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21. 发明专利

JP2017195346A 電気機械変換装置、センサ、アクチュエータ、及びそれらの製造方法、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置审中-公开
公开(公告)号：JP2017195346A
公开(公告)日：2017-10-26
申请号：JP2016086517
申请日：2016-04-22
申请人：株式会社リコー
发明人：阿部修也 , 町田治 , 石杜昌弘 , 平林拓磨
IPC分类号： H01L41/29 , H01L41/23 , H01L41/317 , H01L41/43 , H01L41/047 , H01L41/09 , H01L41/113 , B41J2/16 , B41J2/14 , H01L41/331
CPC分类号： C23C14/165 , B41J2/1433 , B41J2/161 , B41J2/162 , B41J2/1628 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1642 , B41J2/1645 , B41J2/1646
摘要：【課題】製造コストを低減することが可能な電気機械変換装置の製造方法を提供すること。【解決手段】本電気機械変換装置の製造方法は、基板上に複数の電気機械変換素子が配置された電気機械変換装置の製造方法であって、前記基板上に、それぞれの前記電気機械変換素子に対応する複数の個別電極を形成する工程と、前記基板上に複数の前記個別電極を被覆する絶縁膜を形成する工程と、前記絶縁膜上に導電膜を形成する工程と、前記絶縁膜及び前記導電膜に、それぞれの前記個別電極を露出する開口部を形成する工程と、それぞれの前記開口部内に露出する前記個別電極上に電気機械変換膜を形成する工程と、を有する。【選択図】図8

22. 发明专利

JP2017130635A 電気機械変換素子及びその製造方法、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置审中-公开
公开(公告)号：JP2017130635A
公开(公告)日：2017-07-27
申请号：JP2016011087
申请日：2016-01-22
申请人：株式会社リコー
发明人：町田治 , 石杜昌弘 , 竹内惇 , 阿部修也
IPC分类号： B41J2/14 , B41J2/16 , H01L41/09 , H01L41/29 , H01L41/331 , H01L41/047
CPC分类号： B41J2/14233 , B41J2/1612 , B41J2/1629 , B41J2/1631 , B41J2/1645 , B41J2/1646 , H01L41/0805 , H01L41/098 , H01L41/29 , H01L41/331 , H01L41/1876 , H01L41/318
摘要：【課題】配線の接続信頼性を向上可能な電気機械変換素子を提供する。【解決手段】下部電極31の一方の面に電気機械変換膜32及び上部電極33が順次積層され、上部電極上に配線が形成される電気機械変換素子30であって、少なくとも1つの断面において、電気機械変換膜の第2の電極側の辺及び上部電極の電気機械変換膜側とは反対側の辺は凸型の曲線形状であり、電気機械変換膜及び上部電極は、最大高さ部から端部に向けて徐々に膜厚が薄くなる。【選択図】図1

23. 发明专利

JP5998531B2 電気−機械変換素子と液滴吐出ヘッドと液滴吐出装置有权
标题翻译：电 - 机械变换元件和液滴喷出头和液滴排放装置
公开(公告)号：JP5998531B2
公开(公告)日：2016-09-28
申请号：JP2012052748
申请日：2012-03-09
申请人：株式会社リコー
发明人：水上智 , 真貝勝 , 石杜昌弘
IPC分类号： H01L41/09 , H01L41/29 , H01L41/047

