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    • 39. 发明专利
    • 検査方法、テンプレート基板およびフォーカスオフセット方法
    • 检验方法,模板和焦点偏移方法
    • JP2015232549A
    • 2015-12-24
    • JP2015075454
    • 2015-04-01
    • 株式会社ニューフレアテクノロジー
    • 土屋 英雄小川 力
    • G01N21/88G01N21/956
    • G01N21/956G01N21/9501G06T3/60G06T7/0004G06T7/0008G06T2200/24G06T2207/10004G06T2207/10056G06T2207/10148G06T2207/30144G06T2207/30148G06T2207/30204
    • 【課題】検査装置の光学系の解像度より微細なパターンの欠陥を精度よく検出することの できる検査方法、テンプレート基板およびフォーカスオフセット方法を提供する。 【解決手段】被検査対象の基板には、検査装置の光源の波長では解像できない繰り返しパターンからなる第1のパターンと、第1のパターンと同一面に配置された少なくとも1つのアライメントマークとが配置されている。アライメントマークは、第2のパターン91と、第2のパターン91に設けられた模擬欠陥93〜96とを備えている。第1のパターンが設けられた面と、検査装置の光学系との焦点距離を変えながら模擬欠陥93〜96の光学画像を撮像し、この光学画像でベースとなる階調値に対して模擬欠陥の信号が最も強く得られるフォーカスオフセットに調節する。その後、第1のパターンの光学画像を取得して欠陥の有無を検査する。 【選択図】図7
    • 要解决的问题:提供一种可以以比检查装置的光学系统的分辨率更精细的精度检测图案缺陷的检查方法,模板板和聚焦偏移方法。解决方案: 在要检查的板上布置包括不能通过检查装置的光源的波长解析的重复图案的第一图案和设置在与第一图案相同的平面上的至少一个对准标记。 对准标记设置有第二图案91和设置在第二图案91中的模拟缺陷93-96。模拟缺陷93-96的光学图像被图像捕获,同时改变其上第一图案的平面之间的焦距 检测装置的光学系统和焦距被调整为获得相对于作为光学图像的基础的灰度值最强的模拟缺陷的信号的聚焦偏移。 此后,获取第一图案的光学图像,并且检查是否存在缺陷。