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1. 发明专利

JP2014202739A プローブカード审中-公开
标题翻译：探针卡
公开(公告)号：JP2014202739A
公开(公告)日：2014-10-27
申请号：JP2013090749
申请日：2013-04-05
申请人：軍生木本 , Kimoto Gunsei , 軍生木本
发明人： KIMOTO ISAO
IPC分类号： G01R1/073 , H01L21/66
摘要：【課題】狭ピッチ多ピンプローブカードにワイヤ配線を適用し、安価で高周波特性の優れたプローブカードを提供する。【解決手段】第1のプローブ集合体のプローブ端子と相対するワイヤ配線端部を、前記プローブ端子近傍のXY平面上に、前記第1のプローブ端子配列ピッチに合致させて平行に整列固定して第1のワイヤ配線層を形成し、前記第1のプローブ集合体に隣接する第2の前記プローブ集合体のプローブ端子と相対するワイヤ配線端部を、前記第1のプローブ集合体におけると同様に、整列固定して第2のワイヤ配線層を形成し、前記第1と第2のワイヤ配線層をZ方向に重ねて設置し、前記第1のプローブ端子が、前記第1のワイヤ配線層の前記ワイヤ配線端部と接触し、前記第2のプローブ端子が、前記第2のワイヤ配線層の前記ワイヤ配線端部と接触させる。【選択図】図5
摘要翻译：要解决的问题：通过将电线分配施加到窄间距和多针探针卡来提供具有优异的高频特性的便宜的探针卡。解决方案：第一配线层通过对准和固定面向第一探针组件的探针端子在靠近探针端子的XY平面上并联，以便与第一探针端子阵列间距匹配，通过对准和固定面向探针端子的配线端部形成第二线分布层与第一探针组件类似地与第一探针组件相邻的第二探针组件，并且第一和第二线分布层被形成为在Z方向上重叠，使得第一探针端子与线分布第一配线层和第二探针端子的端部与第二配线端部分接触 d电线分布层。

2. 发明专利

JP2014182120A Probe card 审中-公开
标题翻译：探针卡
公开(公告)号：JP2014182120A
公开(公告)日：2014-09-29
申请号：JP2013079949
申请日：2013-03-18
申请人： Kimoto Gunsei , 軍生木本
发明人： KIMOTO ISAO
IPC分类号： G01R1/073 , H01L21/66
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a probe card capable of easily inspecting an IC having a peripheral arrangement pad with a narrow pitch or a lattice-like arrangement pad.SOLUTION: The probe card includes: a probe assembly where a plurality of probe aggregates, in which a plurality of probes including a vertical probe part, a terminal to be connected to a wiring board and a pattern for connecting the vertical probe part with the terminal are arranged on the same plane, are arranged in a regular pattern; and the wiring board. The probe card for conducting the probes to a semiconductor circuit by connecting the probes with an inspection pad formed in or around the semiconductor circuit further includes arrangement means for making part or all of the tips of the vertical probe parts in one probe aggregate come into contact with part or all of the pads in an inspection pad array arranged in a line at the narrow pitch.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种能够容易地检查具有窄间距的周边布置垫或格子状布置垫的IC的探针卡。解决方案：探针卡包括：探针组件，其中多个探针聚集体，在同一平面上布置有包括垂直探针部分，要连接到布线板的端子和用于将垂直探针部分与端子连接的图案的多个探针布置成规则图案; 和接线板。用于通过将探针与形成在半导体电路中或周围的检查焊盘连接的半导体电路的探针卡进一步包括用于使一个探针集合体中的垂直探针部分的一部分或全部尖端接触的布置装置其中部分或全部焊盘位于以窄间距排列成一行的检查焊盘阵列中。

