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51. 发明专利

JP2015515738A 液浸部材、及び、露光装置有权
标题翻译：的液浸构件，以及一个曝光装置
公开(公告)号：JP2015515738A
公开(公告)日：2015-05-28
申请号：JP2014550210
申请日：2013-03-15
申请人：株式会社ニコン
发明人：柴崎　祐一 , 祐一柴崎
IPC分类号： H01L21/027 , G02B21/33
CPC分类号： G03F7/70341
摘要：液浸部材は、光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する。液浸部材は、光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、第1部材の少なくとも一部の外側で移動可能であり、液浸空間の液体の少なくとも一部を回収する回収口を有する第2部材と、を備える。
摘要翻译：的液浸构件，从所述光学部件的出射面射出的曝光光的光路用液体充满而形成在上述光学构件下方的可移动对象液浸空间。浸构件包括设置至少部分地围绕上述光学部件的第一构件是在所述第一构件的所述外侧面的至少一个部分移动时，恢复，以恢复上述液浸空间的至少一部分包括第二部件，其具有口，一个。

54. 发明专利

JP4584917B2 Microscope and sample observation method 有权
公开(公告)号：JP4584917B2
公开(公告)日：2010-11-24
申请号：JP2006510476
申请日：2005-02-25
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：繁坂本 , 浩敏寺田 , 正治常盤 , 浩田邉 , 育男荒田
IPC分类号： G02B21/24 , G02B21/00 , G02B21/33
CPC分类号： G02B21/0016 , G02B21/33 , Y10S359/90

55. 发明专利

JP4577023B2 Solid immersion lens, condenser lens, an optical pickup device, the method of forming the optical recording and reproducing apparatus and a solid immersion lens 有权
标题翻译：空值
公开(公告)号：JP4577023B2
公开(公告)日：2010-11-10
申请号：JP2005018662
申请日：2005-01-26
申请人：ソニー株式会社
发明人：昌孝篠田
IPC分类号： G02B13/00 , G11B7/135 , G02B19/00 , G02B21/33 , G11B7/00 , G11B7/22
CPC分类号： G11B7/1374 , G02B19/0014 , G02B19/0047 , G02B19/0085 , G02B21/33 , G11B7/1378 , G11B7/1387 , G11B7/22

56. 发明专利

JP2010217930A Retention mechanism for immersion medium, and method of manufacturing the same 有权
标题翻译：用于浸没介质的保持机构及其制造方法
公开(公告)号：JP2010217930A
公开(公告)日：2010-09-30
申请号：JP2010154102
申请日：2010-07-06
申请人： Olympus Corp , オリンパス株式会社
发明人： HARADA MITSUO , NANBA AKIHIRO , FUKUOKA MORINAO
IPC分类号： G02B21/00 , G02B21/33
CPC分类号： G02B21/33 , Y10T29/49826 , Y10T436/25
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a retention mechanism for an immersion objective lens or an immersion medium, which is configured such that when a specimen is observed and measured, the immersion medium supplied to the tip of an objective lens is hindered from dripping from the tip of the objective lens even if the measurement involves a large amount of movement and takes a long time, and also to provide a method of manufacturing the same. SOLUTION: The retention mechanism for the immersion medium includes: an immersion objective lens 10; a bottom plate 41 with an opening for engaging with the immersion objective lens; a wall 42 disposed around the bottom plate 41; an immersion medium supply section 34 for supplying an immersion medium to the tip of the objective lens; and a droplet discharge part 35 which is disposed near the wall of the bottom plate and discharges a droplet of the immersion medium from the tip of the objective lens. The bottom plate has a first ring member (α portion ) made of a first material for holding the immersion medium, which is disposed so as to surround the opening. The bottom plate inclines so that the opening side is higher than the wall side. The affinity of the first ring member with the immersion medium is lower than that of an inside member of the first ring member with it. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：为了提供一种浸没物镜或浸没介质的保持机构，其被配置为使得当观察和测量样本时，供应到物镜的尖端的浸没介质被阻止即使测量涉及大量运动并且需要很长时间，也从物镜的尖端滴下，并且还提供其制造方法。浸渍介质的保持机构包括：浸没物镜10; 具有用于与浸没物镜接合的开口的底板41; 围绕底板41设置的壁42; 浸没介质供给部34，用于将浸没介质供给到物镜的前端; 以及液滴排出部35，其设置在底板的壁附近，并从物镜的前端排出浸没介质的液滴。底板具有由用于保持浸没介质的第一材料制成的第一环构件（α部分），该第一环构件围绕开口设置。底板倾斜使开口侧高于壁面。第一环构件与浸渍介质的亲合力低于第一环构件与浸没介质的内部构件的亲和性。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

