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1. 发明专利

JP2018093210A 高効率/高精度ヒータドライバ审中-公开
公开(公告)号：JP2018093210A
公开(公告)日：2018-06-14
申请号：JP2018001671
申请日：2018-01-10
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
发明人：ゴールディン, アレキサンダー , セレブリャーノフ, オレグヴィー.
IPC分类号： G05D23/19 , G05F1/45 , H01L21/26
CPC分类号： F24C15/00 , H01L21/324 , H01L21/67115 , H01L21/67248 , H05B1/0233 , H05B3/0047
摘要：【課題】RTPチャンバの新しいおよび改善されたランプドライバ回路を提供する。【解決手段】ウエハを処理する急速熱処理チャンバにおいて、ランプドライバは、複数のハロゲンランプ12と、直列に接続された第1のダイオード54および第1のトランジスタ50と、直列に接続された第2のダイオード56および第2のトランジスタ52との並列接続を有し、交流電力源と複数のランプとに接続された電子スイッチ46と、ウエハ温度を測定する温度センサと、温度センサとランプドライバとに接続され、第1のトランジスタおよび第2のトランジスタに対し、共にウエハ温度と所望の温度との関数である第1の制御信号および第2の制御信号をそれぞれ供給する温度コントローラ18とを備えている。第1のトランジスタは、第2のトランジスタと異なる時間にオンする。【選択図】図4

2. 发明专利

JP2018510491A 低圧環境のためのランプドライバ审中-公开
公开(公告)号：JP2018510491A
公开(公告)日：2018-04-12
申请号：JP2017535746
申请日：2016-01-04
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
发明人：セレブリャーノフ, オレグヴィー. , ゴールディン, アレキサンダー , ラニッシュ, ジョゼフエム.
IPC分类号： H01L21/26 , H05B3/00 , H05B3/02
CPC分类号： H01L21/67115 , F27B17/0025
摘要：本開示の実施形態は、熱処理チャンバ内の放射源として使用されるランプ向けのランプドライバに関する。ランプドライバは、電源、各々が電源と直列に接続された少なくとも2つのDC/DCコンバータ、少なくとも2つのDC/DCコンバータの間の直接接続、及び直接接続に取り付けられ且つ基準電圧に取り付け可能な線を含む。複数のランプドライバが、接地されたランプヘッドアセンブリ内に配置された複数のランプに電力供給するために利用され得る。ランプと接地されたランプヘッドアセンブリとの間の電位差は低減され、ランプとランプヘッドアセンブリとの間のアーク放電のリスクを低減させる。【選択図】図4

3. 发明专利

JP5887282B2 高効率/高精度ヒータドライバ有权
标题翻译：高效率/高精度的加热器驱动
公开(公告)号：JP5887282B2
公开(公告)日：2016-03-16
申请号：JP2012554050
申请日：2011-02-18
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
发明人：ゴールディン, アレキサンダー , セレブリャーノフ, オレグヴィー.
IPC分类号： G05F1/45 , H01L21/26
CPC分类号： F24C15/00 , H01L21/67115 , H01L21/67248

5. 发明专利

JP6324938B2 高効率/高精度ヒータドライバ有权
公开(公告)号：JP6324938B2
公开(公告)日：2018-05-16
申请号：JP2015212586
申请日：2015-10-29
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
发明人：ゴールディン, アレキサンダー , セレブリャーノフ, オレグヴィー.
IPC分类号： G05D23/24 , H01L21/26
CPC分类号： F24C15/00 , H01L21/324 , H01L21/67115 , H01L21/67248 , H05B1/0233 , H05B3/0047

6. 发明专利

JP2016076708A 高効率/高精度ヒータドライバ有权
标题翻译：高效高精度加热器驱动器
公开(公告)号：JP2016076708A
公开(公告)日：2016-05-12
申请号：JP2015212586
申请日：2015-10-29
申请人：アプライドマテリアルズインコーポレイテッド , APPLIED MATERIALS,INCORPORATED
发明人：ゴールディン, アレキサンダー , セレブリャーノフ, オレグヴィー.
IPC分类号： G05D23/24 , H01L21/26
CPC分类号： F24C15/00 , H01L21/67115 , H01L21/67248
摘要：【課題】急速熱処理チャンバで使用することができるヒータドライバを提供する。【解決手段】交流電力が供給される、ウエハを処理する急速熱処理チャンバにおいて、複数のランプ12と、直列に接続された第1のダイオード54および第1のトランジスタ50と直列に接続された第2のダイオード56および第2のトランジスタ52との並列接続を含むランプドライバである。交流電力源と複数のランプとに接続されて、複数のランプに電力を供給する電子スイッチ46と、ウエハ温度を測定する温度センサと、温度センサと前記スイッチとに接続され、第1のトランジスタおよび第2のトランジスタに対し、共にウエハ温度と所望の温度との関数である第1の制御信号及び第2の制御信号をそれぞれ供給する温度コントローラ18とを備えている。第1のトランジスタが第2のトランジスタと異なる時間にオンする。【選択図】図4
摘要翻译：要解决的问题：提供可用于快速热处理室的加热器驱动器。解决方案：提供有交流电源并处理晶片的快速热处理室包括：多个灯12; 包括串联连接的第一二极管54和第一晶体管50的并联连接的灯驱动器，以及串联连接的第二二极管56和第二晶体管52，并连接到交流电源和多个灯和向多个灯供电; 用于测量晶片温度的温度传感器; 以及温度控制器18，其连接到温度传感器和灯驱动器，并分别提供第一晶体管和第二晶体管，其具有作为晶片和期望温度的函数的第一控制信号和第二控制信号。第一晶体管的导通时间与第二晶体管的时间不同。选择图：图4

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