专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

41. 发明专利

JPWO2012053402A1 蒸着装置有权
公开(公告)号：JPWO2012053402A1
公开(公告)日：2014-02-24
申请号：JP2012539685
申请日：2011-10-12
申请人：シャープ株式会社
发明人：通園田 , 通園田 , 伸一川戸 , 伸一川戸 , 井上　智 , 智井上
IPC分类号： H05B33/10 , C23C14/04 , H01L51/50 , H05B33/12 , H05B33/22
CPC分类号： H01L51/0011 , C23C14/042 , C23C14/12 , C23C14/24 , C23C14/50 , C23C16/042 , H01L27/3211 , H01L27/3244 , H01L51/001 , H01L51/56 , H01L2227/323 , H05B33/10
摘要：蒸着装置(50)は、被成膜基板(200)上の成膜される領域間に隔壁(26)が立設され、相対的位置が固定されたシャドウマスク(81)と蒸着源(85)とを備えたマスクユニット(80)と、被成膜基板(200)とシャドウマスク(81)とを隔壁(26)を介して接触させる接触手段と、接触手段による接触を維持した状態でマスクユニット(80)と被成膜基板(200)との少なくとも一方を相対移動させる移動手段とを備える。

42. 发明专利

JP2014019954A Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus by using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured by the method 审中-公开
标题翻译：有机层沉积装置，使用其的有机发光显示装置的制造方法以及由该方法制造的有机发光显示装置
公开(公告)号：JP2014019954A
公开(公告)日：2014-02-03
申请号：JP2013146915
申请日：2013-07-12
申请人： Samsung Display Co Ltd , 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd.
发明人： CHOI YOUNG MOOK
IPC分类号： C23C14/12 , C23C14/04 , H01L51/50 , H05B33/08 , H05B33/10
CPC分类号： H01L51/56 , C23C14/24 , C23C14/243 , C23C14/50 , C23C14/568 , H01L21/67173 , H01L21/67709 , H01L21/6776 , H01L51/52
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic layer deposition apparatus, a method of manufacturing an organic light-emitting display apparatus by using the organic layer deposition apparatus, and an organic light-emitting display apparatus manufactured by the method.SOLUTION: This invention provides an organic layer deposition apparatus that is further suitable for a mass production process of a large substrate and enables high-definition patterning, a method of manufacturing an organic light-emitting display apparatus by using the organic layer deposition apparatus, and an organic light-emitting display apparatus manufactured by the method.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种有机层沉积设备，通过使用有机层沉积设备制造有机发光显示设备的方法和通过该方法制造的有机发光显示设备。解决方案：本发明提供一种有机层沉积装置，其进一步适用于大型基板的批量生产工艺并能够进行高清晰度图案化，通过使用有机层沉积装置制造有机发光显示装置的方法和有机发光显示装置。

43. 发明专利

JP2014017290A Susceptor and vapor phase growth device 有权
标题翻译： SUSCEPTOR和VAPOR相生长装置
公开(公告)号：JP2014017290A
公开(公告)日：2014-01-30
申请号：JP2012151967
申请日：2012-07-06
申请人： Taiyo Nippon Sanso Corp , 大陽日酸株式会社 , Taiyo Nissan Emc Kk , 大陽日酸イー・エム・シー株式会社
发明人： YAMAGUCHI AKIRA , UCHIYAMA KOOSUKE
IPC分类号： H01L21/683 , C23C16/458 , H01L21/205 , H01L21/31
CPC分类号： C30B25/12 , C23C14/50 , C23C14/505 , C23C16/458 , C23C16/4583 , C23C16/4584
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide: a susceptor including a substrate mounting part where a plurality sheets of substrates are mounted, causing no cracks due to a temperature distribution; and a vapor phase growth device including the susceptor.SOLUTION: A susceptor 5 according to the present invention is rotatably installed within a chamber 3 and includes a plurality of substrate mounting parts 8 where a substrate 6 on which a thin film is deposited is revolvably mounted. The susceptor 5 has a doughnut-like shape having an opening 7, into which a rotation axis 9 for rotating the susceptor 5 is inserted, at an inner peripheral part, and has a plurality of notches 16 extending in the radial direction at the outer peripheral part and/or the peripheral part of the opening 7.
摘要翻译：要解决的问题：提供：一种基座，其包括安装有多片基板的基板安装部，由于温度分布而不产生裂纹; 以及包括感受体的气相生长装置。解决方案：根据本发明的感受器5可旋转地安装在室3内，并且包括多个基板安装部分8，其中沉积有薄膜的基板6可旋转地安装。基座5具有环状形状，具有开口7，旋转基座5的旋转轴9插入其内周部，并且具有多个在外周沿径向延伸的切口16 部分和/或开口7的周边部分。

