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2. 发明专利

JP2003510831A How to judge the quality characteristics of the ultra-fine feature portion and equipment 有权
公开(公告)号：JP2003510831A
公开(公告)日：2003-03-18
申请号：JP2001527208
申请日：2000-09-29
申请人：ベリティインストルメンツ、インコーポレイテッド , ラムリサーチコーポレーション
发明人：ウィークス・クィニー・アンドリュー , ウェラン・マイク , ムント・ランダル・エス． , ラム・アルバート・ジェイ．
IPC分类号： G01N21/956 , G01N21/95 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/9501 , H01L22/12 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： (57)【要約】【課題】【解決手段】広帯域白色光を使用して超微細特徴部分の品質特性を判断する方法を開示する。高コリメート光源により、広帯域の多重スペクトル光を使用して、第一のウェハの領域を照射する。その後、第一のウェハから散乱した光の角度分布を測定する。一般に、光源、検出器、又はその両方の角度は変更され、それぞれの角度で角度分布測定が行われ、第一のウェハの散乱シグネチャが生成される。最後に、第一のウェハの散乱シグネチャを、良好な品質である第二のウェハの既知である散乱シグネチャと比較し、第一のウェハの品質を判断する。

3. 发明专利

JP4351192B2 Plasma processing apparatus, and plasma processing of the light detection method 有权
公开(公告)号：JP4351192B2
公开(公告)日：2009-10-28
申请号：JP2005203780
申请日：2005-07-13
申请人：ベリティインストルメンツ、インコーポレイテッド , 東京エレクトロン株式会社
发明人：ウィークスキュニーアンドリュー , 進斉藤
IPC分类号： H01L21/3065 , H05H1/00
CPC分类号： G01N21/68 , H01J37/32972

4. 发明专利

JP3803550B2 Spectroscopic ellipsometer 有权
公开(公告)号：JP3803550B2
公开(公告)日：2006-08-02
申请号：JP2000559414
申请日：1999-07-08
申请人：ベリティインストルメンツ、インコーポレイテッド
发明人：クエニイ、アンドリュー、ダブリュ , フラッキジャー、デビッド、ユー
IPC分类号： G01N21/21 , G01J4/04
CPC分类号： G01J4/04 , G01N21/211

5. 发明专利

JP2006032959A Plasma processing apparatus and the photodetection method of plasma treatment 有权
标题翻译：等离子体处理装置和等离子体处理的光电转换方法
公开(公告)号：JP2006032959A
公开(公告)日：2006-02-02
申请号：JP2005203780
申请日：2005-07-13
申请人： Tokyo Electron Ltd , Verity Instruments Inc , ベリティインストルメンツ、インコーポレイテッド , 東京エレクトロン株式会社
发明人： SAITO SUSUMU , KUENY ANDREW W
IPC分类号： H01L21/3065 , H05H1/00
CPC分类号： G01N21/68 , H01J37/32972
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a plasma processing apparatus and a photodetection method, which can detect a plurality of light signals obtained from a plurality of measuring positions, and can analyze a condition of each measuring position using an apparatus having an advantage of a more simplified structure. SOLUTION: Interference light L1 is transmitted to a spectral component 230 through an optical fiber 222. Plasma light L2 is transmitted to the spectral component 230 through an optical fiber 224. Each light is individually subjected to spectral separation. An interference light spectrum L1g obtained by spectral separation of the interference light L1 impinges to an interference-light photo-acceptance region of an photoelectric conversion component 240 through a first optical path 226. A plasma light spectrum L2g obtained by spectral separation of the plasma light L2 impinges to a plasma-light photo-acceptance region of the photoelectric conversion component 240 through a second optical path 228. COPYRIGHT: (C)2006,JPO&NCIPI
摘要翻译：要解决的问题：提供一种可以检测从多个测量位置获得的多个光信号的等离子体处理装置和光电检测方法，并且可以使用具有优点的装置来分析每个测量位置的状况的更简化的结构。解决方案：干涉光L1通过光纤222传输到光谱分量230.等离子体光L2通过光纤224传输到光谱分量230.每个光分别进行光谱分离。通过干涉光L1的光谱分离获得的干涉光束L1g通过第一光路226与光电转换部件240的干涉光光接收区域相撞。通过等离子体光的光谱分离获得的等离子体光谱L2g L2通过第二光路228撞击到光电转换部件240的等离子体光感应区域。（C）2006，JPO＆NCIPI

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