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11. 发明专利

JP2010537202A thermocouple 审中-公开
公开(公告)号：JP2010537202A
公开(公告)日：2010-12-02
申请号：JP2010522075
申请日：2008-08-22
申请人：エーエスエムアメリカインコーポレイテッド
发明人：マットグッドマン， , マイクハルピン，
IPC分类号： G01K7/02 , G01K1/14
CPC分类号： G01K7/04 , G05D23/1931 , G05D23/22
摘要：化学蒸着リアクタ中で処理されている基材に隣接する位置で温度を測定するための熱電対を提供する。熱電対は、測定先端部を有するシースを含む。熱電対はまた、シース内に配置される支持管も含む。熱電対はさらに、支持管によって支持される第１および第２のワイヤも含む。第１および第２のワイヤは、異なる金属で形成される。接合点が第１および第２のワイヤの間に形成され、接合点は、支持管の遠位端部に隣接して位置する。バネが支持管の一部分の周囲に配置される。バネは、支持管にバネ力を及ぼして、測定先端部に対して接合点を付勢し、測定先端部と連続的に接触した接合点を維持するように、圧縮される。バネ力は、接合点の有意な変形を防止するのに十分小さく、ならびに、１つの熱電対から別の熱電対へのバネ力または接合点位置の変動を低減する。

13. 发明专利

JP2009212244A Regulating device, exposure apparatus and device manufacturing method 审中-公开
标题翻译：调节装置，曝光装置和装置制造方法
公开(公告)号：JP2009212244A
公开(公告)日：2009-09-17
申请号：JP2008052668
申请日：2008-03-03
申请人： Canon Inc , キヤノン株式会社
发明人： OKADA YOSHIYUKI
IPC分类号： H01L21/027
CPC分类号： G05D23/1931 , G03F7/70858
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a regulating device capable of stably regulating a temperature of a medium.
SOLUTION: This invention relates to the regulating device regulating a temperature T2 of a first medium in accordance with a target temperature thereof, comprising: a heat exchanger 16 which performs a heat exchange between the first medium and a second medium; a control valve 14 which controls a flow rate of the second medium flowing into the heat exchanger 16; temperature sensors 2, 4 which detect temperatures T1, T2 of the first medium; temperature sensors 6, 8 which detect temperatures Tw1, Tw2 of the second medium; and a heat quantity control unit 30 and a temperature control unit 50 which calculate a target exchange heat quantity in the heat exchanger 16 based on an output and a target temperature of the temperature sensor 2, and calculate an exchange heat quantity in the heat exchanger 16 based on outputs of the temperature sensors 6, 8 and the flow rate of the second medium, and add a signal dependent on a difference between the target exchange heat quantity and the exchange heat quantity to a signal dependent on a difference between an output of the temperature sensor 4 and the target temperature, and control the control valve 14 so that a difference between the output of the temperature sensor 4 and the target temperature may be reduced based on the signal obtained by the addition.
COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供能够稳定地调节介质的温度的调节装置。解决方案：本发明涉及根据其目标温度调节第一介质的温度T2的调节装置，包括：热交换器16，其进行第一介质和第二介质之间的热交换; 控制阀14，其控制流入热交换器16的第二介质的流量; 温度传感器2,4，其检测第一介质的温度T1，T2; 温度传感器6,8，其检测第二介质的温度Tw1，Tw2; 以及基于温度传感器2的输出和目标温度计算热交换器16中的目标交换热量的热量控制单元30和温度控制单元50，并计算热交换器16中的交换热量基于温度传感器6,8的输出和第二介质的流量，并且将取决于目标交换热量和交换热量之间的差的信号添加到取决于输出的信号之间的差的信号温度传感器4和目标温度，并且控制控制阀14，使得可以基于通过相加获得的信号来降低温度传感器4的输出与目标温度之间的差异。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

14. 发明专利

JP2009532246A Imaging and punching temperature control system 审中-公开
公开(公告)号：JP2009532246A
公开(公告)日：2009-09-10
申请号：JP2009504262
申请日：2007-04-02
申请人：イーストマンコダックカンパニー
发明人：デイヴィッドマクガイア，マーク
IPC分类号： B41F27/12
CPC分类号： B41C1/055 , B41C1/1083 , G05D23/1931
摘要： An imaging and punching thermal control system and related method for a plate imaging system including a thermal sensor system coupled to the imaging and the punching device that generates one or more measured signals; a controller that generates a digital format of the one or more measured signals and stores temperature-related information; and a thermal control device that analyzes the digital format and the temperature-related information and makes thermal control decisions for regulating thermal characteristics of the punching device. The thermal control system and related method that is a part of the imaging and punching system that can precisely punch an imaged plate.