44. 发明专利

JP2014005536A Organic layer deposition apparatus, method of manufacturing organic light-emitting display apparatus using the same, and organic light-emitting display apparatus manufactured using the method 有权
标题翻译：有机层沉积装置，使用其的有机发光显示装置的制造方法和使用该方法制造的有机发光显示装置
公开(公告)号：JP2014005536A
公开(公告)日：2014-01-16
申请号：JP2013130320
申请日：2013-06-21
申请人： Samsung Display Co Ltd , 三星ディスプレイ株式會社Samsung Display Co.,Ltd.
发明人： CHANG YUN-HO , KIM TAE YONG , YOON MI-JOO
IPC分类号： C23C14/50 , C23C14/04 , H01L51/50 , H05B33/10
CPC分类号： C23C14/12 , C23C14/50 , H01L21/67173 , H01L21/67709 , H01L21/6776 , H01L21/6831 , H01L27/28 , H01L51/001 , H01L51/56 , H01L2227/323
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an organic layer deposition apparatus, a method of manufacturing an organic light-emitting display apparatus using the same, and an organic light-emitting display apparatus manufactured using the method.SOLUTION: Provided are an organic layer deposition apparatus that is suitable for use in the mass production of a large substrate and enables high-definition patterning, a method of manufacturing an organic light-emitting display device by using the same, and an organic light-emitting display device manufactured using the method.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种有机层沉积装置，使用该有机发光显示装置的有机发光显示装置的制造方法以及使用该方法制造的有机发光显示装置。提供了一种有机层沉积装置适用于大型基板的批量生产和高分辨率图案化，使用该方法制造有机发光显示装置的方法和使用该方法制造的有机发光显示装置。

45. 发明专利

JP5348631B2 Processing equipment and processing method 有权
公开(公告)号：JP5348631B2
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：JP2012021446
申请日：2012-02-03
申请人：株式会社ニコン
发明人：祐一柴崎
IPC分类号： B21D26/14 , B81C1/00
CPC分类号： C23C14/50 , B23K11/04 , B23K11/18 , B23K2201/38 , B23K2203/12 , B25B11/002 , B81C3/008 , C23C14/04 , H01F7/206 , H01L21/67709
摘要： Because an electromagnetic chuck (20) supplies current to a specific microcoil among a plurality of microcoils (MC) and makes an object (M) exert an electromagnetic force working together with a magnet of the object (M), the object (M) can be held in a state where the object is set at a desired position (a position that corresponds to the microcoil to which current has been supplied) on a base surface. Further, by gas that blows out from a gas supply passage (42), a levitation force is given to the object (M), which can reduce effects of a friction force that acts between the object (M) and an upper surface of the electromagnetic chuck when the position of the object is set.

46. 发明专利

JP5347868B2 Mounting table structure and a plasma film forming apparatus 有权
公开(公告)号：JP5347868B2
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：JP2009218381
申请日：2009-09-24
申请人：東京エレクトロン株式会社
发明人：敏章藤里 , 志郎林 , 宏行横原
IPC分类号： C23C14/34 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/6831 , C23C14/358 , C23C14/50 , H01J37/321 , H01J37/32577 , H01J37/3405
摘要： A mounting table structure includes a mounting table body, made of a conductive material, for mounting thereon the processing target object and serving as an electrode; a base table, made of a conductive material, disposed below the mounting table body with a gap therebetween in a state insulated from the mounting table body; a support column, connected to the ground side, for supporting the base table; a high frequency power supply line, connected to the mounting table body, for supplying a high frequency bias power to the mounting table body; and a power stabilization capacitor provided between the ground side and a hot side to which the high frequency bias power is applied. Here, an electrostatic capacitance of the power stabilization capacitor is set to be larger than an electrostatic capacitance of a stray capacitance between the mounting table body and the protective cover member.

