专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

2. 发明专利

JP2014212338A 円盤状の物品を処理するための装置有权
标题翻译：用于处理类似文章的设备
公开(公告)号：JP2014212338A
公开(公告)日：2014-11-13
申请号：JP2014136534
申请日：2014-07-02
申请人：ラム・リサーチ・アーゲーLam Research Ag , Lam Research Ag , ラム・リサーチ・アーゲーLam Research Ag
发明人： RAINER OBWEGER , FRANZ KUMNIG , THOMAS WIRNSBERGER
IPC分类号： H01L21/683
CPC分类号： H01L21/68707 , H01L21/68728 , Y10T279/17615
摘要：【課題】円盤状の物品を確実に保持する装置を提供する。【解決手段】円盤状の物品を流体で処理する装置は、円盤状の物品に垂直な軸を中心に保持及び回転させるためのチャック120と、チャックベース本体121と、駆動リング130と、円盤状の物品の縁に接触するための把持部材128とを含み、把持部材は、円盤状の物品の中心に対して偏心して移動可能であり、把持部材の偏心移動は、駆動リングによって駆動され、駆動リングは、軸を中心にベース本体に対して回転可能であることによって把持部材を駆動するようにベース本体に取り付けられ、ベース本体に対する駆動リングの相対的回転移動は、ベース本体を保持するとともに駆動リングを回転させる、または駆動リングを保持するとともにベース本体を回転させることによって実行され、駆動リングまたはベース本体は、それぞれのパーツに触れることなく磁力によって保持される。【選択図】図1a
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于可靠地保持盘状物品的装置。解决方案：用于用流体处理盘状物品的装置包括：卡盘120，用于将盘状物品围绕轴线垂直地保持和旋转到盘状物品; 卡盘基体121; 驱动环130; 以及用于在其边缘处接触盘状物品的夹持构件128。夹持构件相对于盘状制品的中心偏心移动，并且夹持构件的偏心运动由驱动环驱动。驱动环安装到基体上，使得驱动环可围绕轴线A转动抵靠基体，以驱动夹持构件。驱动环相对于基体的相对旋转运动通过保持基体并旋转驱动环或者通过保持驱动环并旋转基体来实现，并且驱动环或基体被保持而不接触各部分用磁力。

4. 发明专利

JP2015516675A ウエハ形状物品の表面を処理するためのプロセスおよび装置有权
标题翻译：方法和装置用于处理晶片状物品的表面
公开(公告)号：JP2015516675A
公开(公告)日：2015-06-11
申请号：JP2014561547
申请日：2013-02-28
申请人：ラム・リサーチ・アーゲーLam Research Ag , ラム・リサーチ・アーゲーLam Research Ag
发明人：オブウェガー・レイナー , ブルガー・ミヒャエル , クムニク・フランツ
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/306
CPC分类号： B08B3/02 , B08B3/04
摘要：【解決手段】ウエハ形状物品を処理するための装置および方法が、使用中に静止すると共に、移動ブームアームを実際に必要とすることなしに、かかるアームの動作をシミュレートするように個々に制御されるノズルのアレイを備える。様々な処理段階に3つの異なるタイプの液体を供給するために、3つのかかるアレイが準備されることが好ましい。ノズルのバルブをコンピュータ制御することにより、常に各アレイの1ノズルのみが開くものとしてもよいし、隣接する一対のノズルが同時に開くものとしてもよい。【選択図】図1
摘要翻译：用于处理晶片状物品的装置和方法被控制，同时仍然在使用，无需移动悬臂实际需要，臂的操作单独地，以模拟它包括喷嘴是阵列。为了供应的各种处理阶段，以三种不同类型的液体时，其优选制备三个这种阵列。通过计算机控制喷嘴的阀，总是可以假定只有一个每个阵列的喷嘴被打开，并且可以同时是一个开放的一对相邻的喷嘴。点域1

5. 发明专利

JP2015506087A ウエハ形状物の表面を処理する装置有权
标题翻译：装置用于处理晶片状物品的表面
公开(公告)号：JP2015506087A
公开(公告)日：2015-02-26
申请号：JP2014529103
申请日：2012-08-29
申请人：ラム・リサーチ・アーゲーLam Research Ag , ラム・リサーチ・アーゲーLam Research Ag
发明人：チンダーレ・ウルリッヒ , グライスナー・アンドレアス , ヴィーンズベルガー・トーマス , オブウェガー・レイナー
IPC分类号： H01L21/304 , F16C32/04 , H01L21/302 , H01L21/306
CPC分类号： H01L21/68785 , H01L21/67023 , H01L21/67051 , H01L21/6708 , H01L21/6719 , Y10T279/3493
摘要：【解決手段】ウエハ形状物を処理する装置は、密閉型処理チャンバを備える。密閉型処理チャンバは、気密エンクロージャを提供するハウジングと、密閉型処理チャンバ内に設置される回転チャックであって、回転チャック上に載置されるウエハ形状物を保持するように構成される回転チャックと、密閉型処理チャンバ内に配置される内側カバーと、を備える。内側カバーは、回転チャックが密閉型処理チャンバの外壁と連通する第1の位置と、回転チャックに隣接する密閉型処理チャンバの内表面に対して内側カバーをシールして、気密な内部処理チャンバを規定する第2の位置との間を移動可能である。【選択図】図1
摘要翻译：用于处理晶片状物品的装置被提供有一个密封的处理室中。密封处理腔室，用于提供气密外壳，密封处理安装在腔室中的卡盘旋转的壳体，旋转卡盘配置成保持晶片状物品被放置在一个旋转的卡盘如果，它包括设置在一个封闭的处理室的内罩。内盖，其中卡盘转动到外壁与所述密封处理室连通的第一位置，以密封所述内盖针对相邻密封处理腔室旋转卡盘，气密内处理室的内表面它是一个第二位置限定之间移动。点域1

