基本信息:
- 专利标题： 液浸部材、及び、露光装置
- 专利标题（英）：The liquid immersion member, and, exposure device
- 专利标题（中）：的液浸构件，以及一个曝光装置
- 申请号：JP2014550210 申请日：2013-03-15
- 公开(公告)号：JP2015515738A 公开(公告)日：2015-05-28
- 发明人： 柴崎 祐一 , 祐一 柴崎
- 申请人： 株式会社ニコン
- 申请人地址： 東京都千代田区神田駿河台四丁目6番地
- 专利权人： 株式会社ニコン
- 当前专利权人： 株式会社ニコン
- 当前专利权人地址： 東京都千代田区神田駿河台四丁目6番地
- 代理人： 志賀 正武; 高橋 詔男
- 优先权： US61/622,235 2012-04-10 US13/793,667 2013-03-11
- 国际申请： JP2013058454 JP 2013-03-15
- 国际公布： WO2013153939 JP 2013-10-17
- 主分类号： H01L21/027
- IPC分类号： H01L21/027 ; G02B21/33
摘要：
液浸部材は、光学部材の射出面から射出される露光光の光路が液体で満たされるように、光学部材の下方で移動可能な物体上に液浸空間を形成する。液浸部材は、光学部材の周囲の少なくとも一部に配置される第1部材と、第1部材の少なくとも一部の外側で移動可能であり、液浸空間の液体の少なくとも一部を回収する回収口を有する第2部材と、を備える。
摘要（中）：
的液浸构件，从所述光学部件的出射面射出的曝光光的光路用液体充满而形成在上述光学构件下方的可移动对象液浸空间。 浸构件包括设置至少部分地围绕上述光学部件的第一构件是在所述第一构件的所述外侧面的至少一个部分移动时，恢复，以恢复上述液浸空间的至少一部分 包括第二部件，其具有口，一个。
摘要（英）：
The liquid immersion member, the optical path of the exposure light emitted from the exit surface of the optical member to be filled with liquid to form a liquid immersion space on the movable body below the optical member. Immersion member includes a first member which is disposed at least partly around the optical element is movable in at least a portion of the outside of the first member, collecting and recovering at least a portion of the liquid in the immersion space It comprises a second member having a mouth, a.
公开/授权文献:
- JP6245179B2 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 公开/授权日：2017-12-13
信息查询:
EspacenetIPC结构图谱:
| H | 电学 |
| --H01 | 基本电气元件 |
| ----H01L | 半导体器件；其他类目未包含的电固体器件 |
| ------H01L21/00 | 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备 |
| --------H01L21/02 | .半导体器件或其部件的制造或处理 |
| ----------H01L21/027 | ..未在H01L21/18或H01L21/34组中包含的为进一步的光刻工艺在半导体之上制作掩膜 |