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    • 10. 发明专利
    • 三次元形状測定装置
    • JPWO2017183181A1
    • 2019-02-28
    • JP2016062756
    • 2016-04-22
    • オリンパス株式会社
    • 渡邊 大智
    • G01B11/25
    • 三次元形状測定装置100は、干渉縞を走査し、干渉縞の明暗位置が異なる複数の干渉縞パターン70のいずれかを被測定物に投影する干渉縞投影器20と、干渉縞が投影される被測定物を撮像し、複数の撮像条件のそれぞれにて少なくとも三つの異なる干渉縞パターンに対応する複数の干渉縞画像を生成する撮像装置40と、複数の撮像条件ごとに撮像された複数の干渉縞画像の各画素の画素値に基づいて、いずれの撮像条件の干渉縞画像を用いて被測定物の位相分布画像を算出するかを画素ごとに選択する条件選択部と、条件選択部が画素ごとに選択した撮像条件に対応する複数の干渉縞画像の画素値に基づいて位相分布画像の画素ごとの位相を算出し、被測定物の三次元形状データを演算する形状演算部と、を備える。