3. 发明专利

JP2011242377A Probe 审中-公开
标题翻译：探测
公开(公告)号：JP2011242377A
公开(公告)日：2011-12-01
申请号：JP2010129386
申请日：2010-05-19
申请人： Kimoto Gunsei , 軍生木本
发明人： KIMOTO ISAO
IPC分类号： G01R1/067 , G01R31/26 , H01L21/66
CPC分类号： G01R1/06727 , G01R1/06733
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a probe capable of securing large overdrive and minutely controlling scrubbing amount.SOLUTION: This probe comprises a first deforming section which includes a linkage mechanism formed of a vertically extending vertical probe, and a plurality of horizontal beams which extend in a direction perpendicular to the vertical direction, and are connected to a fixed end at one ends and to the vertical probe at the other ends. In this probe, a vertically extended section of the vertical probe extending from the horizontal beams forms a second deforming section which includes a horizontal beam portion extending toward the fixed end from a substantial center of the vertical length of the vertically extended section; and, with the overdrive, bending moment is simultaneously applied to the horizontal beam portion of the second deforming section in a direction of offsetting bending moment applied to the vertical probe of the first deforming section, so that the scrubbing amount of the vertical probe can be minutely controlled in the whole operating range of the overdrive.
摘要翻译：要解决的问题：提供能够确保大的过驱动和精细控制洗涤量的探针。解决方案：该探头包括第一变形部分，其包括由垂直延伸的垂直探针形成的连杆机构和沿垂直于垂直方向延伸的多个水平梁，并且连接到固定端一端和另一端的垂直探头。在该探针中，垂直探测器的从水平光束延伸的垂直延伸部分形成第二变形部分，该第二变形部分包括从垂直延伸部分的垂直长度的大致中心向固定端延伸的水平光束部分; 并且通过过驱动，弯曲力矩在施加到第一变形部的垂直探针的偏移弯矩的方向上同时施加到第二变形部的水平梁部，使得垂直探针的洗涤量可以在超速运行的整个运行范围内进行微调。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

4. 发明专利

JP2020118659A プローブヘッド审中-公开
公开(公告)号：JP2020118659A
公开(公告)日：2020-08-06
申请号：JP2019023973
申请日：2019-01-25
申请人： KIMOTO GUNSEI
发明人： KIMOTO ISAO
IPC分类号： G01R1/073 , G01R1/067 , H01L21/66
摘要：【課題】狭ピッチ化した高密度なプローブ群と配線パターンとの接続工程が不要であり、かつ、不規則的な配列にも対応できる高精度のプローブ先端配列を実現し、さらに、狭ピッチプローブ配列においても十分なオーバードライブ及び接触力が得られ、かつ、1ピン単位でのプローブ交換が容易で安価に実施可能なプローブヘッドを有するプローブカードを提供する。【解決手段】一端をプローブとし、他端を電気接続端子へ継続する連続した複数の導体パターンを、1つの絶縁フィルム上に整列固着させた配線フィルムであって、前記プローブ集合体の整列手段を有し、前記プローブのZ方向転換手段とばね変形部形成手段として前記プローブを前記配線フィルム平面上の導体パターンから任意の曲率半径Rを有する概略1/4円弧形状としたこと【選択図】図1

5. 发明专利

JP2019090775A プローブヘッド审中-公开
公开(公告)号：JP2019090775A
公开(公告)日：2019-06-13
申请号：JP2017231139
申请日：2017-11-13
申请人： KIMOTO GUNSEI
发明人： KIMOTO ISAO
IPC分类号： G01R1/073 , G01R1/067
摘要：【課題】多ピン狭ピッチプローブカードにおいて、広範囲な検査温度環境でも高精度なプローブ配列を維持し、かつ、1個又は数個単位でのプローブ交換が容易に実施可能なプローブヘッドを有するプローブカードを提供する。【解決手段】一端をプローブとし他端を電気接続端子へ継続する1つ又は複数の導体パターンを、1つの絶縁フィルム上に整列固着させた配線フィルムにおける前記プローブ近傍に、被検査半導体ウエハの線膨張係数に近似の線膨張係数を有する支持板を、前記配線フィルム面と平行に前記プローブ配置方向(X方向)に沿って設置し、前記プローブの一部又は全部と前記支持板を、少なくともX方向に機械的に拘束する手段と、前記配線フィルムの任意の1つ又は複数の第1の導体パターン群と同一形状の第2の導体パターンを有する予備配線フィルムを、前記第1の導体パターン群の位置に相当する前記配線フィルム上に接着固定する手段を有する。【選択図】図2