6. 发明专利

JP2014528163A ウエハ状物品の液体処理のための方法及び装置有权
标题翻译：为晶片状物品的液体处理的方法和装置
公开(公告)号：JP2014528163A
公开(公告)日：2014-10-23
申请号：JP2014529104
申请日：2012-08-30
申请人：ラム・リサーチ・アーゲーLam Research Ag , ラム・リサーチ・アーゲーLam Research Ag
发明人：ホヘンヴァルター・カール−ハインツ , ラッハ・オット
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/677 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/68728 , H01L21/02057 , H01L21/67115 , H01L21/68792
摘要：【解決手段】ウエハ状物品を処理するための装置及びプロセスにおいて、ウエハ状物品を所定の向きで保持するためのスピンチャックが提供され、ウエハ状物品の下表面は、スピンチャックの上表面から所定の距離だけ離される。少なくとも1つの赤外線ヒータを含む加熱アセンブリが、スピンチャックの上表面の上方に、且つスピンチャック上に搭載されたときのウエハ状物品の下方に取り付けられる。加熱アセンブリは、スピンチャックの回転との関係において静止している。【選択図】図1
摘要翻译：解处理晶片状物品的设备和方法，提供了一种旋转卡盘保持的晶片状物品以预定取向，该晶片状物品的下表面，考虑到旋转卡盘的上表面上通过它的距离被释放。加热组件，其包括至少一个红外加热器，上述旋转卡盘的上表面上，安装在旋转卡盘时，和连接下方的晶片状物品。加热组件是相对于旋转卡盘的旋转固定。点域1

8. 发明专利

JP5683691B2 ウエハ状物品を処理するための装置有权
标题翻译：装置用于处理晶片状物品
公开(公告)号：JP5683691B2
公开(公告)日：2015-03-11
申请号：JP2013511759
申请日：2011-05-02
申请人：ラム・リサーチ・アーゲーLam Research Ag , ラム・リサーチ・アーゲーLam Research Ag
发明人：グライスナー・アンドレアス , オブウェガー・レイナー
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/306
CPC分类号： H01L21/68721 , H01L21/68785

9. 发明专利

JP2015508570A ウエハ状物品の表面を処理するための装置审中-公开
标题翻译：装置用于处理晶片状物品的表面
公开(公告)号：JP2015508570A
公开(公告)日：2015-03-19
申请号：JP2014548288
申请日：2012-12-17
申请人：ラム・リサーチ・アーゲーLam Research Ag , ラム・リサーチ・アーゲーLam Research Ag
发明人：フランク・ディーター , ロガトシュニーク・ロバート , グライスナー・アンドレアス
IPC分类号： H01L21/683 , H01L21/304 , H01L21/306
CPC分类号： H01L21/67051 , H01L21/6708 , H01L21/67115 , H01L21/67126 , H01L21/6719 , H01L21/68728 , Y10T29/41
摘要：【解決手段】ウエハ状物品を処理するための装置および方法は、プロセスチャンバと、該プロセスチャンバ内に位置付けられた回転式チャックとを含む。回転式チャックは、物理的接触を伴うことなく磁気軸受けを通じて駆動されるように構成される。回転式チャックは、回転式チャックから下向きに吊り下がる位置でウエハ状物品を保持するように構成された一連の把持ピンを含む。回転式チャックは、さらに、回転式チャックとともに回転する板を含む。板は、ウエハ状物品によって占められる領域の上方に配され、回転式チャックの使用中にウエハ状物品から振り落とされる液体からプロセスチャンバの上面を遮る。【選択図】図1
摘要翻译：装置和方法，一种用于处理晶片状物品包括处理室，和位于所述处理腔室内的旋转卡盘。旋转卡盘适于通过磁轴承没有物理接触被驱动。旋转卡盘包括一系列在从旋转卡盘向下垂下位置夹持，其被配置成保持晶片状物品销。旋转卡盘还包括一板，其与旋转卡盘旋转。板被设置在由晶片状物品占据的区域的上方，阻止从利用旋转卡盘的过程中从晶片状物品揭去液体处理室的上表面上。点域1

10. 发明专利

JP2014516476A Improved method and apparatus for ultrasonic treatment 有权
公开(公告)号：JP2014516476A
公开(公告)日：2014-07-10
申请号：JP2014506975
申请日：2012-04-26
申请人：ラム・リサーチ・アーゲーLam Research Ag
发明人：ホルステインズ・フランク・ルートヴィヒ , リッパート・アレクサンダー
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/02052 , C25D5/20 , C25D7/12 , C25D17/001 , H01L21/2885 , H01L21/67051
摘要：【解決手段】基板を洗浄するための及び基板表面における拡散律速反応を向上させるための改良された方法及び装置は、ギガソニック帯域で動作する圧電トランスデューサを使用する。共振器アセンブリは、基板に面した共振器板に結合された薄膜圧電素子をそれぞれ含む複数のトランスデューサ積層体を含む。開示される周波数及び使用電力では、実質的なキャビテーションの生成を伴うことなく液体処理媒質内にエッカート流動又はレイリー流動を誘発させることができる。
【選択図】図１

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式