57. 发明专利

JP4495086B2 Solid immersion lens holder 有权
公开(公告)号：JP4495086B2
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：JP2005515154
申请日：2004-10-28
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：浩敏寺田 , 浩田邉 , 育男荒田
IPC分类号： G02B7/02 , G02B7/14 , G02B21/00 , G02B21/33 , H01L21/66
CPC分类号： G02B7/14 , G02B21/33

58. 发明专利

JP4490915B2 Microscope for immersion oil 有权
公开(公告)号：JP4490915B2
公开(公告)日：2010-06-30
申请号：JP2005505216
申请日：2004-03-31
申请人：出光興産株式会社
发明人：松則安吉 , 裕一福永
IPC分类号： G02B21/00 , G02B21/16 , G02B21/33
CPC分类号： G02B21/33 , G02B21/16

59. 发明专利

JP2009071316A Lithographic apparatus and device manufacturing method 有权
标题翻译： LITHOGRAPHIC装置和装置制造方法
公开(公告)号：JP2009071316A
公开(公告)日：2009-04-02
申请号：JP2008274669
申请日：2008-10-24
申请人： Asml Netherlands Bv , Carl Zeiss Smt Ag , エーエスエムエルネザーランズビー.ブイ. , カール・ツァイス・エスエムティー・アーゲー
发明人： MULKENS JOHANNES CATHARINUS HU , BASELMANS JOHANNES JACOBUS MAT , GRAEUPNER PAUL , LOOPSTRA ERIK ROELOF , STREEFKERK BOB
IPC分类号： H01L21/027 , G02B3/14 , G02B21/33 , G03F7/20 , H01L21/683
CPC分类号： G03F7/70891 , G02B3/14 , G02B21/33 , G03F7/70341
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To enable an effective control of optical performance of an immersion lithographic projection system. SOLUTION: An immersion lithographic apparatus includes a lens having optical properties which can be adjusted by an adjusting device formed from an immersion liquid filled up between a final element of the projection system and a substrate. The adjusting device is arranged to adjust the properties of the liquid lens such as the shape, composition, refractive index or absorption index as a function of space or time in order to change the imaging performance of the immersion lithographic apparatus. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT

60. 发明专利

JPWO2005043214A1 固浸レンズ移動装置、及びこれを備えた顕微鏡审中-公开
公开(公告)号：JPWO2005043214A1
公开(公告)日：2007-11-29
申请号：JP2005515151
申请日：2004-10-28
申请人：浜松ホトニクス株式会社
发明人：田邉　浩 , 浩田邉 , 育男荒田 , 育男荒田
IPC分类号： G02B21/02 , G01N21/956 , G02B21/00 , G02B21/26 , G02B21/33 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/956 , G01N21/8806 , G02B21/26 , G02B21/33
摘要：固浸レンズ3を支持する固浸レンズホルダ5が連結された第一腕部材71と、この第一腕部材71を、観察対象物に対して略平行を成すX−Y平面内で回動させる第一腕部材回動源72と、この第一腕部材回動源72を保持する第二腕部材73と、第一腕部材回動源72の回動軸と非同軸の位置を回動軸として、第二腕部材73をX−Y平面内で回動させる第二腕部材回動源74と、を具備する構成とする。そして、二個の腕部材71,73を回動することで、固浸レンズ3をX−Y平面内の所望の位置に移動可能とし、直交するX方向、Y方向に構成部品を長尺とする必要を無くし、占有領域を小とすると共に簡易な構成とする。これにより、低コスト化を図りつつ、装置の小型化を図ることが可能な固浸レンズ移動装置、及びこれを備えた顕微鏡が実現される。

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