するコンポーネント界面端(110.2)とを有する。支持界面部(110.3)は、支持ユニット(112)に対する機械的接続用の支持界面を形成するよう構成され、コンポーネント界面部(110.4)は、コンポーネント(111)に対する機械的接続用のコンポーネント界面を形成するよう構成される。接続素子ユニット(110)は、支持界面部(110.3)とコンポーネント界面部(110.4)との間の力流路を規定し、コンポーネント(111)が接続素子ユニット(110)を介して支持ユニット(112)により支持される際に、コンポーネント(111)を支持する支持力が力流路に沿って流れる。少なくとも1つの寄生負荷補償ユニット(114)が、コンポーネント界面部(110.4)付近で力流路の外部に位置付けられ、寄生負荷補償ユニット(114)は、接続素子ユニット(110)の熱膨張の結果として少なくとも1つの寄生負荷方向でコンポーネント(111)に導入される熱膨張誘起寄生負荷を低減及び/又は相殺するよう構成される。【選択図】図2

8. 发明专利

JP6240142B2 寄生負荷最小化光学素子モジュール有权
公开(公告)号：JP6240142B2
公开(公告)日：2017-11-29
申请号：JP2015230218
申请日：2015-11-26
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：イェンスクーグラー , ウーリッヒヴェーバー , ディルクシャファー
IPC分类号： G02B7/02 , G03F7/20

9. 发明专利

JP2016075924A 寄生負荷最小化光学素子モジュール有权
标题翻译：具有最小化PARASIIC LOAD的光学元件模块
公开(公告)号：JP2016075924A
公开(公告)日：2016-05-12
申请号：JP2015230218
申请日：2015-11-26
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：イェンスクーグラー , ウーリッヒヴェーバー , ディルクシャファー
IPC分类号： G02B7/02 , G03F7/20
摘要：【課題】光学素子に発生する寄生負荷及び接触負荷を確実に低減できる光学素子モジュール及び光学素子ユニットの保持構造を提供する。【解決手段】サポート構造体109は光学素子ユニット108をサポートし、且つサポート器具に設置された接触器具を備える。接触器具は、該接触器具の第1の接触面を介して第1方向に光学素子ユニット108上に生じた保持力を作用し、第1の接触面は光学素子ユニット108の第2の接触面に接触している。接触器具は、第1方向に対して横断方向の第2方向に沿って延在する第1リンク部及び第2リンク部を有する。【選択図】図3
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于光学元件单元的光学元件模块和保持结构，提供可靠地降低引入到光学元件中的寄生负载和接触负载。解决方案：支撑结构109支撑光学元件单元108，并且包括设置在支撑装置上的接触装置。接触装置经由接触装置的第一接触表面沿着第一方向在光学元件单元108上施加所产生的保持力，第一接触表面接触光学元件单元108的第二接触表面。接触装置包括第一连接部分和沿着横向于第一方向延伸的第二方向延伸的第二连接部分。选择的图示：图3

10. 发明专利

JP6109929B2 リソグラフィ装置、およびミラー配列を製造する方法有权
公开(公告)号：JP6109929B2
公开(公告)日：2017-04-05
申请号：JP2015514491
申请日：2013-05-29
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：ディルクシャファー , ヴィルフリードクラウス , ヒンイウアンソニーチュン
IPC分类号： G02B17/08 , G02B7/182 , G03F7/20
CPC分类号： G03F7/702 , G02B5/0891 , G02B7/182 , G03F7/70825

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