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    • 31. 发明专利
    • プラズマを加速及び圧縮する装置
    • 一种用于加速和压缩所述等离子体
    • JP2015532769A
    • 2015-11-12
    • JP2015528820
    • 2013-08-29
    • ジェネラル フュージョン インコーポレイテッドジェネラル フュージョン インコーポレイテッド
    • ミシェル ジー ラバージュミシェル ジー ラバージュメリット レイノルズメリット レイノルズ
    • H05H1/54
    • H05H1/54G21B1/00G21B1/15G21B3/00H05H1/105H05H1/16Y02E30/122Y02E30/16Y02E30/18
    • プラズマ加速及び圧縮デバイスの例を説明する。デバイスは、加速器の入口から延びる高圧縮漏斗区画と、漏斗区画の端部から加速器の出口まで延びることができる高圧縮漏斗区画に接続された細長い区画とを有するプラズマ加速器を含む。漏斗区画は、急勾配のテーパ付きで円錐形にすることができるが、細長い区画は、出口の方向にその長さに沿って軽いなだらかなテーパを有することができる。デバイスは、電流パルスを加速器に提供し、押し込み磁束を発生させて加速器全体を通してプラズマトーラスを加速かつ圧縮するための電源を含む。電流パルスは、細長い区画の出口でのプラズマトーラスの背後の電流パルスが、細長い区画の第1の端部における電流パルスよりも有意に小さいが、細長い区画の出口でのプラズマトーラスの圧力が、細長い区画の開始時のプラズマトーラスの圧力よりも大きいように成形することができる。【選択図】図2
    • 示出等离子体加速和压缩装置的一个例子。 装置包括从所述加速器的入口延伸高压缩漏斗部,具有一个细长的部分,并连接到高压缩漏斗隔室中的等离子体加速器可从漏斗部的端部延伸至所述加速器的出口。 漏斗隔室可以是圆锥形带有锥度陡的,细长的隔室可具有沿其在所述出口的方向上长度的打火机缓坡的锥部。 装置提供电流脉冲至所述加速器,包括:用于通过产生推助熔剂,以加速和整个加速器压缩等离子体环面的电源。 电流脉冲,在细长室的出口处的等离子体环面的后面的电流脉冲,但比在细长室的所述第一端的电流脉冲少显著,等离子体环面的长形隔室的出口处的压力,细长 它可以被模制为比等离子体环面的在所述分区的开始的压力大。 .The
    • 36. 发明专利
    • Formation of smooth film on substrate
    • 在基底上形成平滑膜
    • JPS57119906A
    • 1982-07-26
    • JP677381
    • 1981-01-19
    • Daikin Ind Ltd
    • YAMANAKA CHIYOEIEDA MASAYUKIISHIBASHI SHINTAROUMORITA SHINZOUFUJII TSUNEO
    • C08F2/00C08F2/52C08F20/00C08F20/10C08F20/22C08F120/10C08F120/12C08F120/22G21B1/15
    • Y02E30/16
    • PURPOSE: To form a smooth, homogeneous and comparatively thick film on a substrate, by carrying out a plasma plymn. of(fluoro)-alkyl (meth)acrylate on the substrate.
      CONSTITUTION: A spherical, planar or fibrous substrate of metal, glass or resin is laid between two parallel plate electrodes provided in a reaction tube. Next the tube is evacuated to 10W10
      -4 Torr and an inert gas (e.g. Ar) flow of 0.1W 100cm
      3 STP/min is allowed to flow therethrough. Moreover 0.5W50% of said inert gas of (fluoro)alkyl (meth)acrylate is passed through the tube at 0W200°C in a 0.1W100MHz high-frequency electric field to carry out the plasma polymn. on the substrate with the glow discharge by 1W500W discharge power to form the film.
      EFFECT: It is possible to form a homogeneous film of thickness 30W100μm and smoothness 0.1μm with a rate of 6μm/hr.
      COPYRIGHT: (C)1982,JPO&Japio
    • 目的:通过进行等离子体层叠,在基板上形成平滑,均质和比较厚的膜。 的(氟)烷基(甲基)丙烯酸酯。 构成:将金属,玻璃或树脂的球形,平面或纤维基材铺设在设置在反应管中的两个平行板电极之间。 接下来将管抽真空至10-10-4乇,允许0.1至100cm 3 STP / min的惰性气体(例如Ar)流过其中。 此外,在0.1〜100MHz的高频电场中,0.5〜50%的(氟)(甲基)丙烯酸烷基酯惰性气体在0-200℃下通过管,以进行等离子体聚合。 在衬底上用辉光放电1-500W放电电力形成膜。 效果:可以以6mum / hr的速度形成厚度为30-100μm,平滑度为0.1μm的均匀的膜。