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    • 9. 发明专利
    • 基板の緩衝層用イットリア溶液の製造方法
    • 用于衬底缓冲层的YTTRIA解决方案的生产方法
    • JP2014240334A
    • 2014-12-25
    • JP2013122568
    • 2013-06-11
    • コリア エレクトロテクノロジー リサーチ インスティテュートKorea Electrotechnology Research Instコリア エレクトロテクノロジー リサーチ インスティテュート
    • KO ROCK KILHA DONG WOOSOHN MYUNG HWANKIM DONG HYUKKANG BOO MIN
    • C01F17/00H05K3/44
    • 【課題】本発明は基板の上面に塗布されて基板を平坦化させると同時に緩衝層の役割を果たす、基板の緩衝層用イットリア溶液の製造方法を提供する。【解決手段】本発明は、イットリウムアセテートテトラハイドレートとメタノールとを混合して混合物を形成させ、攪拌させる第1段階と、第1段階の混合物にキレート剤としてのジエタノールアミンを投入し、攪拌させて合成物を合成させる第2段階と、前記第2段階で合成された合成物をフィルターを用いてフィルタリングさせてゾルを収得する第3段階とを含んでいる、基板の緩衝層用イットリア溶液の製造方法を技術的要旨とする。これにより、ゾルゲル工程によって製作されたイットリア溶液を製造するが、基板の上面に塗布されて基板を平坦化させると同時に基板物質の拡散を防ぐ拡散障壁(diffusion barrier)としての緩衝層の役割を果たすという利点がある。【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供一种用于衬底的缓冲层的氧化钇溶液的制备方法,该方法施加到衬底的上表面以平坦化衬底并同时用作缓冲层。解决方案:A 用于衬底缓冲层的氧化钇溶液的制备方法包括:将乙酸钇四水合物与甲醇混合以形成混合物并搅拌该混合物的第一步骤; 向第一步混合物中加入二乙醇胺作为螯合剂并通过搅拌合成合成产物的第二步骤; 以及第三步骤,通过使用过滤器对第二步合成的合成产物进行过滤以获得溶胶。 由此制备通过溶胶 - 凝胶法制备的氧化钇溶液。 将氧化钇溶液施加到基板的上表面以使基板平坦化,并且具有同时用作缓冲层作为扩散阻挡层的优点,以防止基板材料的扩散。