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    • 25. 发明专利
    • 熱電子発電素子及びその製造方法
    • THERMIONIC发电元件及其制造方法
    • JP2016171246A
    • 2016-09-23
    • JP2015051168
    • 2015-03-13
    • 株式会社デンソー国立研究開発法人産業技術総合研究所学校法人東京理科大学
    • 片岡 光浩木村 裕治祖父江 進森岡 直也山崎 聡竹内 大輔加藤 宙光渡辺 一之
    • H02N11/00H01J45/00H01L37/00
    • H01J45/00H01L37/00H02N3/00
    • 【課題】発電効率が高い熱電子発電素子を提供する。 【解決手段】熱電子発電素子1は、熱電子を発生させるエミッタ2と、熱電子を収集するコレクタ3とを有する。エミッタ2は、電気伝導性を有するエミッタ基板21と、エミッタ基板21に積層された第1層22と、第1層22に積層された第2層23と、第2層23の最表面に形成された終端層24とを有している。第1層22はPをドナーとして含有するn型ダイヤモンド半導体より構成されている。第2層23はNをドナーとして含有するn型ダイヤモンド半導体より構成されており、40nm以下の膜厚を有する。終端層24はアルカリ金属元素及びMgからなる群より選ばれる1種または2種以上の特定金属元素Mを含んでいる。コレクタ3は、電気伝導性を有するコレクタ基板31を少なくとも有し、エミッタ2に対面して間隙dを介して配置されている。 【選択図】図1
    • 要解决的问题:提供具有高发电效率的热电子发电元件。解决方案:热电子发电元件1包括:用于产生热量的发射极2; 以及用于收集热量的收集器3。 发射极2包括:具有导电性的发射极基板21; 堆叠在发射极基板21上的第一层22; 堆叠在第一层22上的第二层23; 以及形成在第二层23的最外表面上的终止层24.第一层22由包括P作为供体的n型金刚石半导体制成。 第二层23由包括N作为供体并且具有等于或小于40nm的膜厚度的n型金刚石半导体制成。 端接层24包括选自由碱金属元素和Mg构成的组中的一种或两种以上的特定金属元素M. 收集器3至少包括具有导电性的集电器基板31,并且经过间隔d设置成与发射体2相对。图1
    • 26. 发明专利
    • ダイヤモンド半導体装置及びその製造方法
    • 金刚石半导体器件及其制造方法
    • JP2016103651A
    • 2016-06-02
    • JP2015253889
    • 2015-12-25
    • 国立研究開発法人産業技術総合研究所国立大学法人東京工業大学
    • 加藤 宙光牧野 俊晴小倉 政彦竹内 大輔山崎 聡波多野 睦子岩崎 孝之
    • H01L21/338H01L29/808H01L29/812H01L27/098H01L29/12H01L29/78H01L21/336H01L21/337
    • 【課題】デバイス設計の自由度を大幅に高めるとともに、効率的に製造可能なダイヤモンド半導体装置及びその製造方法を提供する。 【解決手段】ダイヤモンド基板1と、ダイヤモンド基板1の{001}の結晶面を有する基板面上に略垂直に隆起して配されるダイヤモンド段差部と、n型のリンドープダイヤモンド領域5a、5bと、ダイヤモンド絶縁領域6a、6bと、を有す。ダイヤモンド段差部は、側面が{110}の結晶面を有する第1段差部3と、側面が{100}の結晶面を有する第2段差部4a、4bとが一体に形成され、リンドープダイヤモンド領域5a,5bは、第1段差部3の段差形状の底角を起点に第1段差部3の側面及びダイヤモンド基板1の基板面を成長基面として結晶成長させて形成され、ダイヤモンド絶縁領域6a、6bは、第2段差部4a、4bの側面及びダイヤモンド基板1の基板面を成長基面として結晶成長させて形成される。 【選択図】図3
    • 要解决的问题:提供能够显着提高器件设计自由度和有效制造的金刚石半导体器件,并提供其制造方法。解决方案:一种金刚石半导体器件,包括:金刚石衬底1 ; 在金刚石基板1的具有{001}晶面的基板表面上基本上垂直地突出并布置的金刚石阶梯部分; n型磷掺杂金刚石区域5a和5b; 和金刚石绝缘区域6a和6b。 在金刚石阶梯部分中,其一侧具有{110}晶面的第一台阶部分3和其侧面具有{100}晶面的第二台阶部分4a和4b一体形成。 掺杂荧光体的金刚石区域5a和5b通过使用第一台阶部分3的阶梯状底角作为起始点并使用第一台阶部分3的侧面和钻石的基板表面进行晶体生长而形成 底物1作为生长基底表面。 金刚石绝缘区域6a和6b通过使用第二台阶部分4a和4b的侧面和金刚石基板1的基板表面作为生长基底表面进行晶体生长而形成。图3