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2. 发明专利

JP2019517030A 光学結像装置の取付装置审中-公开
公开(公告)号：JP2019517030A
公开(公告)日：2019-06-20
申请号：JP2018560651
申请日：2016-05-17
申请人：カール・ツァイス・エスエムティー・ゲーエムベーハー
发明人：ディルクシャファー , イェンスプロクノー
IPC分类号： G02B7/192 , G02B7/182 , G02B19/00 , G03F7/20
摘要：光学結像装置(101)のコンポーネント(111)、特に光学コンポーネントを支持構造体(102.1)の支持ユニット(112)に接続する接続装置(109)であって、接続素子ユニット(110)を備えた接続装置(109)が提供される。接続素子ユニット(110)は、支持界面部(110.3)を有する支持界面端(110.1)と、コンポーネント界面部(110.4)を有するコンポーネント界面端(110.2)とを有する。支持界面部(110.3)は、支持ユニット(112)に対する機械的接続用の支持界面を形成するよう構成され、コンポーネント界面部(110.4)は、コンポーネント(111)に対する機械的接続用のコンポーネント界面を形成するよう構成される。接続素子ユニット(110)は、支持界面部(110.3)とコンポーネント界面部(110.4)との間の力流路を規定し、コンポーネント(111)が接続素子ユニット(110)を介して支持ユニット(112)により支持される際に、コンポーネント(111)を支持する支持力が力流路に沿って流れる。少なくとも1つの寄生負荷補償ユニット(114)が、コンポーネント界面部(110.4)付近で力流路の外部に位置付けられ、寄生負荷補償ユニット(114)は、接続素子ユニット(110)の熱膨張の結果として少なくとも1つの寄生負荷方向でコンポーネント(111)に導入される熱膨張誘起寄生負荷を低減及び/又は相殺するよう構成される。【選択図】図2

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