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    • 10. 发明专利
    • 被膜密着性を強化した酸化物被覆炭素材料及びその製造方法
    • 具有涂层粘合剂的氧化涂层碳材料及其生产方法
    • JP2015174814A
    • 2015-10-05
    • JP2014054593
    • 2014-03-18
    • 日清紡ケミカル株式会社
    • 助田 正樹間山 和浩
    • C01B13/14C01B31/04C01B31/02
    • 【課題】超鋼等の製造に用いられる粉末冶金焼結工程における熱処理装置の棚板、及びその他半導体製造装置部材などで使用される、表面を酸化物で被覆された炭素材料において、剥離しにくく、被膜密着性を強化した酸化物被覆炭素材料を提供する。 【解決手段】炭素材料の表層に熱硬化性樹脂の溶液を浸潤し、前記炭素材料を加熱して熱硬化性樹脂を硬化させる。更に、前記炭素材料に高温熱処理を施すことにより、前記熱硬化性樹脂の含浸層はガラス状カーボン含浸層となり、ガラス状カーボン含浸層の上に酸化物を溶射して酸化物膜が形成される。炭素材料の表面強度がガラス状カーボンの含浸層により強化され、炭素材料の表層粒子や遊離凝集体の脱離を抑制し、酸化物膜の剥離が起こり難い。 【選択図】 なし
    • 要解决的问题:提供在粉末冶金烧结步骤中用于热处理设备的托盘中的氧化物涂覆的碳材料, 表面覆盖有氧化物的超级钢,半导体制造装置构件等具有耐分离性,并且增加了涂层粘附性。溶解性:将热固性树脂的溶液渗透到碳材料的表面层中, 碳材料被加热以硬化热固性树脂。 然后对碳材料进行高温热处理以将热固性树脂的浸渍层转化为玻璃状碳浸渍层。 将氧化物火焰喷涂到玻璃状碳浸渍层上以形成氧化膜。 通过玻璃状碳浸渍层来提高碳材料的表面强度,抑制表面粒子的剥离和碳材料的自由聚集体以及氧化膜的剥离。