6. 发明专利

JP2014095682A Probe card 审中-公开
标题翻译：探针卡
公开(公告)号：JP2014095682A
公开(公告)日：2014-05-22
申请号：JP2012263561
申请日：2012-11-12
申请人： Kimoto Gunsei , 軍生木本
发明人： KIMOTO ISAO
IPC分类号： G01R1/073 , H01L21/66
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a probe card that facilitates a connection between a probe and a wiring board.SOLUTION: A probe card comprises: a probe assembly formed by arraying a plurality of probe sets each having a plurality of probes, each including a vertical probe, a terminal connected to a wiring board, and a pattern connecting the vertical probe and the terminal to each other, arranged on a first plane; and the wiring board comprising a plurality of layers, the probes being electrically connected to the wiring board by connecting the terminals to a connection land formed at one end of the wiring board. The terminals and the patterns are partially arranged on one of second to (n)th planes installed in parallel with the first plane across an insulation layer, and the patterns on the first plane and corresponding patterns on the second to (n)th planes are electrically connected through connectors.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种便于探针和布线板之间的连接的探针卡。解决方案：探针卡包括：探针组件，其通过排列多个探针组而形成，每个探针组具有多个探针，每个探针组包括垂直探针，连接到布线板的端子和布置在第一平面上的彼此连接垂直探针和端子的图案; 并且所述布线板包括多个层，所述探针通过将所述端子连接到形成在所述布线板的一端的连接区域而与所述布线板电连接。端子和图案部分地布置在穿过绝缘层与第一平面平行安装的第二至第（N）平面之一上，并且第一平面上的图案和第二至第（N）平面上的对应图案是通过连接器电连接。

7. 发明专利

JP2014044189A Probe and probe card using the same 审中-公开
标题翻译：使用相同的探针和探针卡
公开(公告)号：JP2014044189A
公开(公告)日：2014-03-13
申请号：JP2012208825
申请日：2012-09-04
申请人： Kimoto Gunsei , 軍生木本
发明人： KIMOTO ISAO
IPC分类号： G01R1/073 , G01R31/26 , H01L21/66
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To finely control a probe tip moving distance in a scrub direction in an LSI inspection having a multi-pin and narrow-pitch pad arrangement.SOLUTION: A probe structure body is formed by a spring structure part formed on a resin film by finely processing metal foil stuck to the resin film, a probe part including vertical probe parts extended from one end of the spring structure part in a vertical direction, a conduction part connected to the other end of the spring structure, and a body part including a conductor dummy part or an insulation dummy part electrically insulated from the conduction part. The probe structure further includes one or more inclined beams having an optional angle from a horizontal direction and configured so that an approximately center part of the first vertical probe part becomes one end and a part of the body part becomes the other end, and approximately center parts of the n-th vertical probe part and the (n+1)th vertical probe part are mutually connected by the one or more horizontal beams.
摘要翻译：要解决的问题：在具有多针和窄间距衬垫布置的LSI检查中精细地控制洗涤方向上的探针尖端移动距离。解决方案：探针结构体由形成在树脂上的弹簧结构部分形成通过精加工金属箔粘附到树脂膜上的膜，探针部分，包括从垂直方向的弹簧结构部分的一端延伸的垂直探针部分，连接到弹簧结构的另一端的导电部分和主体部分包括与导电部分电绝缘的导体虚拟部分或绝缘虚拟部分。探针结构还包括一个或多个倾斜梁，其具有与水平方向成可选的角度并且被构造成使得第一垂直探针部分的大致中心部分成为一端，并且身体部分的一部分变为另一端，并且大致中心第n垂直探针部分和第（n + 1）垂直探针部分的一部分通过一个或多个水平光束相互连接。

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