47. 发明专利

JP2013177975A Rack and pinion mechanism and vacuum processing apparatus 有权
标题翻译：机架和机架机构和真空加工设备
公开(公告)号：JP2013177975A
公开(公告)日：2013-09-09
申请号：JP2013082814
申请日：2013-04-11
申请人： Canon Anelva Corp , キヤノンアネルバ株式会社
发明人： TANAKA YASUTOMO
IPC分类号： F16H19/04 , C23C14/50 , C23C14/56 , H01L21/677
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G49/061 , B65G2249/02 , C23C14/50 , C23C14/568 , F16H19/04 , F16H35/008 , Y10T74/1956
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To avoid collision between respective tooth tops of a rack gear and a pinion gear due to a phase shift between the rack gear and the pinion gear with a simple mechanism and to mesh the rack gear and the pinion gear smoothly.SOLUTION: A rack and pinion mechanism includes a rack gear 16 fixed to a stage 20 moving on a carrying track 7 while loading a carried object thereon and a plurality of pinion gears 17 connected to a drive source 13. At least two of the pinion gears are synchronized and rotate to mesh with the rack gear in sequence, whereby the rack gear is delivered from the pinion gear in the current process to the pinion gear in the subsequent process. The rack and pinion mechanism includes detection means that detects a phase difference of the pinion gear and a controller 25 which has a storage part 27, storing the detected phase difference, and controls the phase difference of the pinion gear in the subsequent process based on the phase difference of the pinion gear in the current process.
摘要翻译：要解决的问题：为了避免由齿轮和小齿轮之间的相移引起的齿条齿轮和齿轮齿轮之间的碰撞，并且能够平稳地啮合齿条和小齿轮。：齿条齿轮机构包括固定在载物轨道7上的载物轨道7上移动的载物轨道7上的齿条16，以及连接到驱动源13的多个小齿轮17。至少两个小齿轮是同步并旋转以便与齿条啮合，从而齿轮齿轮在当前过程中从小齿轮传递到小齿轮。齿条齿轮机构包括检测小齿轮的相位差的检测装置和具有存储检测出的相位差的存储部27的控制器25，并且在后续处理中基于小齿轮的相位差来控制小齿轮的相位差当前工艺中小齿轮的相位差。

48. 发明专利

JP2013533922A Thin film deposition apparatus and thin film deposition system 有权
公开(公告)号：JP2013533922A
公开(公告)日：2013-08-29
申请号：JP2013514088
申请日：2010-06-14
申请人：エスエヌユープレシジョンカンパニーリミテッド
发明人：カン，チャンホ , クォン，ヒョング , ヒョン，ジェグン
IPC分类号： C23C14/24 , H01L51/50 , H05B33/10
CPC分类号： C23C14/24 , C23C14/042 , C23C14/50 , C23C14/568
摘要：【課題】本発明は、基板及び蒸着マスクの配置／整列時間などの工程待機時間を最小化した薄膜蒸着装置に関する。
【解決手段】本発明の薄膜蒸着装置は、反応空間が形成されたチャンバと、基板が収容されるように形成されて上記チャンバの内部に互いに離隔して配置された第１基板ホルダー及び第２基板ホルダーと、上記第１基板ホルダー及び第２基板ホルダーの間に配置されて上記第１基板ホルダー及び第２基板ホルダーに蒸着原料を供給する蒸着源と、上記第１基板ホルダー及び第２基板ホルダーに基板が収容された状態で、上記第１基板ホルダー及び第２基板ホルダーを上記チャンバ内部の特定位置に一定時間位置させる固定ユニットとを含む。これにより、基板とマスクの整列作業が安定的に行われる。
【選択図】図１

49. 发明专利

JPWO2011161912A1 基板ホルダ、成膜装置および成膜方法有权
公开(公告)号：JPWO2011161912A1
公开(公告)日：2013-08-19
申请号：JP2012521303
申请日：2011-06-16
申请人：株式会社アルバック
发明人：飯島　栄一 , 栄一飯島 , 佳樹磯 , 佳樹磯
IPC分类号： C23C14/50 , H01L21/683
CPC分类号： C23C14/50 , C23C14/14 , C23C14/3464
摘要：【課題】フィルム状の基板の熱による破損を防止して適正な成膜処理を実現できる基板ホルダを提供する。【解決手段】基板ホルダ20は、金属製のホルダ本体21と、ホルダ本体21の支持面21aへの基板Sの密着状態を維持する密着機構22とを有する。支持面21aは、軸心に平行な軸方向と上記軸心のまわりの周方向とを有する筒体の部分周面で形成される。これにより、支持面21aと基板Sとの密着性を高めることができる。密着機構22は、基板Sの両端を固定する固定具221と、基板Sに上記周方向に沿った張力を印加するバネ部材223とを有する。支持面21a上の基板Sに所定の張力を付与することで、基板Sと支持面21aとの密着性がさらに高まり、成膜時の入熱による基板Sの熱ダメージを防止することができる。【選択図】図4

50. 发明专利

JP5249351B2 Rack-and-pinion mechanism, vacuum processing unit, drive control method of the rack-and-pinion mechanism, drive control program and recording medium 有权
公开(公告)号：JP5249351B2
公开(公告)日：2013-07-31
申请号：JP2010542018
申请日：2009-12-09
申请人：キヤノンアネルバ株式会社
发明人：康友田中
IPC分类号： F16H19/04
CPC分类号： H01L21/67706 , B65G49/061 , B65G2249/02 , C23C14/50 , C23C14/568 , F16H19/04 , F16H35/008 , Y10T74/1956

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式