24. 发明专利

JP2016072568A 電気機械変換素子及び液滴吐出ヘッド有权
标题翻译：电动转换元件和卸料头
公开(公告)号：JP2016072568A
公开(公告)日：2016-05-09
申请号：JP2014203311
申请日：2014-10-01
申请人：株式会社リコー
发明人：水上智 , 黒田隆彦 , 石杜昌弘
IPC分类号： H01L41/09 , H01L41/187 , B41J2/14 , B81B3/00 , H01L41/319
摘要：【課題】ペロブスカイト型結晶構造を有する電気機械変換膜により十分な歪変位が得られる電気機械変換素子を提供する。【解決手段】基板又は下地膜上に直接又は間接的に形成された第1電極405などの下部電極と、前記下部電極上に形成されnをある正の整数として{n00}面に優先配向されたPZT膜406などのペロブスカイト結晶構造を有する圧電体からなる電気機械変換膜と、前記電気機械変換膜上に形成された第2電極407などの上部電極とを備える電気機械変換素子において、前記電気機械変換膜が、Nをある正の整数として{N00}面でX線回折のロッキングカーブ法による測定を行って得られた回折強度のピークの形状が非対称でかつ二以上の屈曲した点を有する形状になっているものである。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种机电转换元件，其可以利用具有钙钛矿晶体结构的机电转换膜来提供足够的变形位移。解决方案：提供一种机电转换元件，包括：下电极，例如形成的第一电极405 直接或间接地在基底或基底膜上; 一种机电转换膜，其包括具有钙钛矿晶体结构的压电材料，例如形成在基膜上的PZT膜406，并优先取向于{n00}面，其中n是一定的正整数; 以及形成在机电转换膜上的第二电极407的上部电极，其中机电转换膜的衍射强度的峰的形状是不对称的并且具有两个或更多个弯曲点，通过进行测量获得的衍射强度通过摇摆曲线法在{N00}平面上的X射线衍射，其中N是一定的正整数。选择图：图1

25. 发明专利

JP5811728B2 電気−機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置有权
公开(公告)号：JP5811728B2
公开(公告)日：2015-11-11
申请号：JP2011203533
申请日：2011-09-16
申请人：株式会社リコー
发明人：水上智 , 真貝勝 , 石杜昌弘 , 秋山善一
IPC分类号： H01L41/187 , H01L41/319 , H01L41/43 , H01L41/047
CPC分类号： H01L41/0478 , B41J2/14233 , H01L41/081 , H01L41/0973 , H01L41/1876 , H01L41/319 , B41J2002/14491 , H01L41/318

26. 发明专利

JP2015079935A 圧電アクチュエータ及び液滴吐出ヘッド、並びに画像形成装置审中-公开
标题翻译：压电致动器和喷射头卸料头和图像形成装置
公开(公告)号：JP2015079935A
公开(公告)日：2015-04-23
申请号：JP2014137441
申请日：2014-07-03
申请人：株式会社リコー
发明人：石杜昌弘 , 西村学 , 真貝勝 , 上田恵司 , 青山伝 , 益田俊顕
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/09 , B41J2/14 , H01L41/317 , H01L41/319
CPC分类号： H01L41/0477 , B41J2/14233 , B41J2/17503 , B41J2/17553 , H01L41/0815 , H01L41/318 , B41J2202/03 , B82Y15/00 , H01L41/1876 , Y10S977/837 , Y10T29/42
摘要：【課題】下部電極に空孔のない緻密な柱状構造膜を有するとともに、良好な圧電特性が得られる圧電アクチュエータを提供する。【解決手段】成膜振動板13と、成膜振動板13の上側に設けられた下部電極15と、下部電極15上に設けられた圧電体薄膜16と、圧電体薄膜16上に設けられた上部電極17とを備えた圧電アクチュエータ10であって、下部電極15は、白金膜15aと、白金膜15a上に形成された酸化チタン膜15bとを有し、白金膜15aと圧電体薄膜16との間に酸化チタン膜15bが設けられた構成である。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种具有在下电极中没有孔的细柱状结构膜的压电致动器，并提供良好的压电性能。解决方案提供了一种压电致动器10，其包括沉积隔膜13，下电极15 设置在沉积膜13的上侧，设置在下电极15上的压电薄膜16和设置在压电薄膜16上的上电极17，下电极15具有铂膜15a，钛形成在铂膜15a上并设置在铂膜15a和压电薄膜16之间的氧化膜15b。

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