15. 发明专利

JP2009194390A Manufacturing method and temperature regulating method of semiconductor device 有权
标题翻译：半导体器件的制造方法和温度调节方法
公开(公告)号：JP2009194390A
公开(公告)日：2009-08-27
申请号：JP2009067375
申请日：2009-03-19
申请人： Hitachi Kokusai Electric Inc , 株式会社日立国際電気
发明人： SUGISHITA MASASHI , UENO MASAAKI
IPC分类号： H01L21/22 , C23C16/46 , G05D23/00 , G05D23/19 , H01L21/205 , H01L21/324
CPC分类号： G05D23/1931 , G05B5/01 , G05B11/42 , H01L21/67248 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a technique which contributes to improvement in work efficiency and cost cutting. SOLUTION: The technique includes: a process for obtaining a second output control pattern at least partially patterning the operation amount of a heating means using the quantity of heat obtained by subtracting an output part by proportion operation from the quantity of heat between time from start of the temperature rising and maximum temperature, calculated from the detected temperature of the detected second temperature detection means when heating means is controlled using a first output control pattern containing the output part by each of integration operation, differential operation and proportion operation so that a temperature detected by a first temperature detection means may become from a temperature in start of temperature rising to a target temperature using the heating means for heating inside a process chamber for processing a substrate, the first temperature detection means for detecting temperature inside the process chamber and the second temperature detection means for detecting temperature inside the process chamber arranged in a position closer to the heating means than the first temperature detection means; and a process for processing the substrate while controlling the heating means using the second output control pattern. COPYRIGHT: (C)2009,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供有助于提高工作效率和降低成本的技术。解决方案：该技术包括：用于获得第二输出控制图案的处理，该第二输出控制图案使用通过比例操作从时间量之间的热量减去输出部分而获得的热量至少部分地图示加热装置的操作量从检测到的第二温度检测单元的检测温度开始，根据检测出的第二温度检测单元的检测温度，通过积分运算，差分运算，比例运算，通过使用含有输出部的第一输出控制图案来控制加热单元，由第一温度检测装置检测的温度可以使用加热装置从温度开始到目标温度的温度变化，用于在用于处理基板的处理室内进行加热，第一温度检测装置用于检测处理室内的温度和第二次温度检测 ns，用于检测布置在比第一温度检测装置更靠近加热装置的位置的处理室内部的温度; 以及在使用第二输出控制图案控制加热装置的同时处理基板的处理。版权所有（C）2009，JPO＆INPIT

17. 发明专利

JP2005517288A Cabinet cooling 有权
公开(公告)号：JP2005517288A
公开(公告)日：2005-06-09
申请号：JP2003565219
申请日：2002-01-29
申请人：テレフオンアクチーボラゲットエルエムエリクソン(パブル)
发明人：ヴァディムツソイ，
IPC分类号： F25B1/06 , F25B23/00 , G05D19/00 , G05D23/19 , H05K7/20
CPC分类号： H05K7/20381 , F25B1/06 , F25B23/006 , F25B2700/2106 , F25B2700/2116 , F25B2700/2117 , G05D23/1931
摘要：新規の電子機器冷却方法とシステムが開示される。電子機器冷却システム（１０）の非常に柔軟で効率的な運用が、気化器（１３）、凝結器（１４）、排出器（１１）、及び制御バルブ（１５〜１８）を含む閉じた系（４０）における冷却媒体の循環を制御することにより達成される。即ち、そのシステムは、検出された熱による負荷と検出された熱伝達の条件との内の少なくともいずれかに基づいて、システム（１０）のバルブ（１５〜１８）を制御することにより、最適なモードで連続的に運用されることが可能になる。実際の優勢な条件に基づいてシステムの動作モードを自動的に適合することにより、ユニークな柔軟性が、システムが動作する冷却モードに関して得られる。このことは、冷却能力が常に最適化され、その投資コストとシステムを運用するコストとが、同じ最大冷却能力をもつ公知のシステムと比べて削減されることを意味する。

18. 发明专利

JP3476899B2 Air conditioner 失效
公开(公告)号：JP3476899B2
公开(公告)日：2003-12-10
申请号：JP7307194
申请日：1994-04-12
申请人：東芝キヤリア株式会社
发明人：正男一色 , 尚佐藤 , 靖洋影山 , 行雄木口
IPC分类号： F24F11/02 , F24F11/00 , F25B13/00 , F25B49/02 , G05D23/20
CPC分类号： F25B13/00 , F24F11/30 , F24F2110/12 , F25B49/02 , F25B2313/0292 , F25B2313/0294 , F25B2313/0315 , F25B2600/021 , F25B2600/025 , F25B2700/2104 , F25B2700/2106 , G05D23/1931 , G05D23/20 , Y02B30/741
摘要： An air conditioning apparatus and method of controlling same wherein the air conditioner includes a refrigerating circuit having a variable capacity compressor, an indoor heat exchanger, an expansion device, and an outdoor heat exchanger; a variable speed outdoor fan for circulating an outside air through the outdoor heat exchanger; and an outdoor heat exchanger temperature detector for detecting the temperature of the outdoor heat exchanger. The outside air temperature is estimated from the detected outdoor heat exchanger temperature, the capacity of the variable capacity compressor and the speed of the variable speed outdoor fan, and is used to control the compressor and/or the fan.

19. 发明专利

JPS6125060B2 JPS6125060B2 - 失效
公开(公告)号：JPS6125060B2
公开(公告)日：1986-06-13
申请号：JP21134481
申请日：1981-12-28
申请人： Mitsubishi Electric Corp
发明人： KUBOTA HIDEJI , ITO YOSHIKAZU , HARA KAZUO , USAMI TADASHI
IPC分类号： F24H9/20 , F24H1/18 , G05D23/19
CPC分类号： G05D23/1931

20. 发明专利

JPS59501726A JPS59501726A - 失效
公开(公告)号：JPS59501726A
公开(公告)日：1984-10-11
申请号：JP50261183
申请日：1983-07-30
IPC分类号： G05D23/19 , G05D23/20
CPC分类号： G05D23/20 , G05D23/1931

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